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비냉각 금속 박막형 열전퇴 적외선 검지기 (Uncooled Metallic Thin-film Thermopile Infrared Detector)

  • 오광식;조현덕;김진섭;이용현;이종현;이정희;박세일
    • 대한전자공학회논문지SD
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    • 제37권2호
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    • pp.5-12
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    • 2000
  • 열전퇴의 고온 접합부가 Si/sub 3/N/sub 4//SiO/sub 2//Si/sub 3/N/sub 4/ 멤브레인에 의해 실리콘 기판으로부터 열차단되고, 열전퇴의 저온 접합부는 방열판 역할을 하는 실리콘 림(rim)에 의해 지지되는 멤브레인위에 놓여지며, Au-black이 적외선 흡수체로 사용되는 비냉각 금속 박막형 열전퇴 적외선 검지기를 제작하고, 적외선 검지기의 성능지수에 대해 논의하였다. 3∼14㎛의 파장범위에서 Au-black의 적외선 흡수도는 대개 90%정도였고, Au 증발시의 챔버압력 및 증착된 Au-black의 단위면적당 질량에 크게 의존하였다. 쵸핑 주파수가 5 Hz일 때 Bi-Sb 열전퇴 적외선 검지기의 전압 감응도, 잡음등가전력 및 비검지도는 실온의 공기중에서 각각 약 10.5V/W, 2.3 ㎻/㎐½, 및 1.9×10/sup 7/㎝·㎐½/w였다.

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정전용량 방식의 이차원 마이크로볼로미터 FPA를 위한 저잡음 신호취득 회로 설계 (Design of Low Noise Readout Circuit for 2-D Capacitive Microbolometer FPAs)

  • 김종은;우두형
    • 전자공학회논문지
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    • 제51권10호
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    • pp.80-86
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    • 2014
  • 본 연구를 통해서 정전용량 방식의 이차원 마이크로볼로미터를 위한 저잡음 신호취득 회로를 연구하였다. 잡음 대역폭이 매우 낮고 픽셀 면적이 작기 때문에 비 적분형 방식의 간단하고 효과적인 픽셀 단위의 회로를 사용했다. 또한, 가장 문제가 되는 kT/C 잡음을 줄이고 전력소모를 낮추기 위해 새로운 CDS 방식을 열 단위의 회로에 사용했다. 제안하는 회로는 $0.35-{\mu}m$ 2-poly 4-metal CMOS 공정을 이용하여 설계했고, 마이크로볼로미터의 픽셀 크기는 $50{\mu}m{\times}50{\mu}m$이다. 제안하는 신호취득회로는 볼로미터의 kT/C 잡음 등을 포함한 저주파 잡음을 효과적으로 제거하며, 제작된 칩에 대한 잡음 측정을 통하여 이를 검증하였다. 제안하는 회로는 간단한 신호취득 회로에 비해 그 잡음을 30 %에서 55 % 이하까지 개선할 수 있으며, 전체 감지시스템의 잡음등가온도차(NETD)를 21.5 mK 정도로 낮출 수 있다.

1,3 Propanediol을 이용해 제작된 PZT(30/70) 후막의 초전특성에 관한 연구 (A Study on the Pyroelectric Properties of PZT(30/70) Thick film Prepared by Using 1,3 Propanediol)

  • 송금석;장동훈;정양희;윤영섭
    • 대한전자공학회논문지SD
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    • 제41권6호
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    • pp.9-15
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    • 2004
  • 1,3 propanediol 을 이용한 sol-gel 방법으로 PZT(30/70) 후막을 제작하였다. 제작된 film 의 초전특성은 dynamic 방법을 이용하여 변조 주파수 의존성을 조사하였다. 초전계수 (pyroelectric coefficient) 는 약 $5.0{\times}10^{-8}\;C/cm^2{\cdot}K$를 나타내었다. 전압감도와 비검출능에 대한 재료평가지수는 비교적 높은 유전률과 높은 초전계수로 인해 각각 $3.4{\times}10^{-11}\;C{\cdot}cm/J$$5.9{\times}10^{-9}\;C{\cdot}cm/J$을 나타내었다. 전압감도는 저주파 영역에서 증가하다가 고주파 영역에서는 주파수에 반비례하는 경향을 보이며, 10Hz에서 최대값 1.84 V/W를 나타내었다. 잡음전압은 Johnson 잡음의 영향으로 거의 $f^{-1/2}$ 에 비례하여 증가하였다 잡음등가전력과 비검출능은 같은 주파수 80Hz 에서 각자 $2.83{\times}10^{-7}\;W/Hz^{1/2}$3.13{\times}10^5\;cm{\cdot}Hz^{1/2}/W$를 나타내었다.

계통해석법에 의한 I-131대기방출의 영향평가 (An Assessment of Radiological Consequences of I-131 Atmospheric Release by the System Analysis Method)

  • 육종철;이종일;하정우
    • Journal of Radiation Protection and Research
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    • 제13권1호
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    • pp.8-20
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    • 1988
  • 영광 원자력 발전소 영광 1, 2호기로부터 대기방출되는 I-131에 의한 주민피폭선량을 ICRP 29에서 제안한 계통해석법 (system analysis method)으로 계산하였고, I-131의 연간 섭취에 의한 갑상선의 실효 예탁선량당량을 ICRP 29와 ICRP 30의 개념을 결합하여 계산하였다. 그리고 계산에 사용한 모델의 감도(sensitivity)와 견고도(robustness)도 아울러 분석 평가하였다. 단기방출에 따른 최대 연간 개인피폭선량 계산결과는 정상가동에 따른 연속방출가정에 의한 계산결과보다 1.4내지 1.7배나 높았고, 연간 핵연료 손상율이 0.12%인 경우, 갑상선에 대한 집단피폭선량은 3.05${\times}10^{-3}$man-thyroid-Sv으로서 GASPAR 전산코드에 의한 값 2.31${\times}10^{-3}$man-thyroid-Sv보다 높았다. 사용한 모델의 평균 견고도 지수는 0.5이하로 변수값에 많은 영향을 받는 것으로 나타났으며, 경구섭취를 통한 각 피폭경로의 감도 계산결과 유아의 경우는 우유를 통하여, 그리고 소아, 십대 및 성인의 경우는 농작물을 통한 피폭이 가장 민감한 것으로 나타났다.

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에탄올 농도에 따른 머루(Wild Grape, Vitis coignetiae) 추출물의 폴리페놀 함량 및 항산화 활성 (Total Polyphenol Content and Antioxidative Activity of Wild Grape (Vitis coignetiae) Extracts Depending on Ethanol Concentrations)

  • 정현진;박선빈;김선아;김현구
    • 한국식품영양과학회지
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    • 제36권12호
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    • pp.1491-1496
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    • 2007
  • 추출용매를 달리하여 마이크로웨이브로 추출한 머루의 생리활성을 측정하였다. 전자공여능, 아질산염 소거능은 모든 추출구에서 농도 의존적으로 활성이 증가하였고 폴리페놀도 농도 증가에 따라 함량이 높게 나타났다. 세 가지 추출용매 중 50% 에탄올 추출 시 항산화 활성이 높았는데 이는 총 폴리페놀 함량 측정 결과와도 일치하여 머루의 항산화 활성이 폴리페놀과 밀접한 관련이 있다고 사료된다. 전반적인 활성은 전자공여능이 약 $13{\sim}101%$로 특히 1.6 g/dL 농도의 50% 에탄올 추출물의 활성의 경우 1% L-ascorbic acid보다 우수했다. 아질산염 소거능은 pH가 낮을수록 활성이 높은 경향으로 pH 1.2에서 활성이 $34{\sim}99%$로 가장 높게 측정되었다. 총 폴리페놀 함량은 농도에 따른 폴리페놀 함량의 차이가 컸으며 50% 에탄올 추출, 1.6 g/dL 농도에서 약 38.76 mM gallic acid equivalent로 가장 높았다. SOD 유사활성은 $30{\sim}50%$로 전자공여능이나 아질산염 소거능만큼 우수하진 않았지만 0.01% L-ascorbic acid보다 50%, 100% 에탄올 추출구에서 높은 활성을 보였다. 머루의 항산화 활성과 폴리페놀 함량은 밀접한 관련이 있는 것으로 보이며 폴리페놀 함량이 풍부한 머루를 이용한 항산화 건강기능성 식품 개발의 기초 자료로 제공하고자 하였다.

LED 모듈의 초고속 레이저 절단을 위한 연구 (Study of high Speed Laser Cutting of LED Module)

  • 최원용;좌성훈
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제24권1호
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    • pp.91-101
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    • 2017
  • 최근 레이저를 이용하여 전자 소자 및 모듈을 절단하기 위한 많은 연구가 진행되고 있다. 본 연구에서는 레이저를 이용하여 LED 모듈을 초고속 절단하기 위한 기초 연구를 수행하였다. 특히 기존의 다이싱(dicing) saw의 절단 속도를 훨씬 능가하는 100 mm/s의 초고속 레이저 절단의 가능성을 검토하였다. 이를 위하여 LED 모듈의 구성 재료인 copper/ceramic 및 silicone/ceramic 이종 복합 기판을 제작하여 레이저 절단 후, 절단면의 표면 특성, 표면조도, 굽힘 강도를 다이싱 saw를 이용하여 절단한 샘플과 비교하였다. 복합 기판에 대한 최적의 레이저 절단 조건을 찾기 위하여, 세라믹 및 구리 단일 기판의 레이저 절단을 통하여 다양한 레이저 공정 조건들에 대한 영향 검토하였다. 절단면의 표면 특성이 가장 좋은 최적의 레이저 절단 조건은 Ar 보조 가스의 사용, 높은 레이저 파워 및 높은 보조 가스의 압력이었다. Copper/ceramic 및 silicone/ceramic 이종 복합 기판에 대하여 레이저 절단과 다이싱 saw로 절단한 기판의 절단면을 비교한 결과, 레이저로 절단된 기판이 다이싱 saw 절단에 비하여 표면이 거칠고 표면 특성이 약간 나쁘다. 레이저 절단면의 평균 표면조도는 약 $9{\mu}m$ 이며, 다이싱 saw로 절단된 절단면의 표면조도는 약 $4{\mu}m$ 이었다. 그러나 다이싱 절단의 절단 속도(3 mm/s)를 고려하면 레이저 절단면의 표면 morphology가 비교적 균일하고, 표면조도도 다이싱 절단의 경우와 큰 차이가 없기 때문에 어느 정도 만족할 만한 결과를 얻었다고 판단된다. 또한 레이저 절단된 기판의 굽힘 강도가 다이싱으로 절단된 기판의 굽힘 강도보다 동등하거나 약간 열세이었다. 그러나 향후 레이저의 절단 조건이 좀 더 최적화된다면 LED 모듈의 초고속 레이저 절단이 가능할 것으로 판단된다.

$Pb_{l-x}La_{x}Ti_{l-x/4}O_3$ (x=0.1) (PLT(10)) 강유전체 박막에서 동적 초전특성의 주파수의존성에 관한 연구 (A study on the Frequency Dependence of Dynamic Pyroelectric Properties for $Pb_{l-x}La_{x}Ti_{l-x/4}O_3$ (x=0.1) (PLT(10)) Ferroelectric Thin Film)

  • 차대은;장동훈;강성준;윤영섭
    • 대한전자공학회논문지SD
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    • 제39권12호
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    • pp.1008-1015
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    • 2002
  • 분극처리 없이 제작한 lanthanum-modified lead titanate (PLT) 박막의 초전특성에 대한 변조 주파수 의존성을 dynamic method를 이용하여 조사하였다. La이 10mo1% 첨가된 Pb/sub l-x/La/sub x/Ti/sub l-x/4/O₃ (h=0.1) (PLT(10)) 박막을 Pt/TiO/sub x//SiO₂/Si 기판위에 acetate 계 precursor 을 이용한 sol-gel 법으로 제작하였다. 제작된 PLT(10) 박막은 비교적 우수한 유전특성을 보였다. 초전계수 (p) 는 주파수 의존성이 없이 6.6×10/sup -9/ C/㎠·K 을 나타내었다. 이를 이용하여 구한 전압감도와 비검출능을 위한 재료평가지수는 각각 1.03×10/sup -11/ C·㎝/J 과 1.46×10/sup -9/C·㎝/J 로 나타났다. 제작된 PLT(10) 박막 초전형 적외선 센서는 주파수 8Hz 에서 5.15v/w 의 전압감도 (Rv)를 가지며, 잡음등가전력 (NEP) 과 비검출능 (D/sup */) 은 동일한 주파수 100Hz 에서 각각 9.93×10/sup -8/W/Hz/sup 1/2/와 1.81×10/sup 6/cm·Hz/sup 1/2//W 의 최소값과 최대값을 나타내었다. 이와 같은 특성들은 PLT(10) 박막이 초전형 적외선 센서의 감지물질로 매우 적합함을 나타낸 것이다.

GaN를 이용한 Schottky diode형 자외선 수광소자의 제작 (Fabrication of a Schottky Type Ultraviolet Photodetector Using GaN Layer)

  • 성익중;이석헌;이채향;이용현;이정희;함성호
    • 전자공학회논문지D
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    • 제36D권6호
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    • pp.28-34
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    • 1999
  • 본 논문에서는 GaN 박막 위에 각각 알루미늄(Al)과 백금(Pt)을 증착하여 저항성 전극 및 투명한 schottky 전극을 형성한 평면형 자외선 수광소자를 제작하였다. 제작된 소자에 대해 전기적 특성과 광학적 특성을 조사하여 자외선 센서로서의 적합성을 검토하였다. 사파이어 기판위에 성장된 GaN 박막은 $7.8{\times}10^{16}cm^{-3}$의 도핑(doping)농도와 $138 cm^2/V{\cdot}s$의 이동도(mobility)를 가졌으며, 파장이 365 nm 이하인 빛만을 흡수하는 자외선 감지막 특성을 나타내었다. 5 V의 역방향 전압을 인가하였을 때 제조된 schottky형 자외선 센서는 325 nm의 자외선 파장에서 응답도가 2.84 A/W였고, $4{\times}10^4$의 큰 신호대 잡음비(SNR)의 $3.5{\times}10^9$W의 잡음등가전력(NEP)을 나타내었다. 따라서 이들 결과로부터 GuN를 이용한 schottky 다이오드가 가시광 차단 UV photodetector를 제조할 수 있음을 확인하였다.

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쿨롱마찰을 갖는 단자유도계의 자유진동응답에 관한 닫힌 해 (Closed-Form Solutions to Free Vibration Response of Single Degree of Freedom Systems with Coulomb Friction)

  • 이성경
    • 한국전산구조공학회논문집
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    • 제33권1호
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    • pp.9-16
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    • 2020
  • 본 연구는 쿨롱마찰을 갖는 동적시스템의 기초적인 연구로써 단자유도계의 자유진동응답에 대한 닫힌 해를 제공하는 것을 목적으로 한다. 쿨롱마찰을 포함하는 동적시스템의 운동방정식은 운동방향에 따른 마찰력의 부호변화로 인하여 비선형 미분방정식의 형태로 표현되기 때문에 닫힌 형태의 해를 얻기가 매우 어려운 특성이 있다. 이를 해결하기 위한 기존의 방법으로는 수치적분법에 의해 비선형 미분방정식을 직접 계산하거나 또는, 쿨롱마찰에 의한 감쇠효과를 등가점성감쇠로 치환한 선형 미분방정식을 이용하여 간접적으로 해를 구하는 방법이 사용되고 있다. 그러나 이러한 방법들은 수학적인 측면에서 닫힌 해를 제공하지 않는다. 따라서 본 연구에서는 운동방정식에서 반주기 구간마다 반전되는 마찰력의 부호변화를 고려하고, 이를 멱급수를 이용하여 전 구간으로 확장시킴으로써 쿨롱마찰을 고려한 단자유도계의 자유진동응답에 대해서 수학적으로 닫힌 해를 유도하였다. 또한, 마찰력의 크기가 강성에 의한 복원력의 크기보다 커지는 순간에 자유진동 운동이 정지하는 조건을 이용함으로써 주어진 초기조건에 대해서 예측되는 자유진동 반주기의 수와 운동이 정지하는 순간의 정확한 응답 값을 제안하였다

반강접 접합부 배치에 따른 비가새 5층 철골골조구조물의 비탄성 정적해석 (Pushover Analysis of an Unbraced 5-Story Steel Framed Structure for Arrangement of Semi-Rigid Connection)

  • 강석봉;김신애
    • 한국강구조학회 논문집
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    • 제22권4호
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    • pp.325-334
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    • 2010
  • 본 연구에서는 반강접 접합부 배치에 따른 구조물 거동특성을 파악하기 위하여 KBC2005 건축구조설계기준으로 비가새 5층 철골 구조물을 설계하여 모든 접합부를 완전 강접합부과 반강접 접합부로 이상화한 경우 그리고 반강접 접합부를 수직배치 및 수평배치한 경우에 대하여 푸쉬오버 구조해석을 실시하였다. 철골 보 및 기둥의 모멘트-곡률관계는 화이버모델을 이용하여 확인하였으며 반강접 접합부의 모멘트-회전각 관계는 3-매개변수 파워모델을 이용하여 나타내었다. KBC2005 등가정적횡하중을 받는 2차원 구조물에 대한 푸쉬오버 구조해석을 실시하여 지붕충변위, 밑면전단력, 접합부 요구연성도, 소성힌지 발생순서 그리고 초과강도계수, 연성계수, 반응수정계수와 같은 설계계수 등을 확인하였다. 반강접 접합부를 부분적으로 사용하면 모든 접합부에 반강접 접합부를 사용한 골조 보다 큰 강도 및 강성도를 확보 할 수 있었고 모든 접합부에 강접 접합부를 사용한 골조 보다 큰 연성능력을 확보할 수 있었다. 초과강도계수는 기준과 비슷하였지만 반응수정계수는 기준 보다 훨씬 큰 값을 보였다. TSD 접합부는 예제 구조물에서 경제성과 안전성을 확보할 수 있음을 확인할 수 있었다.