Elastic Property Extraction System of Polycrystalline Thin-Films for Micro-Electro-Mechanical System Device and Application to Polycrystalline Materials (MEMS 부품을 위한 다결정 박막의 탄성 물성치 추출 시스템과 다결정 재료의 적용)
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- Proceedings of the Korean Society For Composite Materials Conference
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- 2004.10a
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- pp.19-22
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- 2004