The lithography system installed inside precision industry's (e.g. TFT-LCD) production factories are increasing in size, thereby increasing its dynamic load along with it. Such condition causes vibration within the area where the system is installed, which then negatively affects the production line to produce defective products. To prevent this type of situation, the facilities should adopt dynamic design that considers the lithography system's dynamic load. This study predicts the maximum value allowed for dynamic stiffness (which is a ratio of vibration response against a single unit of the dynamic load) of the lithography system and explains the result of its application on actual structures inside the facilities.
The transition zone between railway embankment and structures, or different track types is known to be an area in which problems often arise and where extra care needs to be taken with maintenance. Differences in track stiffness have dynamic effects and these increase the force in the track and the extent of deformation. In this study, the criteria for the change ratio of track stiffness along transition area, and proper transition length are presented through train/track interaction analyses. Those are derived on the basis of permissible limitations of train and track performances such as rail stress, uplift force of fastener, reduction of dynamic wheel force, and acceleration of car body. A feasible method of evaluation of track stiffness which is necessary when a designer reviews whether the criteria are satisfied or not is also presented.
This paper presents an integrated wind-induced dynamic analysis and computer-based design optimization technique for minimizing the structural cost of general tall buildings subject to static and dynamic serviceability design criteria. Once the wind-induced dynamic response of a tall building structure is accurately determined and the optimal serviceability design problem is explicitly formulated, a rigorously derived Optimality Criteria (OC) method is to be developed to achieve the optimal distribution of element stiffness of the structural system satisfying the wind-induced drift and acceleration design constraints. The effectiveness and practicality of the optimal design technique are illustrated by a full-scale 60-story building with complex 3D mode shapes. Both peak resultant acceleration criteria and frequency dependent modal acceleration criteria are considered and their influences on the optimization results are highlighted. Results have shown that the use of various acceleration criteria has different implications in the habitability evaluations and subsequently different optimal design solutions. The computer based optimization technique provides a powerful tool for the lateral drift and occupant comfort design of tall building structures.
Park, Kyung-Rock;Jeon, Bub-Gyu;Kim, Nam-Sik;Kim, Sung-Il
Proceedings of the KSR Conference
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2008.06a
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pp.80-85
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2008
In general, deflection limit criteria of bridge design specifications have been considered based on static serviceability and structural stability. Dynamic serviceability induced from bridge vibration actually has not been included in the criteria. Thus, it is necessary for comfort limit to be considered in order to check dynamic serviceability on bridge vibration. In this study, the comfort limit of bridge structures based on the RMQ and VDV considering the signal fluctuation effectively and the time duration exposed has been constructed. The comfort limit developed in time domain was verified by using vibration signals directly measured from the existing bridges. Comparing the developed comfort limit with the conventional ones defined in frequency domain, it is shown that the comfort limit developed in time domain would be more feasible for evaluating quantitatively the serviceability due to bridge vibration. Using the Bridge-train interaction analysis program, dynamic response of the bridge by the stiffness change were obtained for several railway bridges. And, a stiffness limit satisfying the bridge vibration serviceability was estimated by compared with comport limit. From the results, a new deflection limit on bridge structures satisfying the vibration serviceability could be proposed by comparing with the conventional deflection limit criteria.
In general, deflection limit criteria of bridge design specifications have been considered based on static serviceability and structural stability. Dynamic serviceability induced from bridge vibration actually has not been included in the criteria. Thus, it is necessary for deflection limit to be considered in order to check dynamic service- ability on bridge vibration. In this study, The allowable displacement of Korea Railway Bridge Design Specifications is compared to the frequency domain comfort limit and analyzed france code and japanese code. Korea Railway Bridge Design Specifications is regulated based on the train speed. Such is because the vibration time duration is partly considered. but this criteria is not satisfied with comfort limit. and, it is estimated to be capable to provide deflection limit considering dynamic serviceability. In order to evaluate the dynamic serviceability of various types of railway bridges in current public were selected and their dynamic signals were measured. and the result of the bridge-train interaction analysis according to the changes in bridge stiffness was compared to the comfort limit to suggest the stiff-ness limit to the dynamic serviceability, which should conveniently be applied at the field.
In the case of a vibration sensitive equipment, it require a vibration free environment to provide its proper function. Especially, lithography and inspection device, which have sub-nanometer class high accuracy and resolution, have come to necessity for producing more improved Giga Class semi conductor wafers. This high technology equipments require very strict environmental vibration criteria in proportion to the accuracy of the manufacturing. In this paper, the dynamic analysis and modal test were performed to evaluate the dynamic properties of the constructing clean room structure. Based on these results, a structural dynamic modification(SDM) were required to satisfiy the vibration allowable limit for pression machine. Therefore, in order to improve the dynamic stiffness of clean room structure, the VSD system which can control the force applied on structure, were adopted and its utility were proved from dynamic test results of the improved structure after a modification work.
Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference
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2006.11a
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pp.352-355
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2006
본 연구에서는 건축 구조물 용도에 따라 구조물의 직접적인 손상을 방지하기 위하여 규제하는 기준치, 인간의 감각 통하여 느껴지는 진동으로 안락한 주거 환경 또는 작업 환경을 유지하기 위한 규제치, 구조조물에 설치된 장비, 특히 반도체, 통신장비등과 같이 정밀장비의 경우 구조물에서 발생되는 진동으로부터 장비의 성능을 유지시켜주기 위한 기준 등을 확인하여 건물 용도에 최적의 진동 허용 규제치를 제안하며 기준에 따른 초기설계단계에서 최적저감대책을 수립하고자 함이다.
A mathematical model is developed in this paper to define the interaction between the occupant and vehicle passenger compartment and to predict the occupant dynamic response during a sudden impulse load. Two different types of occupants are considered in this study, child and adult occupants. The occupants are considered as lumped masses connected to the child seat and vehicle's body masses by means of restraint systems. In addition, the occupant restraint characteristics of seat belt and airbag are represented by stiffness and damping elements. To obtain the dynamic response of the occupant, the equations of motion of the occupants during vehicle collisions are developed and analytically solved. The occupant's acceleration and relative displacement are used as injury criteria to interpret the results. It is demonstrated from the numerical simulations that the dynamic response and injury criteria are easily captured and analyzed. It is also shown that the mathematical models are flexible, useful in optimization studies and it can be used at initial design stage.
Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference
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2009.04a
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pp.423-423
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2009
미진동 제어라는 분야에 대한 연구는 반도체 산업이 초고도화 및 초정밀화가 진전되고 있는 최근에 들어와 학계보다는 전문 반도체와 TFT-LCD의 미진동제어 관련 엔지니어 그룹과 정밀 장비 제작사를 중심으로 이루어져왔다. 고집적 생산 제품을 가공 및 검사하기 위해서는 가공 선폭 이상의 분해 성능을 가진 고정밀도의 생산 및 검사 장비가 필요하다. 이런 고정밀도 생산 및 검사장비는 내외부로부터 입력되는 진동에 민감한 영향을 받는다. 초기 반도체 산업을 주도한 미국을 중심으로 일부 학자와 반도체 진동 제어를 수행하는 전문연구소에서 작성한 BBN-Criteria는 정밀장비의 용도나 분해능 별로 정리된 진동허용규제치를 지침서로 사용하여 왔다. 그러나 장비의 엄밀한 주파수 특성 및 정밀도 측면에서 불확실한 영역부분을 가지고 있기 때문에 미소한 진동을 제어하는 구조 설계자 관점에서는 불충분한 자료이다. 그리고 주파수 분해능을 가진 진동허용규제치를 제시하는 것이 바람직하지만 대부분의 제작사에서는 그렇지 못하고 있다. 그런 이유에는 장비 개개의 진동허용규제치가 다른 고가의 장비 전량에 대하여 시험을 수행해야 하는 점, 가진(加振)특성, 중량, 크기 등의 진동실험 자체에 어려움 때문이다. 또한 진동실험시 가진주파수의 분해능의 결려에 따른 장비의 동적 특성이 고려되지 않은 불확실한 영역 부분을 포함한 진동허용규제치를 제시함으로서 불확실한 영역부분의 진동 하한치를 진동허용규제치의 상한치로 결정하는 문제로 인하여 진동허용규제치가 더욱 가혹하게 제시되어 건물 구조 설계와 방진의 어려움을 가중시킬 여지가 있다. 본 논문에서는 이런 어려움 등을 회피하는 방법으로 주파수응답함수(Frequency Response Function, FRF)를 이용하여 정밀장비의 진동허용규제치를 결정하는 간편하면서도 더욱 정밀한 새로운 방법을 모색하였다.
Transactions of the Korean Society of Automotive Engineers
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v.18
no.3
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pp.127-132
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2010
Eigensolutions associated with self-excited vibration of disc brake system can be obtained by complex eigenvalue analysis. The eigenvalue sensitivity to change in contact stiffness can be used to demonstrate stability criteria and eigenvalue veering. Dynamic instability on eigenvalue loci with respect to the variation of contact stiffness is found to be related to mode interaction between two adjacent modes. This modal interaction can be effectively shown by mode shape visualization. This paper presents the methodology to construct the mode shape of disc brake system where a disc and two brake pads are coupled with contact stiffness.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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