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The surface kinetic properties of $ZrO_2$ Thin Films in dry etching by Inductively Coupled Plasma

  • Yang-Xue, Yang-Xue;Kim, Hwan-Jun;Kim, Dong-Pyo;Um, Doo-Seung;Woo, Jong-Chang;Kim, Chang-Il
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2009년도 하계학술대회 논문집
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    • pp.105-105
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    • 2009
  • $ZrO_2$ is one of the most attractive high dielectric constant (high-k) materials. As integrated circuit device dimensions continue to be scaled down, high-k materials have been studied more to resolve the problems for replacing the EY31conventional $SiO_2$. $ZrO_2$ has many favorable properties as a high dielectric constant (k= 20~25), wide band gap (5~7 eV) as well as a close thermal expansion coefficient with Si that results in good thermal stability of the $ZrO_2/Si$ structure. In order to get fine-line patterns, plasma etching has been studied more in the fabrication of ultra large-scale integrated circuits. The relation between the etch characteristics of high-k dielectric materials and plasma properties is required to be studied more to match standard processing procedure with low damaged removal process. Due to the easy control of ion energy and flux, low ownership and simple structure of the inductively coupled plasma (ICP), we chose it for high-density plasma in our study. And the $BCl_3$ included in the gas due to the effective extraction of oxygen in the form of $BCl_xO_y$ compound In this study, the surface kinetic properties of $ZrO_2$ thin film was investigated in function of Ch addition to $BCl_3/Ar$ gas mixture ratio, RF power and DC-bias power based on substrate temperature. The figure 1 showed the etch rate of $ZrO_2$ thin film as function of gas mixing ratio of $Cl_2/BCl_3/Ar$ dependent on temperature. The chemical state of film was investigated using x-ray photoelectron spectroscopy (XPS). The characteristics of the plasma were estimated using optical emission spectroscopy (OES). Auger electron spectroscopy (AES) was used for elemental analysis of etched surface.

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다시마 분말을 첨가한 쌀 압출팽화물의 특성 (Properties of Rice Extrudates Added with the Sea Tangle Powder)

  • 김의형;국승욱;정순택;박양균
    • 한국식품저장유통학회지
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    • 제12권3호
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    • pp.241-246
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    • 2005
  • 다시마 분말을 첨가한 쌀 압출팽화물의 최적제조조건을 설정하기 위하여 원료의 수분함량, 압출성형기의 barrel 온도, 다시마 첨가량의 변화에 따른 압출팽화물의 특성을 조사하였다. 수분함량 $18\%$에서 높은 수분흡수지수, 낮은 텍스쳐 값을 나타내었고, barrel 온도는 $100^{\circ}C$에서 낮은 텍스쳐와 높은 팽화율을 보여 이화학적 특성이 좋았다. 쌀가루에 다시마를 첨가한 압출팽화물은 첨가량이 증가할수록 수분흡수지수는 감소하고 텍스쳐는 부드러워졌으며, 팽화율은 높아졌다. 관능평가에서도 수분함량 $18\%$와 barrel 온도가 $100^{\circ}C$일때 가장 선호도가 좋았다. 다시마를 첨가하지 않은 control과 다시마 $10\%$ 첨가구는 유의적인 차이가 없었으나 다시마 $20\%$ 이상 부터는 다시마 특유의 냄새 때문에 전체적으로 낮은 평가를 받았다. 이러한 결과로 부터 다시마 분말 $10\%$를 첨가하여도 제품의 품질에 영향을 미치지 않고 영양적 기능을 강화시킬 수 있는 제품을 제조할 수 있을 것으로 판단 되었다.

원형강관으로 구속된 콘크리트의 역학적 거동 특성에 관한 연구 (A Study on Properties of Mechanical Behaviors of Concrete Confined by Circular Steel Tube)

  • 박정민;김화중
    • 콘크리트학회지
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    • 제7권3호
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    • pp.199-210
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    • 1995
  • 충전형 강관콘크리트 구조는 강관과 콘크리트 두 재료의 이질적인 재료특성을 상호 보완적으로 발휘하여 구조적 성능향상을 꾀한 것으로서 제구조 특성상 우수한 구조형식이라 할 수 있다. 강관으로 구속된 콘크리트가 중심축력을 받게 되면 내부의 콘크리트는 압괴에 의한 체적 팽창을 외부의 강관에 의해 구속 받게 되므로 3축 압축응력 상태로 되어 압축강도가 증대된다. 또한 콘크리트의 압괴에 의한 탈락 현상이 방지되므로서 단면의 결손이 없어져 내력 저하가 작아진다는 잇점을 가진다. 따라서 본 연구에서는 원형강관으로 구속된 내부 콘크리트의 구조적 거동 특성을 규명하기 위한 것으로서 폭두께비와 충전 콘크리트의 강도를 주요 변수로 하여 일련의 실험을 통하여 강관으로 구속(3축 응력)된 콘크리트의 구조적 거동 특성을 고찰하였다. 일련의 실험을 통하여 얻어진 결론을 요약하면 다음과 같다. (1)강관에 의한 콘크리트의 구속효과는 강관의 폭두께비와 충전 콘크리트의 강도가 낮을수록 현저하며, 원형강관으로 구속된 내부 콘크리트는 최대내력시의 변형능력에 있어서 횡방향 구속이 없는 콘크리트보다 4~7배 정도까지 증대시켜 연성효과를 높일 수 있을 것으로 기대된다. (2)콘크리트의 구속계수를 이용하여 강관으로 구속된 내부 콘크리트의 강도와 콘트리트 충전강관 기둥의 최대내력을 산정할 수 있는 식을 제시하였다.

인버터 주파수 제어에 따른 CO2용 수냉식 열펌프의 성능 특성 (Performance Characteristics of Water-Chilling Heat Pump Using CO2 on Control of Inverter Frequency)

  • 손창효
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제11권12호
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    • pp.4721-4726
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    • 2010
  • 본 논문은 압축기 인버터 주파수 제어에 따른 CO2용 수냉식 열펌프의 성능 특성에 대해서 실험적으로 조사하였다. 실험장치는 압축기, 가스냉각기, 팽창밸브, 증발기, 내부 열교환기, 수액기로 구성된다. 실험장치에 사용된 모든 열교환기는 동관으로 제작된 이중관식 대향류형이다. 가스냉각기와 증발기는 2.4 m인 소시험부 6개와 4개로 각각 구성된다. 실험결과를 요약하면, 우선 증발기와 가스냉각기의 입구온도와 냉매유량이 일정한 조건하에서 압축기 인버터 주파수가 증가할수록 압축비와 토출압력이 증가한다. 또한 인버터 주파수가 증가할수록 난방능력과 압축일량은 증가하는 반면 성능계수는 감소한다. 그리고 증발기 입구 2차유체의 온도가 $15^{\circ}C$에서 $25^{\circ}C$로 증가함에 따라 압축비와 압축일량은 감소하지만 질량유량, 난방능력, 성능계수는 증가한다. 위의 이러한 경향은 종래의 프레온계 냉매 시스템의 성능 변화와 유사하다.

흉부 손상의 임상적 고찰 (Clinical Analysis of the Chest Trauma)

  • 이재덕;이계선
    • Journal of Chest Surgery
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    • 제29권1호
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    • pp.79-85
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    • 1996
  • 대전 을지병원 흉부외과에서는 1991년 3월 부터 1994년 11월까지 흉부손상으로 입원한 305명의 환자에 대하여 임상적 고찰을 시행하였다. 연령 분포는 4세 에서 85세까지 다양하였고 가장 흔한 연령층은 30대, 40대, 50대 였다. 남녀의 비율을 보면 남자 환자가 229명에 비해 여자 환자는 76명으로 남녀의 비는 남자에서 많은 빈도를 보였다. 흉부손상의 가장 흔한 원인은 비 관통성 손상에서는 교통사고, 관통성 손상에서는 자상이 제일 많았다. 혈흥, 기흥, 혈 기흥은 전체 환자중 159례 (52.1%)에서 관찰되었고 늑골골절은 236례 (77.4%)에서 관찰되었다 손상 부위별로는 우측이 102례, 좌측이 142례, 양측이 45례로 좌측에서 많았고 가장 흔한 늑골골절은 3번에서 8번까지의 늑골이었다. 수상후 내원시간은 6시간 이내가 155례 (50.8%) 였다. 흉부손상의 초기 합병증 치료의 원칙은 흥강천자술(5례)이나 폐쇄성 흥관 삽관술(142례)에 의한 폐의 신속한 확장이 었으나, 심한 출혈 (13례), 횡격막 파열6례, 이물질 3례 등으로 17례 에서 개흥술을 시행하였다. 부분의 치료방법인 보존적 요법은 140례 (45.9%)에서 시행하였다. 전체 사망률은 2.6% (8례)였고 사망원 括\ulcorner호릅부전과 쇽이었다.

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공간정보기반 건축물의 풍속고도분포계수 산정 방법 개발 (Development of Estimation Method for Velocity Pressure Exposure Coefficient of Buildings Based on Spatial Information)

  • 서은수;최세휴
    • 한국지리정보학회지
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    • 제20권2호
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    • pp.32-46
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    • 2017
  • 최근 급격한 도시팽창 및 각종 산업시설의 밀집화는 도심지역의 지형지물 변화에 많은 영향을 줌으로써 한 지역에 다양한 높이의 건축물 또는 평지와 산지가 함께 존재하는 현상을 초래하였다. 본 연구에서는 내풍설계 시 중요한 인자인 풍속고도분포계수를 산정하기위해 건축물의 높이별로 공간정보 기반 밀집도 분석을 활용하여 지표면조도를 구분하고자 한다. 공간데이터의 확보를 위해 수치지형도에서 건축물 레이어를 추출한 후, 밀집도 분석을 위한 방사형 방안을 생성하였으며, 방안별로 건축물 높이별 도수분포 현황을 조사하였다. 건축물의 분포도를 통해 VMR(Variation-to-Means Ratio) 및 포아송분포 분석을 진행함으로써 높이별 밀집도를 판정하였으며, 카이제곱 검증을 통해 통계적 유의성을 확인하였다. 공간정보 분석을 바탕으로 GIS를 이용하여 연구를 진행함으로써 기존의 다소 정성적, 주관적인 방법에서 벗어나 지형 지물을 반영하여 보다 정량적, 객관적인 풍속고도분포계수의 산정이 가능하였다. 본 연구를 통해 설계자의 주관에 따라 풍속고도분포계수가 산정되는 기존의 문제점을 해결하고 보다 합리적인 내풍설계에 기여할 수 있을 것으로 기대된다.

반건식 세정기의 산성가스 제거성능에 관한 실험적 연구 (An Experimental Approach to Evaluate the Desulfurization Yield in Spray Drying Sorber)

  • 양현모;김상수
    • 대한기계학회논문집B
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    • 제24권4호
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    • pp.589-598
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    • 2000
  • A pilot-scale Spray Drying Sorber (SDS) system was set up to evaluate the effect of spray characteristics on the desulfurization yield. The size distribution and the Sauter Mean Diameters of slurry droplets were measured in advance using the optical size measurement system, Malvern 2600. The desulfurization yield of the drying chamber by size was measured for the conditions of inlet gas and spray injection. As a reagent, 10% limestone slurry of $Ca(OH)_2$ was treated with flue gas containing $SO_2$, and the combustion gas analyzer and gas detectors were attached to measure the $SO_2$ concentration. With a flow rate of 144 Nm3/h and a temperature range of $200{\sim}300^{\circ}C$, the experiments were performed for the Stoichiometric Ratio (SR) of 1.0 to 3.0 and droplet mean diameter of 6.5 to $34.3{\mu}m$. In case of smaller spray droplets, the desulfurization efficiency improved due to the increase of total droplet surface area, while the reduction in evaporation time reduced the contact time between the droplets and $SO_2$ gas. In some typical region of droplet diameter, this negative effect, reduction of contact time, became dominant and the desulfurization yield decreases the desulfurization yield in spite of the expansion in absorption area. These results revealed that there exists the optimal size of spray droplets for a given state, which is determined by the compromise between the total surface area of slurry droplets and the evaporation time of droplets. The measurements also indicated that the inlet temperature of flue gas changes the optimal injection condition by varying the driving force for evaporation. The results confirm that the effect of the evaporation time of slurry droplets should be considered in analyzing the desulfurization yield as well as the total surface area, for it is a significant aspect of the correlation with the capabilities of $SO_2$ absorption in wet droplets. In conclusion, the optimal condition of spray can be determined based on these results, which might be applied to design or scale-up of SDS system.

전통적 증편 제조의 표준화 (Standardization for the Preparation of Traditional Jeung-pyun)

  • 최성은;이종미
    • 한국식품과학회지
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    • 제25권6호
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    • pp.655-665
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    • 1993
  • 전통적 증편 제조법의 표준화를 위하여 증편에 첨가되는 동동주와 콩의 양 그리고 발효시간이 수준에 따라 증편 특성에 미치는 영향을 관능적 방법과 이화학적 방법을 사용하여 알아보았다. 또한 반응 표면 방법을 사용하여 이들 요인들의 초적 수준을 결정하였다. 증편 반죽의 standing height 비율에서 콩은 1, 2차 발효시 모두, 발효시간은 1차 발효시에만 그 수준이 높아짐에 따라 통계적으로 유의하게 그 값이 증가하였다. 증편반죽의 비용적은 1, 2차 발효시 모두 콩의 첨가량이 증가 할수록 통계적으로 유의하게 증가하였고 쪄서 제조된 증편의 비용적은 동동주양과 콩량이 많아질수록 통계적으로 유의한 증가를 보였다. 증편의 팽창율은 동동주양과 콩량이 증가할수록 통계적으로 유의한 차이를 보이며 증가하였고 특히 콩에 의한 효과가 다른 용인보다 큰 것으로 나타났다. 증편반죽의 pH는 동동주 양이 적어지고 콩량이 증가될수록 통계적으로 유의하게 높아졌다. 증편의 환원당량은 동동주 양이 많아지고 발효시간이 길어질수록 통계적으로 유의하지는 않았지만 증가하는 경향을 보였으며 콩의 첨가량이 증가할수록 통계적으로 유의하게 증가하였다. 증편의 수분함량은 각 요인이나 수준차에 따라 유의적인 차이나 일정한 경향을 보이지 않았다. Rheometer에 의한 증편의 텍스처는 콩량이 많아질수록 경도, 탄력성, 응집성 등의 측정값이 통계적으로 유의하게 감소하였다. 관능검사결과로부터 반응 표면 방법을 이용하여 결정한 증편 제조시의 최적 수준은 쌀가루 100g당 동동주 30g, 콩 2g, 1차 발효시간 180분 이었다.

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중소기업의 사업영역과 기술혁신역량이 경영성과에 미치는 영향에 관한 실증연구 (The Impact of Business Scope and Technological Innovation Capability on Firm Performance in SMEs)

  • 이병헌;김영근
    • 한국벤처창업학회:학술대회논문집
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    • 한국벤처창업학회 2007년도 춘계학술대회
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    • pp.203-226
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    • 2007
  • 본 연구는 우리나라 자본재 산업의 중소기업을 대상으로 사업영역과 기술혁신역량이 경영성과에 미치는 영향을 실증 분석하였다. 자료는 지역별 산업단지 관리공단의 도움을 받아 1,077개의 중소제조업체를 대상으로 조사하였고 그 중 자본재 산업에 속하는 228개 기업을 분석하였다. 실증 분석 결과, 사업영역에서 제조제품군수가 영업이익률에 정(+)의 영향을 미쳤다. 기술혁신역량에서는 지적재산권수가 매출성장률에 정(+)의 영향을 전문기술인력비는 영업이익률에 정(+)의 영향을 미쳤다. 또한, 사업영역과 기술혁신역량 의한 상호작용 효과도 존재하는 것으로 나타났다. 전문기술인력비가 높을수록 제품다각화가 경영성과에 정(+)의 영향을 미쳤고, 지적재산권이 많을수록 거래고객과 제조제품군수는 영업이익률과 매출성장률에 각각 정(+)에 영향을 미쳤다. 이러한 연구결과는 자본재 산업의 중소기업들이 경영성과를 제고하기 위해서는, 기술능력을 축적하고 사업영역을 확대해야함을 의미한다. 또한, 기업들이 사업영역을 확대하기 위해서는 먼저 내부의 기술혁신역량을 축적하는 것이 필요하다는 점을 시사한다. 특히, 고객의 범위를 확장할 때 새로운 고객의 욕구를 충족시킬 수 있는 기술역량을 가지고 있어야 함을 의미한다. 그리고 기술혁신역량이 높은 기업일수록 중소기업의 제조제품군수의 확대는 경영성과를 개선할 수 있다는 점을 뜻한다.

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시판 넙치용 배합사료의 품질평가 (Quality Evaluation of Commercial Extruded Pellet Diet for Olive Flounder, Paralichtys olivaceus)

  • 지승철;문경수;유진형;이시우;김홍범;정관식
    • 한국수산과학회지
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    • 제38권5호
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    • pp.291-297
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    • 2005
  • This study evaluated the quality of commercial extruded pellet (EP) diet of five companies (A, B, C, D and E) for olive flounder Paralichtys olivaceus by biochemical analyses, physical properties and growth performance. The proximate analyses of five EP diets showed $3.2-10.0\%$ of moisture, $49.3-55.5\%$ of crude protein, $4.6-14.7\%$ of crude lipid, $7.0-13.8\%$ of crude ash, $0.7-10.5\%$ of crude fiber, $10.0-27.3\%$ of itrogen free extract (NFE), 304.3-395.4kcal/100g of digestible energy (DE) and 6.1-7.1 of calorie/protein ratio (C/P). Peroxide value (POV) was highest in diet D (47.4 meq/kg) as compared to other diets which in the range of 4.0-11.7 meq/kg. Total amino acid contents were ranged from 46.54 to $55.46\%$ with the highest content in diet B and the lowest content in diet C. Essential amino acid of diet C was lowest $(7.43\%)$ as compared to other diets which in the range of $19.43-20.30\%$. Saturated fatty acid was higher in diet A $(37.65\%)$ followed by diet B $(36.32\%)$, diet E$(34.39\%)$, diet C$(30.95\%)$ and diet D$(30.10\%)$. EPA+DHA were highest in diet E$(30.78\%)$ and lowest in diet C$(15.48\%)$. The floating rate after 6 hours on the sea water was highest in diet C$(100\%)$ followed by diet B$(40\%)$ and A$(10\%)$. However, diets D and E were completely settled down after 1 and 2 hours, respectively. The range of relative expansion rate was $27.2-49.3\%$ for all diets and all reached the peak at 2-3 hours. The water absorption rate of diets C and D was lowest, and diet E was highest at 1 hour after deposition of sea water. Growth rate was higher in diet B$(22.3\%)$ and E$(21.3\%)$. Feed efficiency was higher in diet A$(109.7\%)$ and E$(105.3\%)$ and was significantly lowest in diet D$(80.7\%)$. The protein efficiency ratio was highest in diet E (2.72) and lowest in diet D (1.76). These results suggest that there is a necessity for improvement of nutrients balance and feed physical properties to fulfill the nutrient requirements and digestive characteristics of fishes in commercial EP diets.