Silicon wafers are required to be finished under the roughness of nanometer order for the subsequent chip fabrication processes. Recently, the finish grinding techniques have been researched for the improvement of accuracy and surface roughness simultaneously. Among them, the grinding technique using fine abrasive has been known as an easily accessible method. However, the manufacture of the fine grit grinding wheel has been very difficult because of the coherence of the grits. In this paper, the development of the ultrafine grit silica($SiO_2$) grinding wheel by the combination of the binder coating and the vacuum forming techniques is reported. And, the mechanochemical removal effects of the grinding conditions are discussed. Finally, a successful result of Ra O.4nm. Rmax 4nm in the ground surface roughness of a 6 inch silicon wafer was achieved.
This study examines the performance of pretreatment process system as the initial construction stage of the pretreatment process system to use CGS, a by-product generated in IGCC, as a concrete fine aggregate of construction materials. The process undergoes a grinding process capable of grinding to a predetermined particle size during primary grinding and a sorting plant through sieve grading of 2.5 mm or less for particle size correction. Afterwards, it is hoped that the use of coal gasification slag of Korean IGCC as a fine aggregate for concrete will be distributed and expanded by producing quality-improved CGS fine aggregate using water as a medium for removing impurities and particulates.
A CBN wheel was used for the highly efficient and precision grinding of the mold material(STD11). The grinding form accuracy by a CBN wheel is very excellent due to its low wheel wear, but grinding fragments resemble fine powders rather chips. A fine powders by this fragmentation can easily get attached to the wheel surface and therefore causing a loading. In order to prevent this fragmentation phenomena, the alumina stick is use to processing. Because the dressing with alumina stick should be interrupted for a processing, the automation of the processing and high productivity was very difficult. The investigation on the effect of Ultrasonic In-Process Dressing(ULID) on the grinding characteristics focuses in this Paper. This ULID method is that ultrasonic vibration in my Position of wheel is used to remove impurities on the wheel surface. Finally, the rate of surface roughness change in grinding by the ULID method was less than grinding without ultrasonic vibration. Loading phenomena by the ULID method were more prevented than grinding without ultrasonic vibration.
For the fine grinding process development of semiconductor monocrystalline silicon, wheel rotational speed, chuck rotational speed, feed rate and hysteresis force were controlled. Magic mirror system was used for grinding wheel pattern analysis. Curvature of wheel pattern was measured by fitting equation. The modeling of surface wheel pattern was related to wheel and chuck rotational speed. The calculated curvature of the model was well matched with the measured curvature. The statistical analysis indicated wheel and chuck rotational speed were significantly effective on.
In this study, we aims to develop the machining technology for the ultra precision surface and profile accuracy. For this purpose, we construct the electrolytic in process grinding system (ELID grinding) and apply to the cylindrical and internal grinding. Through the various machining experiments such as SCM steel., ceramics, tungsten carbide etc., we have obtained nanometer surface roughness. And we have applied this mirror grinding technique to hydraulic manual valve and mold core of mini disk optical pick-up base. For the development of fine mechanical part machining technology, e have made multi fiber optical connector using fine grinding technology. And constructed micro drilling system with process monitoring system which is possible to drill 50${\mu}{\textrm}{m}$ diameter hole.
High precision internal plunge grinding is difficult because of the decrease in the quill stiffness due to the small diameter of wheel. In this paper, the characteristics of internal plunge grinding were investigated. Grinding experiments were performed at various grinding conditions with vitrified bonded CBN wheels. The grinding period was assumed to be consisted of rough grinding and fine grinding. The classification of grinding was determined int terms of the normal grinding forces and actual depth of cut. The experimental results indicate that the higher depth of cut and infeed speed result in the longer rough grinding time. The maximum normal grinding force was nearly equal to the static force and it decreases exponentially as the grinding continues.
Chu, K.S.;Kim, J.H.;Chae, B.J.;Chung, Y.K.;Han, In K.
Asian-Australasian Journal of Animal Sciences
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제11권3호
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pp.249-254
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1998
Two experiments were conducted to evaluate the effects of processing of barley on the growth performance and ileal and fecal digestibility of growing pigs. In Exp. 1, a total of 20 cannulated pigs (10.80 kg BW) were allotted to four treatments. Treatments were coarse ground barley as a control (CON), finely ground barley (FINE), extruded barley (EXT) and enzyme supplemented coarse ground barley (ENZ). In Exp. 2, a total of 100 growing pigs (36.50 kg BW) were allocated to the same treatments in completely randomized block design based on sex and body weight. In the first trial, pigs fed extruded barley showed significantly higher crude protein digestibility over pigs fed finely ground barley (p < 0.05). Pigs fed finely ground barley generally showed lower nutrients digestibility. Extrusion and ${\beta}$-glucanase supplementation showed a trend to improve nutrients digestibility. However, fine grinding rather reduced nutrients digestibility. The similar trend was found in the digestibility of essential amino acids. Fine grinding of barley significantly reduced amino acids digestibility. Extrusion and enzyme supplementation were found to improve amino acids digestibility of barley in growing pigs. In the growth trial, pigs fed extruded barley grew significantly faster than any other processed barley fed pigs. And extrusion of barley significantly improved feed/gain of pigs (p < 0.05). Fine grinding of barley and enzyme supplementation did not improve growth performance of pigs. In conclusion, fine grinding and enzyme supplementation does not appear to be an economical feed processing for growing pigs when barley is employed in the diets, while extrusion can be recommended as an effective feed processing technique for barley.
The effect of soil grinding on total As and Pb concentrations determined by aqua regia method was examined. Among six field-collected, air-dried soil samples tested, soils A, B, C, and E were directly sieved through a $150-{\mu}m$ sieve without grinding and showed 2.18 to 3.03 times higher total As concentrations and 2.62 to 3.45 times higher total Pb concentrations than those of the soil samples prepared to allow all soil particles to pass through the $150-{\mu}m$ sieve by grinding. The reason can be ascribed to the fact that those soils contain fine particles (i.e., < $150{\mu}m$ in diameter) only 4.6 to 6.8% of the total soil weights. On the other hand, for D and F soils, fine particles smaller than $150{\mu}m$ accounted for 57 and 46%, respectively, so that the effect of grinding on As and Pb concentrations were relatively low (As: 1.15 and 1.23 times, Pb: 1.36 and 1.49 times, respectively). The result demonstrates that grinding prior to $150-{\mu}m$ sieving is necessary to ensure the homogeneity of soil samples and hence to obtain more accurate heavy metal concentrations in soils. This is especially true for soil samples with less fine soil particles and/or microaggregates (i.e., below $150{\mu}m$).
To get smoother ground surface, it is required to replace the grinding wheel with a finer-grit wheel. When the operator replaces the grinding wheel, the balancing and dressing of the wheel surface are necessary. So this replacement has a lot of problems like inconvenience to operators, delays in the operation time, and ineffectiveness in the production process. Therefore, a laminated grinding wheel, which consists of three layers, is provided. The side layers are coarse grits and the middle layer is made up of fine grits. To show the effectiveness of the laminated grinding wheel, experiments on the surface roughness and the material removal rate were performed respectively. As a result, it was found that the grinding process using a laminated grinding wheel can generate smoother ground surface in shorter time.
대한전자공학회 2001년도 The 6th International Symposium of East Asian Resources Recycling Technology
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pp.337-341
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2001
A new method to extract gold from pyrite roster cinder, which combines ultra-fine-grinding with resin-in-pulp, has been studied in this paper. Compared with traditional leaching technology, it can short leaching time, avoid complex filter process, lower sodium cyanide consumption and increase gold recovery by 35%. During leaching, aluminium oxide ball was used as stirred medium, hydrogen peroxide as leaching aid and sodium hexametaphosphate as grinding aid. With the high efficiency and chemistry effect of ultra-fine-grinding, the leaching process was developed and the gold leaching rate may reach 88%. With AM-2 Б resin as abosorber and sulfocarbamide (TU) as eluent, gold was recovered from cyanide pulp by resin-in-pulp. AM-2 Б resin has good adsorbability in cyanide solution(pH=10). It was easy to elude gold from the loaded resin with 0.1㏖/L cholhydric acid and 1㏖/L sulfocabamide. The effect of contact time, temperature and acidity etc. on the gold absorption had been examined with static methods. The results showed that the adsorption and desorption of gold could both reach over 98%. The effects of flow rate of solution on dynamic adsorption and elution of gold had been examined with dynamic methods. Breakthrough curve and elution curve had been drawn in this paper. A mild condition was determined through a number of experiments: leaching time 2 hours, liquid solid ratio 4:1, sodium cyanide 3kg/t, hydrogen peroxide 0.05%, sodium hexametaphosphate 0.05%; adsorption time 30 minutes, temperature 10-3$0^{\circ}C$, resin($m\ell$) solid(g) ratio 1:10, eluent resin ratio 10-20:1, velocity of eluent $1.5m\ell$/min. Under the mild condition, the gold recovery may reach 85%.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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