Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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2008.06a
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pp.113-113
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2008
Cu CMP (Chemical Mechanical Planarization) has been used to remove copper film and obtain a planar surface which is essential for the semiconductor devices. Generally, it is known that chemical reaction is a dominant factor in Cu CMP comparing to Silicon dioxide CMP. Therefore, Cu CMP slurry has been regarded as an important factor in the entire process. This investigation focused on understanding the effect of corrosion inhibitor on copper surface and CMP results. Benzotriazole (BTA) was used as a corrosion inhibitor in this experiment. For the surface analysis, electrochemical characteristics of Cu was measured by a potentiostat and surface modification was investigated by X-ray photoelectron spectroscopy (XPS). As a result, corrosion potential (Ecorr) increased and nitrogen concentration ratio on the copper surface also increased with BTA concentration. These results indicate that BTA prevents Cu surface from corrosion and forms Cu-BTA layer on Cu surface. CMP results are also well matched with these results. Material removal rate (MRR) decreased with BTA concentration and static etch rate also showed same trend. Consequently, adjustment of BTA concentration can give us control of step height variation and furthermore, this can be applicable for Cu pattern CMP.
Liu, Fei;Ha, Hyun Dong;Han, Dong Ju;Park, Min Su;Seo, Tae Seok
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2013.08a
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pp.281.2-281.2
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2013
Since heavy metal ions included in water or food resources have critical effects on human health, highly sensitive, rapid and selective analysis for heavy metal detection has been extensively explored by means of electrochemical, optical and colorimetric methods. For example, quantum dots (QDs), such as semiconductor QDs, have received enormous attention due to extraordinary optical properties including high fluorescence intensity and its narrow emission peaks, and have been utilized for heavy metal ion detection. However, the semiconductor QDs have a drawback of serious toxicity derived from cadmium, lead and other lethal elements, thereby limiting its application in the environmental screening system. On the other hand, Graphene oxide (GO) has proven its superlative properties of biocompatibility, unique photoluminescence (PL), good quenching efficiency and facile surface modification. Recently, the size of GO was controlled to a few nanometers, enhancing its optical properties to be applied for biological or chemical sensors. Interestingly, the presence of various oxygenous functional groups of GO contributes to opening the band gap of graphene, resulting in a unique PL emission pattern, and the control of the sp2 domain in the sp3 matrix of GO can tune the PL intensity as well as the PL emission wavelength. Herein, we reported a photoluminescent GO array on which heavy metal ion-specific DNA aptamers were immobilized, and sensitive and multiplex heavy metal ion detection was performed utilizing fluorescence resonance energy transfer (FRET) between the photoluminescent monolayered GO and the captured metal ion.
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2013.08a
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pp.75.2-75.2
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2013
Atomic layer deposition (ALD), utilizing self-limiting surface reactions, could offer promising perspectives for future efficient energy conversion devices. The capabilities of ALD for surface/interface modification and construction of novel architectures with sub-nanometer precision and exceptional conformality over high aspect ratio make it more valuable than any other deposition methods in nanoscale science and technology. In the context, a variety of researches on fabrication of active materials for energy conversion applications by ALD are emerging. Among those materials, one-dimensional nanotubular titanium dioxide, providing not only high specific surface area but also efficient carrier transport pathway, is a class of the most intensively explored materials for energy conversion systems, such as photovoltaic cells and photo/electrochemical devices. The monodisperse, stoichiometric, anatase, TiO2 nanotubes with smooth surface morphology and controlled wall thickness were fabricated via low-temperature template-directed ALD followed by subsequent annealing. The ALD-grown, anatase, TiO2 nanotubes in alumina template show unusual crystal growth behavior which allows to form remarkably large grains along axial direction over certain wall thickness. We also fabricated dye-sensitized solar cells (DSCs) introducing our anatase TiO2 nanotubes as photoanodes, and studied the effect of blocking layer, TiO2 thin films formed by ALD, on overall device efficiency. The photon convertsion efficiency ~7% were measured for our TiO2 nanotubebased DSCs with blocking layers, which is ~1% higher than ones without blocking layer. We also performed open circuit voltage decay measurement to estimate recombination rate in our cells, which is 3 times longer than conventional nanoparticulate photoanodes. The high efficiency of our ALD-grown, anatase, TiO2 nanotube-based DSCs may be attributed to both enhanced charge transport property of our TiO2 nanotubes photoanode and the suppression of recombination at the interface between transparent conducting electrode and iodine electrolytes by blocking layer.
Lee, Jae Hun;Park, Cheol Hun;Lee, Chang Soo;Kim, Jong Hak
Membrane Journal
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v.29
no.2
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pp.80-87
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2019
Dye-sensitized solar cells (DSSCs) have attracted great attention as sustainable energy devices. The efficiency and long-term stability of DSSCs are greatly influenced by electrode materials and electrolytes. In this review, we focused on the electrolytes of DSSCs. Polymer electrolyte membranes have been proposed as an alternative to conventional liquid electrolytes in DSSCs. Conventional liquid electrolytes can exhibit a high efficiency, but due to some problems such as poor long-term stability of device and leakage of liquid, much interest in polymer electrolyte membranes continues to rise and the papers on polymer electrolytes membranes have been extensively reported recently. This review covers the concept and development of polymer electrolyte membranes for DSSCs, and discusses the efficiency and electrochemical properties of DSSCs, highlighting the modification of polymer matrix, the introduction of additives such as organic-inorganic plasticizers and ionic liquids.
Recently, due to high theoretical capacitance and excellent ion diffusion rate caused by the 2D layered crystal structure, transition metal hydroxides (TMHs) have generated considerable attention as active materials in supercapacitors (or electrochemical capacitors). However, TMHs should be designed using morphological or structural modification if they are to be used as active materials in supercapacitors, because they have insulation properties that induce low charge transfer rate. This study aims to modify the morphological structure for high cycling stability and fast charge storage kinetics of TMHs through the use of nickel cobalt hydroxide [NiCo(OH)2] decorated on nickel foam. Among the samples used, needle-like NiCo(OH)2 decorated on nickel foam offers a high specific capacitance (1110.9 F/g at current density of 0.5 A/g) with good rate capability (1110.9 - 746.7 F/g at current densities of 0.5 - 10.0 A/g). Moreover, at a high current density (10.0 A/g), a remarkable capacitance (713.8 F/g) and capacitance retention of 95.6% after 5000 cycles are noted. These results are attributed to high charge storage sites of needle-like NiCo(OH)2 and uniformly grown NiCo(OH)2 on nickel foam surface.
Wang, Jun Hui;Tang, Jia-Yao;Fan, Jia-Yi;Meng, Ze-Da;Zhu, Lei;Oh, Won-Chun
Korean Journal of Materials Research
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v.32
no.2
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pp.57-65
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2022
Herein a rich, Se-nanoparticle modified Mo-W18O49 nanocomposite as efficient hydrogen evolution reaction catalyst is reported via hydrothermal synthesized process. In this work, Na2SeSO3 solution and selenium powder are used as Se precursor material. The structure and composition of the nanocomposites are characterized by X-ray diffraction (XRD), high-resolution field emission scanning electron microscopy (SEM), X-ray photoelectron spectroscopy (XPS), EDX spectrum analysis and the corresponding element mapping. The improved electrochemical properties are studied by current density, and EIS analysis. The as-prepared Se modified Mo-W18O49 synthesized via Na2SeSO3 is investigated by FE-SEM analysis and found to exhibit spherical particles combined with nanosheets. This special morphology effectively improves the charge separation and transfer efficiency, resulting in enhanced photoelectric behavior compared with that of pure Mo-W18O49. The nanomaterial obtained via Na2SeSO3 solution demonstrates a high HER activity and low overpotential of -0.34 V, allowing it to deliver a current density of 10 mA cm-2.
Mohamad A. Raja;Su Hyun Lim;Doyun Jeon;Hyunsoo Hong;Inyeong Yang;Sanha Kim;Seong Su Kim
Composites Research
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v.36
no.6
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pp.416-421
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2023
Multifunctional composite materials capable of both load-carrying and energy functions are promising innovative candidates for the advancement of contemporary technologies owing to their relative feasibility, cost-effectiveness, and optimized performance. Carbon fiber (CF)-based structural batteries utilize the graphitic inherent structure to enable the employment of carbon fibers as electrodes, current collectors, and reinforcement, while the matrix system is an ion-conduction and load transfer medium. Although it is possible to enhance performance through the modification of constituents, there remains a need for a systematic design methodology scheme to streamline the commercialization of structural batteries. In this work, a bi-phasic epoxy-based ionic liquid (IL) modified structural battery electrolyte (SBE) was developed via thermally initiated phase separation. The polymer's morphological, mechanical, and electrochemical characteristics were studied. In addition, the interfacial shear strength (IFSS) between CF/SBE was investigated via microdroplet tests. The results accentuated the significance of considering IFSS and matrix plasticity in designing composite structural batteries. This approach is expected to lay the foundation for realizing smart structures with optimized performance while minimizing the need for extensive trial and error, by paving the way for a streamlined computational design scheme in the future.
Kim, Ho-Jin;Kim, Chang-Hyun;Choi, Jung-Wook;Park, Sun-Gyu
Journal of the Korea Institute of Building Construction
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v.23
no.6
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pp.727-738
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2023
In concrete, the interface between the aggregate and cement paste is often the most critical factor in determining strength, representing the weakest zone. Lightweight aggregate, produced through expansion and firing of raw materials, features numerous surface pores and benefits from low density; however, its overall aggregate strength is compromised. Within concrete, diminished aggregate strength can lead to aggregate fracture. When applying lightweight aggregate to concrete, the interface strength becomes critical due to the potential for aggregate fracture. This study involved coating the surface of the aggregate with blast furnace slag fine powder to enhance the interfacial strength of lightweight aggregate. The impedance of test specimens was measured to analyze interface changes resulting from this surface modification. Experimental results revealed a 4% increase in compressive strength following the coating of the lightweight aggregate surface, accompanied by an increase in resistance values within the impedance measurements corresponding with strength enhancement.
Heavy metal-tolerant microorganisms, such as Pseudomonas putida, P. aeruginosa, P. chlororaphis and P. stutzeri which possessed the ability to accumulate cadmium, lead, zinc and copper, respectively, were isolated from industrial wastewaters and mine wastewaters polluted with various heavy metals. The binding sites of heavy metal in the cells were investigated by chemical modification of functional groups the cell walls. To determine the binding sites of heavy metal in the cells, electrochemical charge of amine and carboxyl groups in the cell walls of heavy metal-tolerant microorganisms were chemically modified. Chemical modifications of amine groups did not affect the heavy metal uptake as compared to native cell walls. In contrast, modifications of carboxyl groups drastically decreased heavy metal uptake as compared to native cell walls, and electron microscopy confirmed that the form and structure of the heavy metal uptake were different from those of native cell walls. The results suggested that the carboxyl groups were the major sites of heavy metal uptake in the heavy metal-tolerant microorganism cell.
$LiCoO_2$ cathode powders with round particle shaped and nano grain sized of 70-300nm were synthesized by a mechanochemical method. The surface of Li-Co precursor prepared by freeze drying method was modified by $K_2SO_4$ coating and ball milling was used for the coating process. The precursor was crystallized to high temperature form of $LiCoO_2$ at $800^{\circ}C$ and the grain growth was inhibited by the $K_2SO_4$ coating effect. The $K_2SO_4$ coating was not decomposed at $800^{\circ}C$ and prevented the contact in the Li-Co precursor particles. The nano-sized $LiCoO_2$ powder had tetragonal phase and it affected the Li diffusion through the surface of particles. It means that the anode materials for hight performance battery should be satisfied not only small particle size but phase contol on the surface of particles. In this study, the powder characteristics and rate capabilities were compared with a commercial powder and the nano-sized $LiCoO_2$ powder fabricated by the mechanochemical method. And the crucial factor which affects on battery performance was also examined.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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