• 한국정보디스플레이학회:학술대회논문집
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• 한국정보디스플레이학회 2007년도 7th International Meeting on Information Display 제7권1호
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• pp.741-744
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• 2007

The research applied the processes of spin-coating and thermal-evaporating in proper order to deposit the hole transport material N,N'-Bis(naphthalen-1-yl)- N,N'-bis(phenyl)-benzidine (NPB) on the ITO substrate to make flexible organic light emitting diodes (FOLED) with double hole transport layer.

• 한국인쇄학회지
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• 제9권1호
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• pp.27-44
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• 1991

In this research, double-layered photoconductor consist of the carrier generation layer(CGL) of ${\varepsilon}$ type copper phthalocyanine thin film by an aqueous coating method and the carrier transport layer(CGL) of polyvinyl carbazol(PVK) by spin coating. We inverstigated effect of the surfactant solution and cathod electrolysis to the crystal type of ${\varepsilon}$-CuPc in CGL with TEM, SEM and X-ray diffraction spectroscopy and studied the mechanism of an aqueous coating for the preparation of CGL. The effect of the washing of CGL about the electrophotographic characteristics of the ${\varepsilon}$-CUPC/PVK double-layered photoconductors is studied also.

• 전자공학회논문지
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• 제50권7호
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• pp.102-108
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• 2013

용액 공정 기반으로 유기 전자소자를 제작할 시, 회전 도포 방법을 이용하는데 이 방법의 단점 중의 하나는 후속 회전 도포할 때 용액 속의 용매에 의해 이미 제작된 유기 박막을 물리적 또는 화학적인 손상을 입힐 수 있다는 것이다. 이러한 문제들로 인해 후속적인 박막 제조에 사용될 수 있는 용매의 종류는 매우 제한적일 수 밖에 없다. 본 논문에서는 기존에 알려진 용매들의 적절한 조합으로 인해 다층 박막 제작이 가능함을 보이고, 이를 이용하여 용액 공정 기반 유기 트랜지스터를 제작하여 성능의 향상을 보일 것이다. 트랜지스터의 구조는 하부 게이트 하부 접촉 (bottom gate, bottom contact) 구조로 제작되었고 게이트 절연체는 강유전체 고분자로 제작되었는데 한 번의 회전 도포 방법과 두 번의 회전 도포 방법으로 동일 두께를 형성하여 두 트랜지스터를 제작, 드레인 전압에 따른 소스-드레인 전류를 비교하였다. 그 결과 소스-게이트 누설 전류 감소 효과가 있었고, ON 상태에서의 소스-드레인 전류의 상승효과도 관찰되었다. 전류-전압 그래프로부터 계산된 이동도는 약 2.7배 증가되었다. 그러므로 용액 공정 기반 전계효과 트랜지스터를 제작할 시, 게이트 절연체를 다층 구조로 제작하면 성능 향상에 이점이 많다는 것을 알 수 있었다.

• 한국인쇄학회지
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• 제9권1호
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• pp.1-11
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• 1991

In this reseach, double-layered photoconductor consist of the carrier generation layer(CGL) of $\varepsilon$ type copper phthalocyanine thin film by an aqueous coating method and the carrier transport layer(CGL) of polyvinyl carbazol(PVK) by spin coating. We inverstigated effect of the surfactant solution and cathod electrolysis to the crystal type of $\varepsilon$-CuPc in CGL with TEM, SEM and X- ray diffraction spectroscopy and studied the mechanism of an aqueous coating for the preparation of CGL. The effect of the washing of CGL about the electrophotographic characteristics of the $\varepsilon$-CuPc/PVK doublelayered photoconductors is studied also.

• 한국세라믹학회지
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• 제34권1호
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• pp.79-87
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• 1997

졸-겔 스핀코팅법을 이용하여 VDT 기판에 반사방지 및 정전기방지 복층막을 코팅하고 코팅졸과 겔분말의 특성 및 코팅막의 전기적, 광학적, 기계적 특성을 조사하였다. 1층막은 복층막의 간섭조건을 만족시키는 굴절율을 얻기위해 투명 전도성 재료인 ATO(Antimony doped Tin Oxide) 졸과 SiO2 졸을 몰비 68:32로 혼합한 ATO-SiO2 복합졸을, 2층막에는 저굴절율의 SiO2 졸을 사용하였다. 각 코팅막을 45$0^{\circ}C$에서 30분간 열처리하였을 때 잔류 유기물은 완전히 제거되었다. ATO막의 표면저항은 3mol%의 Sb 첨가시 약 6$\times$107$\Omega$/$\square$로 최소를 나타내었고 SiO2 졸과의 혼합시 약 30mol% 까지는 표면저항이 완만히 증가하다가 그 이후에는 급격히 증가하는 경향을 나타내었으며, 간섭조건을 만족시키는 조성인 32mol%에서는 약 3$\times$108$\Omega$/$\square$를 나타내었다. 복층막의 반사율은 550nm의 기준파장에서 약 0.64%를 나타내었으며 광투과율은 약 3.20% 증가하였다. 복층막의 미소경도는 약 471.4kg.f/mm2로 코팅하지 않은 VDT기판의 경도와 유사한 값을 나타내었다.

• 한국진공학회지
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• 제1권1호
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• pp.198-205
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• 1992

고집적 회로제작에 필수적인 평탄화 기술을 SOG를 이용하여 개발하였다. 1.5 micron double metal 기술의 공정변수들을 통계적 실험계획법을 적용하여 주요변수들을 찾 아내고 그들을 최적화하였다. 최적공적 조건은 SOG 도포 횟수는 2회, hot plate bake는 $300^{\circ}C$에서 충분히, 그리고 furnace curing은 $400^{\circ}C$ 이하에서 40분간 진행하는 것이었다.

• 한국세라믹학회지
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• 제48권6호
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• pp.516-519
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• 2011

Indium tin oxide (ITO) coatings were made using an ITO slurry and an ITO sol. This was achieved by dispersing nanosized ITO powder in a mixed solvent without any dispersant and developing an adhesive ITO sol from indium acetate and tin tetrachloride in a mixture of DMF and n-butanol. Coating was carried out in one step by spin coating an ITO slurry, which was then followed by an ITO sol over it. Here, the sol penetrates into the nano ITO particle layers to make them adhere to each other as well as to a glass substrate. This is then followed by sintering at 500$^{\circ}C$ for 1 h to produce a uniform film consisting of ITO particles of about 50 nm and 10 nm. ITO films were obtained with sheet resistances from 450 to 1500 ohm/${\Box}$ by varying spin speed and concentration. Transmittance is higher than 90% at 550 nm.

• 대한금속재료학회지
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• 제48권9호
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• pp.831-841
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• 2010

Indium tin oxide (ITO) nanopowders were synthesized by coprecipitation and the sol-gel method to prepare a stable dispersion of ITO nano-colloid for antistatic coating of a display panel. The colloidal dispersions were prepared by attrition process with a vibratory milling apparatus using a suitable dispersant in organic solvent. The ITO coating solution was spin-coated on a glass panel followed by the deposition of partially hydrolyzed alkyl silicate as an over-coat layer. The double-layered coating films were characterized by measuring the sheet resistance and reflectance spectrum for antistatic and antireflective properties.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2013년도 제44회 동계 정기학술대회 초록집
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• pp.465-465
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• 2013

Inorganic 물질인 SiO2 dielectric 위에 organic dielectric PVP (4-vinyphenol)를 spin coating으로 올려, inorganic/organic dielectric 형태의 double layer구조로 High-performance amorphous indiumgallium zinc oxide thin-film transistors (IGZO TFT)를 제작하여 보았다. SiO2 dielectric을 buffer layer로 80 nm, PVP는 10Wt% 400 nm로 구성하였으며, 200 nm single SiO2 dielectric과 동일한 수준의 leakage current 특성을 MIM Capacitor 구조를 통해서 확인할 수 있었다. 이 소자의 장점은 용액공정의 도입으로 공정 시간의 단축 및 원가 절감을 이룰 수 있으며, dielectric과 channel 사이의 균일한 interface의 형성으로 interface trap 개선 및 Yield 향상의 장점을 갖는다. 우리는 실험을 통해서 SiO2 buffer layer가 수직 electric field에 의한 leakage current을 제어하고, PVP dielectric은 interface를 개선하는 것을 확인하였다. Vth의 negative shift 및 slope의 향상으로 구동전압이 줄어들고, 균일한 I-V Curve 형성을 통해서 Process Yield의 향상을 확인하였다.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 1997년도 추계학술대회 논문집
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• pp.163-166
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• 1997

Electroluminescent(EL) dcvice based on organic thin layers have attracted lots of interests because of thier possible application as large-area light-emitting displays. It was known that MEH-PPV and 1, 1, 4, 4, -Tetraphenyl-1, 3-butadiene(TPB) has red and blue emission peak at 580nm and 480nm, respectively. In this study, MEH-PPV films and TPB films were prepared by spin coating and vacuum deposition method, respectively. Films of MEH-PPV and TPB double layer were also prepared by the same method. Photoluminescent(PL) characteristics of these single and doubler layers were investigated, where a cell structure of glass substrate/ITO/MEH-PPV and/or TPB/Al was employed. It was found that the photoluminescent efficiency of TPB film was higher than that of MEH-PPV film with a single layer and also with a double structure. These films have also different I-V characteristics.