• 제목/요약/키워드: electro magnetic lenz system

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ECR 플라즈마 장치의 제작 (Construction of an Electron Cyclotron Resonance Plasma Apparatus)

  • 오수기;정근모
    • 한국진공학회지
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    • 제1권1호
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    • pp.32-36
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    • 1992

  • ECR 플라즈마 장치를 설계 제작하였다. ECR 플라즈마의 흐름을 얻기 위해 자기장 의 기울기를 조작할 수 있는 전자석계가 필요하였다. 요크를 사용하면 같은 전류로 자기장 을 1.5배 더 크게 할 수 있었다. 이 장치로 만든 ECR 플라즈마의 특성을 조사하기 위하여, 랑뮈르 탐침을 이용하여 챔버의 축방향을 따라 위치에 따른 전자온도 Te와 전자밀도 Ne의 공간분포를 실험적으로 구하였다.

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