In this paper a multiple channel EPD controller is developed which enables us to detect endpoints simultaneously in the plasma etching process operated in multiple etching chambers and its performance characteristic are investigated. for the accurate detectiion of endpoint the developed EDP controller was able to implement endpoint detectiions by integrating the existing EPD controllers with the techiques of artificial intellignet, to enhance its performance. The performance of the developed EPD controller was carried out by repeated experiments of endpoint detection in the acrual production line of semiconductor manufacturing. It's utility for endpoint detectiion was accurately evaluated in various etching process. The control capability of multiple etching chambers enhances its application compared with the existing one, and also increases the user utility os that the efficiency of operation was improved.
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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v.12
no.4
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pp.111-118
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1995
This paper presents the modified fuzzy-compensated PID(FCPID) control, which involves adding the compensator to an existing PID controller, to improve the performances of the systems. Compared to a conventional PID control and a fuzzy logic control(FLC), the proposed control scheme has superior performance. Experimental results of an actual implementation of the modified PC-based FCPID controller on the DC servo-motor demonstrate considerable improve- ment of the performance of the existing FCPID control by monitoring the scaling factor. They show faster responses and smaller overshoots than the conventional FCPID control scheme for the various reference inputs and the robustness to the loads.
The improvement of cooling efficiency for the cabinet of automatic controller is the most efficient method of it's application. Therefore, this study has been analyzed and investigated the improvement of cooling efficiency and reduction of energy for the cabinet of automatic controller, respectively. So this study was conducted to enhancement of cooling efficiency for the cabinet of automatic controller by making a structure which produces difference of air pressures in the entrance tube of external air. And the structure has capacity of the pyrogen source (PTC elements) to make temperature range from $145^{\circ}C$ to $155^{\circ}C$. Consequently, temperatures of the upper, the lower in the interior of the cabinet of automatic controller and the exhaust part were revealed $28.57^{\circ}C$, $23.38^{\circ}C$and $36.14^{\circ}C$(average temperature of the exhaust part in case of existing method : $45^{\circ}C$) in target test of this study, respectively. It was found that the cabinet of the automatic controller has better cooling ability than the cabinet of automatic controller by using an existing method.
This article presents a closed loop control of DC series motor fed by DC chopper controlled by an PID controller based intelligent control using ANN (Artificial Neural Network). The PID-ANN controller performances are analyzed in both steady state and dynamic operating condition with various set speed and various load torque. Here two different motor parameters are taken for analysis (220V and 110V motor parameters). The static and dynamic performances are taken for comparison with conventional PID controller and existing work. The steady state stability analysis of the system also made using the transfer function model. The equation model is also done to analysis the performances by set speed change and load torque change. The proposed controller have better control over the conventional PID controller and the reported existing work. This system is initially simulated using MATLAB / Simulink and then experimental setup done using P89V51RD2BN microcontroller.
Journal of Institute of Control, Robotics and Systems
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v.16
no.7
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pp.668-673
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2010
Given a periodic reference signal or disturbance, repetitive control is a special control scheme to reduce a tracking error effectively by the periodic signal generator in the repetitive controller. In general, a repetitive controller is added on the existing feedback control system to improve the tracking performance. However, because the information used in the design of the feedback controller is not taken into account, the design problem of the repetitive controller is totally another problem irrespective of that of the feedback controller. In this paper, we present a more general method to design an add-on type repetitive controller using the information on the performance of the existing feedback control system. We first show that a robust stability condition of repetitive control systems is obtained using the well-known robust performance condition of general feedback control systems. It is also shown that we can obtain a steady-state tracking error described in a simple form without time-delay element if the robust stability condition is satisfied for the repetitive control system. From the obtained results, several design criterions for repetitive controller are provided. Through the simulation study, the feasibility of the proposed method is verified.
This paper shows that using the multivariable controller reduces the magnitude of fluctuations of the control signals which result improved control of the steam generator outputs. Comparison of the performance of the multivariable weighted adaptive controller(MWAC) with the performance of the existing PI controller and the self_tuning controller/1/, when the system goes through a transient mode, shows that the out-puts stay closer to their set points when they are controlled by the adaptive controller.
We have designed and investigated a new congestion control scheme, called optimal and fully explicit (OFEX) controller. Different from existing relatively explicit controllers, this new scheme can provide not only optimal bandwidth allocation but also a fully explicit congestion signal to sources. It uses the congestion signal from the most congested link instead of the cumulative signal from the flow path. In this way, it overcomes the drawback of relatively explicit controllers exhibiting bias toward multi-bottlenecked users and significantly improves their convergence speed and source throughput performance. Furthermore, our OFEX-controller design considers a dynamic model by proposing a remedial measure against the unpredictable bandwidth changes in contention-based multi-access networks. Compared with former works/controllers, this remedy also effectively reduces the instantaneous queue size in a router and thus significantly improves queuing delay and packet loss performance. We have evaluated the effectiveness of the OFEX controller in OPNET. The experimental comparison with the existing relatively explicit controllers verifies the superiority of our new scheme.
Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers A
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v.21
no.3
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pp.361-368
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1997
In order to eliminate position errors existing at the steady state in the motion control of robotic manipulators, a new fuzzy control algorithm is propeosed using three variables, position error, velocity error and integral of position errors as input variables of the fuzzy controller. Although the number of input variables of the fuzzy controller is increased from two to three, the number of fuzzy control rules is just increased by two. Three dimensional look-up table is used to reduce the computational time in real-time control, and a technique reducing the amount of necessary memory is introduced. Simulation and experimental studies show that the position errors at the steady state are decreased more than 90% compared to those of existing fuzzy controller when the proposed fuzzy controller is applied to the 2 axis direct drive SCARA robot manipulator.
Journal of Institute of Control, Robotics and Systems
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v.16
no.2
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pp.134-139
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2010
In order to overcome some problems of existing anti-windup methods, this paper defines LQ (Linear Quadratic) observer and proposes a new anti-windup method using the LQ observer. LQ observer is derived by linear quadratic optimization in order to calculate controller states, which make the controller outputs equal to the plant inputs. And we propose an algorithm so that it can be implemented by a digital controller easily. The relationship between the design parameters and the anti-windup performance is shown via some numerical examples, which cover the cases with the anti-windup method using LQ observer designed and the case without it. Finally, the anti-windup performance of the proposed method is exemplified via comparison with the existing model-based conditioning scheme method[4].
In this paper, we present a self-compensating PID controller which consists of a conventional PID controller that controls the linear components and a neural controller that controls the higher order and nonlinear components. This controller is based on the Harris's concept where he explained that the adaptive controller consists of the PID control term and the disturbance compensating term. The resulting controller's architecture is also found to be very similar to that of Wang's controller. This controller adds a self-tuning ability to the existing PID controller without replacing it by compensating the control errors through the neuro-controller. When applied to an actual magnetic levitation system which is known to be very nonlinear, it has also produced an excellent results.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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