• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2000.02a
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• pp.152-152
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• 2000

차세대 평판 디스플레이로 주목박고 있는 FED는 현재 저전압 환경에서 기존의 CRT와 비슷한 해상도와 밝기를 얻지 못하고 있다. 이는 형광체 입자의 표면에 존재하는 결함, 오염, band - bonding과 같은 비발광층과 제조공정 중에 산화되거나 공기중에 노출되어 막 표면이 쉽게 오염되기 때문이다. 따라서 본 연구에서는 전기영동법으로 제작된 형광체의 효율 향상을 위해 레이저 표면 처리효과를 연구하였다. 실험에 사용한 레이저 표면처리 방법은 Nd:YAG pulse(355nm), continuous laser를 이용하였으며 레이저 power와 처리 시간을 변화시키면서 실시하였다. 형광체 막의 표면 두께 측정을 위해 Scanning Electron Microscopy(SEM), 처리된 막의 발광세기를 비교 분석하기 위해 Photoluminescence(PL), Cathodoluminescence(CL) intensity를 측정하였다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.02a
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• pp.217-217
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• 2010

새로운 물질의 투명전극 제작을 위해 대향타겟식 스퍼터링 (Facing Targets Sputtering, FTS)법을 이용하여 유리 기판위에 AZO와 GZO 이종타겟을 사용하여 유리 기판 위에 GAZO 박막을 제작하였다. FTS는 두 타겟이 서로 마주보는 구조로 인해 서로 다른 종류의 타겟을 장착하여 새로운 물질의 박막을 제작하는데 있어 용이하고, 타겟 뒷면에 위치한 영구자석으로 인해 타겟으로부터 방출되는 2차 전자 등을 구속하여 고밀도 플라즈마를 형성함으로서 고품위 박막의 제작이 가능하다. 본 연구에서는 투입 전력에 따라 제작된 GAZO 박막의 전기적, 광학적 및 구조적 특성 변화를 살펴보았다. 특성 평가는 UV/VIS spectrometer, Hall measurement, X-ray diffractometer (XRD), Atomic Force Microscope (AFM), Field Emission Scanning Electron Microscopy (FESEM) 을 이용하여 분석하였다. 그 결과 제작된 GAZO 박막은 비저항 $4.3\;{\times}\;10^{-4}\l;{\Omega}-cm$, 가시광 영역에서 투과율 80% 이상을 나타내는 것으로 분석되었다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.02a
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• pp.212-212
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• 2010

최근 차세대 반도체 메모리 소자로 대두된 magnetic random access memory(MRAM)에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 특히 MRAM의 magnetic tunnel junction(MTJ) stack을 구성하는 자성 재료의 건식 식각에 대한 연구에서는 좋은 profile을 얻고, 재층착의 문제를 해결하기 위한 노력이 계속해서 진행되고 있다. 본 연구에서는 photoresist(PR)과 Ti 하드 마스크로 패턴 된 배리어(barrier) 층인 MgO 박막의 식각 특성을 유도결합 플라즈마를 이용한 고밀도 반응성 이온 식각(inductively coupled plasma reactive ion etching-ICPRIE)을 통해서 연구하였다. PR 및 Ti 마스크를 이용한 자성 박막들은 HBr/Ar, HBr/$O_2$/Ar 식각 가스의 농도를 변화시키면서 식각되었다. HBr/Ar 가스를 이용 식각함에 있어서 좋은 식각 조건을 얻기 위한 parameter로서 pressure, bias voltage, rf power를 변화시켰다. 각 조건에서 Ti 하드마스크에 대한 터널 배리어층인 MgO 박막에 selectivity를 조사하였고 식각 profile을 관찰하였다. 식각 속도를 구하기 위해 alpha step(Tencor P-1)이 사용되었고 또한 field emission scanning electron microscopy(FESEM)를 이용하여 식각 profile을 관찰함으로써 최적의 식각 가스와 식각 조건을 찾고자 하였다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2013.08a
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• pp.317.1-317.1
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• 2013

유기 태양전지는 다른 무기계 태양전지에 비해 물질 자체의 쉬운 가공성과 유연한 특성으로 차세대 플렉시블 태양전지로 각광받고 있지만 상대적으로 짧은 수명으로 상용화에 걸림돌이 되고 있다. 현재까지 알려진 유기 태양전지의 짧은 수명의 원인으로는 수분과 산소에 의한 광활성층의 화학적 열화 및 표면의 변화, 전극의 열화, 전자-전공 수송층의 흡습현상 등이 있다 [1]. 본 연구에서는 이러한 이론적인 열화 메커니즘에 기초하여 일정한 수분과 산소 분위기에서 각 단위층들이 열화되는 현상을 광학적, 화학적 분석을 통해 짧은 수명의 원인을 밝혀내고자 한다. 유기 태양전지의 가혹시험은 $85^{\circ}C$의 온도와 85%의 습도 조건에서 이뤄졌으며, 가혹시간에 따른 열화현상 비교를 위해 0, 50, 100, 250, 500 h 동안 시험을 진행하였다. C-O, C=O 결합 형성에 의한 광활성층의 ${\pi}$공액의 변형은 FT-IR(fourier transform infrared spectroscopy)과 XRD (X-ray diffraction) 측정을 통해 분석하였고 변화된 표면 형상은 FE-SEM (field emission scanning electron microscopy) 측정을 통해 관찰하였다.

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2012.05a
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• pp.295-295
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• 2012

The $TiO_2$ films were prepared in the $H_2SO_4$ solution containing $NH_4F$ at different anodic voltages, to compare the photocatalytic performances of titania for purification of waste water. The microstructure was characterized by a Field-emission scanning electron microscopy (FE-SEM) and X-ray diffractometry (XRD). Chemical bonding states and co-doped elements of F and N were analyzed using surface X-ray photoelectron spectroscopy (XPS). The photocatalytic activity of the co-doped $TiO_2$ films was analyzed by the degradation of aniline blue solution. From the result of diffuse reflectance absorption spectroscopy(DRS), it is indicated that the absorption edge of the F-N-codoped $TiO_2$ films shifted toward visible light area, and the photocatalytic reaction of $TiO_2$ was improved by doping an appropriate contents of F and N.

• Journal of the Semiconductor & Display Technology
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• v.8 no.3
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• pp.57-60
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• 2009

Transparent electrode ZnO:Al(AZO)films were deposited on a PES (polyethersulfone) polymer substrate for thin film solar cells applications. A PES substrate with a thickness of 0.2mm and transmittance > 90% in the visible range was used because it is light weight and can deform easily. AZO thin films were prepared at a fixed DC power, $PO_2\;=\;P(O_2)/[P(O_2)\;+\;P(Ar)]$, and various substrate temperatures. The properties of AZO thin films were examined by X-ray diffraction, UV/VIS spectroscopy, four-point probe, Hall measurements, and field emission scanning electron microscopy. The lowest resistivity of all the films was $4.493\;{\times}\;10^{-4}\;[\Omega-cm]$ and the transmittance was > 80% in the visible range.

• Applied Chemistry for Engineering
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• v.33 no.5
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• pp.523-531
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• 2022

A NiCo-metal organic framework (MOF) electrode, prepared using urea as a surfactant, was synthesized using a one-pot hydrothermal method. The addition of urea to the NiCo-MOF creates interstitial voids and an ultra-thin nanostructure in the NiCo-MOF, which improves its charge transfer performance. We obtained the optimal metal to surfactant ratio to achieve the best specific capacitance. The NiCo-MOF was employed as the working electrode material in a three-electrode system. Field emission scanning electron microscopy, X-ray diffraction, and Fourier-transform infrared spectroscopy were employed to characterize the microstructures and morphologies of the composites. Cyclic voltammetry, galvanostatic charge-discharge, and electrochemical impedance spectroscopy curves were employed to quantify the electrochemical properties of the electrodes in a 6 M KOH electrolyte.

• Corrosion Science and Technology
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• v.21 no.6
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• pp.495-502
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• 2022

Anodization is a representative electrochemical surface treatment method that can improve both heat resistance and corrosion resistance by forming an anodization film on the surface of the aluminum. However, these properties can be changed after an additional heat treatment process. In this study, Al 6061 was subjected to an anodization process at 60 V for 1 hour, 5 hours, or 9 hours. An additional heat treatment process was performed at 500 ℃ for 30 minutes. Field emission scanning electron microscopy (FE-SEM) analysis revealed that the thickness of the anodized film was increased in proportion to the anodization time. Both pore size and pore diameter of the anodized film was also increased after anodization. After an additional heat treatment process, there were no significant changes in the thickness, pore size, or pore diameter of the anodized film. Heat resistance was confirmed through thermal analysis and chemical resistance was evaluated with a potentiodynamic polarization test.

• Journal of Ceramic Processing Research
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• v.13 no.spc1
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• pp.6-9
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• 2012

Eu3+-doped RE2O3 (RE = Gd, Y and La) phosphors were prepared by solvothermal reaction method and their crystalline structure, phase transformation and surface morphologies were investigated by using X-ray diffraction (XRD), field emission scanning electron microscopy (FE-SEM). The obtained RE2O3:Eu3+ phosphors are nanocrystalline-sized. The luminescence properties of Eu3+ ions in different host materials, namely, Gd2O3, Y2O3 and La2O3 have been investigated. PACS number: 32.50.+d, 78.55.-m, 81.40.Tv.

• Journal of Ceramic Processing Research
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• v.13 no.spc2
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• pp.403-406
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• 2012

Effect of thickness on ZnO properties including the compositional ratio and crystallinity has been systematically investigated using a variety of characterization tools of x-ray diffraction, field emission scanning electron microscopy, x-ray fluorescence and x-ray photoelectron spectroscopy. Interestingly, it was observed that ZnO films below 80 nm in thickness were in oxygen deficiency, while the oxygen ratio was increased in the films above the thickness, although the compositional ratio of ZnO film was not linearly varied with increasing film thickness. Also, ZnO crystallinity, which is characterized by (002) diffraction pattern, was clearly improved with increasing film thickness. The properties of ZnO film with different sputtering time and the nature of direct current reactive sputtering process were discussed in terms of compositional ratio, especially oxygen ratio in ZnO film.