• 제목/요약/키워드: coverage ratio

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이층 배선공정에서 층간 절연막의 층덮힘성 연구 : PECVD와 $O_3$ThCVD 산화막 (Step-Coverage Consideration of Inter Metal Dielectrics in DLM Processing : PECVD and $O_3$ ThCVD Oxides)

  • 박대규;김정태;고철기
    • 한국재료학회지
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    • 제2권3호
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    • pp.228-238
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    • 1992
  • 서브마이크론 설계규칙을 갖는 소자의 이층 배선 공정에서 다챔버 장비를 이용한 금속 층간절연막의 공극없는 평탄화를 위하여 PECVD와 $O_3$ ThCVD산화막의 증착시 층덮힘성을 연구하였다. 산화막의 두께가 증가됨에 따라 변화되는 순간단차비의 개념을 도입하여 공극형성의 개시점을 예측할 수 있는 관계식을 모델링하였고, 금속배선간격의 초기 단차비가 다양한 패턴에서 산화막의 두께에 따른 순간 단차비의 변화를 조사하였다. 모델링 검정결과 $5^{\circ}$이하의 re-entrant각을 갖는 TEOS에 의한 PECVO 산화막의 순간단차비가 모델링에 잘 일치하였다. 공극없는 평탄화는 제1층의 PECVD 산화막의 순간 단차비를 0.8이하로 유지하거나 Ar sputter식각을 통하여 산화막의 모서리에 경사를 준후 층덮힘성이 우수한 $O_3$ ThCVD산화막을 증착함으로써 가능하였다. $O_3$ ThCVD산화막의 etchback이 non etchback공정에 비하여 via접쪽저항체인에서 높은 수율을 보였으며, via접촉저항은 $0.1~0.3{\Omega}/{\mu}m^2$로 나타났다.

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TDMAT와 TDMAT/$NH_3$ 로 형성한 MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition) Titanium Nitride 박막의 특성 (Film Properties of MOCVD TiN prepared by TDMAT and TDMAT/$NH_3$)

  • 백수현;김장수;박상욱;원석준;장영학;오재응;이현덕;이상인;최진석
    • 한국재료학회지
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    • 제5권7호
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    • pp.775-780
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    • 1995
  • MOCVD(Metal-Organic Chemical Vapor Dposition) TiN 박막을 다양한 온도와 압력에서 tetrakis-dimethyl-amino-titanium(TDMAT (Ti[N($CH_3$)$_2$]$_4$))의 자체 열분해와 NH$_3$와의 반응을 사용하여 형성하였다. 비저항은 박막내의 불순물 함량에 의존하였는데 특히 XPS curve fitting 결과 주요 불순물인 탄소와 산소 같은 불순물들이 박막내에서 다양한 침입형화합물을 만들어 박막의 물리적, 전기적 특성에 영향을 준다는 것을 알았다. Metal-organic source만을 사용하여 TiN을 형성할 경우 지름이 0.5$\mu\textrm{m}$이고 aspect ratio가 3:1인 구멍에서 step coverage가 매우 우수하였으나 NH$_3$를 흘림에 따라 step coverage가 감소하는 것이 SEM으로 확인되었는데 이는 각각의 활성화에너지와 관련된 것으로 보인다.

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산림(山林)의 입지환경인자(立地環境因子)가 표층토양(表層土壤)의 조공극률(組孔隙率)에 미치는 영향인자(影響因子) 분석(分析) (III) - 혼효임(混淆林)을 중심(中心)으로 - (Analysis of the Factors Influencing the Mesopore Ratio on the Soil Surface to Investigate the Site Factors in a Forest Stand (III) - With a Special Reference to Mixed Stands -)

  • 박재현;정용호;김경하;윤호중
    • 한국산림과학회지
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    • 제90권6호
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    • pp.683-691
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    • 2001
  • 산림의 수원함양기능 지표로서 표층토양에서의 조공극률(組孔隙率)(pF2.7)에 영향하는 인자를 밝히기 위해 1995년 3월부터 10월까지 전국의 활엽수림 표본조사구를 대상으로 입지, 토양, 임분환경인자 등 총 24종에 대하여 spss/pc+를 이용하여 상관 분석하였다. 표층토양에서의 조공극률에 영향을 미치는 인자는 B층 토양에서의 조공극률, 하층식생 피복도, 표층 토양의 유기물함량비, F층 두께 등 4개 인자가 유의한 정(正)의 상관관계를, 표층토양의 견밀도, 10cm 깊이의 토양견밀도가 각각 5%, 1% 수준에서 유의한 부(負)의 상관관계를 나타내었다. Stepwise를 이용한 다중회귀분석결과 산림의 수원함양기능 증대에 영향하는 표층토양에서의 조공극률에 영향하는 인자는 B층 토양에서의 조공극률, 유기물함량비 등 2개 인자이었다.

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일본 민설공원 제도의 특성과 시사점 (Characteristics and Policy Implications of Private Development Parks in Japan)

  • 김현
    • 한국조경학회지
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    • 제44권1호
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    • pp.119-128
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    • 2016
  • 민간자본으로 도시공원을 조성하기 위한 특례제도가 도입된 이후, 보다 매력적인 인센티브를 부여하기 위하여 법률 개정이 이루어졌다. 본 논문에서는 민간공원의 취지에는 적극 찬성하지만 공익성을 강조해야 하는 공원에서 과연 적절한 조치가 이루어지고 있는지에 대한 의문을 바탕으로, 민간공원의 정책모델이었던 일본의 민설공원제도의 배경과 함께 입지, 조성, 관리의 기준이 책정된 근거와 특성을 분석하고 문제점을 고찰하였다. 민설공원은 녹지 네트워크 구축과 방재 기능에 유효하도록 입지와 공간계획이 이루어졌으며, 최소면적은 약 1.42ha였다. 공원과 같은 공간의 최소 면적인 1ha는 방재성과 실현가능성, 사회적 수용가능성을 감안한 수치였으며, 건축 부문은 제2종 중고층 주거전용지역의 기준과 지역 거버넌스와의 협의절차를 거쳐 최종적으로는 용적율 100%, 건폐율 30%, 최고높이 11층 등 허용한도의 최저 수준으로 건설되었다. 관리비는 월 300엔/$m^2$을 기준으로 35년간 소요되는 비용을 사업자가 일괄 납부하였으나 과다한 관리비가 수반되는 시설에 대해서는 시가 비용을 지출하여 민관이 함께 관리하는 형태를 취하고 있었다. 한편 입지, 허용용도, 도입시설의 한계로 매력적인 수익시설 도입이 어려우며 관리주체와 비용부담등의 문제점이 도출되었다. 우리나라 민간공원에 대해서는 도시공원 조성의 우선순위를 선정한 후 민간공원의 적정입지를 선정하고, 국민적 합의를 이룰 수 있는 수준의 입지, 조성, 관리 기준 정립 등의 개선과제를 제안하였다.

서울시 가로경관 특성화 및 녹량증진을 위한 가로녹지 개선 방안 (Improvement on Street Greenery for the Landscape Specialization and Increase of Green Volume on the Streets of Seoul)

  • 변혜옥;한봉호;기경석;정진미
    • 한국조경학회지
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    • 제40권6호
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    • pp.35-46
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    • 2012
  • 본 연구에서는 서울시에 있는 가로를 토지이용별로 분류하여 녹량 특성과 경관특성을 구체적으로 분석하고 이에 따른 개선방안을 제시하고자 하였다. 연구 대상 가로는 서울시에서 이용률이 높은 가로이면서 보도가 넓어 녹지량을 증진시킬 수 있는 잠재성이 큰 가로인 광로만으로 한정하였다. 가로 유형별 녹량 및 경관 현황을 종합하여 보면 가로유형에 상관없이 양버즘나무와 은행나무가 대표 가로수종으로 식재되었고 가로별 녹시율은 주거지역 51.6%, 녹지지역 50.4%, 상업지역 45.2%, 업무지역 43.7% 순으로 나타났다. 주거지역을 제외한 지역에는 가로 띠녹지가 거의 없었고 가로별 녹피율은 업무지역 71.0%, 녹지지역 64.0%, 주거지역 37.3%, 상업지역 36.2% 순이며 녹지용적계수는 평균 $1.9m^3/m^2$로 나타났다. 연구결과를 바탕로 주거지역가로는 풍부한 녹의 커뮤니티공간과 4계절 화관목 경관제공을 목표로 하였고, 상업지역가로는 화목류와 단풍으로 상가 이미지 부각을 하되 서비스행위 및 보행에 지장을 주지 않도록 제안하였다. 업무지역가로는 녹량과 녹시율 증가 및 도심이미지에 어울리는 가로공간 연출을 목표로 하였고, 녹지지역가로는 자생종 위주의 다층식재 및 주변산림과 연계를 통한 야생동물 은신처, 서식처 제공을 위한 가로공간 조성을 목표로 하였다.

중소기업 정책자금 지원이 중소.벤처기업 재무성과에 미치는 영향 - 중소기업진흥공단 정책자금 지원을 중심으로 - (The Effects of Policy Funds for Small and Medium Enterprises)

  • 채광기;윤병섭;하규수
    • 벤처창업연구
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    • 제6권3호
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    • pp.85-107
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    • 2011
  • 본 연구는 중소기업진흥공단으로부터 중소 벤처기업 정책자금 지원을 받은 중소 벤처기업의 수익성, 안정성, 활동성, 성장성 등 재무성과를 회귀분석 하였다. 1998년부터 2009년까지 중복 지원이 아닌 오직 1회에 한하여 지원받은 기업만을 대상으로 중소 벤처기업 정책자금을 지원받기 직전년도말 재무성과와 중소 벤처기업 정책자금을 지원받은 4년차 말 이후 재무성과를 회귀분석 하였다. 연구표본은 재무제표를 연속보유한 489개 업체 2,417개 재무제표이며, 재무성과 누계평균을 가지고 정책자금 효과와 그 인과관계를 분석하였다. 연구결과는 다음과 같다. 첫째, 정책자금을 지원받기 직전년도 말보다 정책자금을 지원 받은 4년차 말 이후 수익성, 안정성, 활동성, 성장성이 유의한 양(+)의 영향을 보여주고 있음을 발견하였다. 이는 정책자금 지원이 긍정적 재무성과를 가져오고 있음을 시사한다. 둘째, 성장성 지표인 총자산증가율은 매출액영업이익률에, 안정성 지표인 이자보상 비율은 총자산순이익률에 유의한 양(+)의 영향을 미치고 있음을 발견하였다. 이는 성장성 지표와 안정성 지표가 수익성에 영향을 미치므로 정책자금 지원이 이자를 보상할 여력을 증대시키는 등 재무건전성에 긍정적 영향을 미치고 있음을 시사한다. 셋째, 정책자금 지원방식, 정책자금 지원내용, 정책자금 지원규모, 업력, 종업원 수 등이 재무성과에 미치는 영향은 재무성과가 보여주는 종속변수에 따라 유의하게 나타나거나 유의하지 않게 나타났다. 이는 종속변수에 따라 유의성의 차이가 있음을 의미하며, 유의하지 않더라도 양(+)의 영향을 미친다는 일관성을 보여주고 있다.

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일반화 가법 모형을 이용한 정책금융 수혜규모가 중소기업 경영성과에 미치는 효과성 연구 (The Application of Generalized Additive Model in the Effectiveness of Scale in Funding Policy on SMEs Overall Performance)

  • 하승인;장명균;이군희
    • 기업가정신과 벤처연구
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    • 제20권2호
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    • pp.35-50
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    • 2017
  • 본 연구는 기업의 재무상태 및 지원규모에 따른 정책금융지원의 효과를 파악하기 위하여 일반화가법모형을 적용하여 실증분석 하였다. 이를 위해 이자보상배율과 총자산 대비 신규보증금액 비율을 이용하여 업종별로 분석대상을 구분하였으며, 수익성, 성장성지표를 사용하여 경영성과를 측정하였다. 또한 분석기간에 여러 번의 정책금융을 지원받은 기업의 경우 표본선택편의로 인한 결과의 왜곡이 발생할 수 있으므로 중복지원 효과를 최소화하기 위해 지원연도를 기준으로 이전 3년 동안 보증잔액 및 신규보증이 없으며, 이후 2년 동안 신규보증이 없는 기업을 선정하였다. 분석 결과, 보증시점의 이자보상배율이 1 미만이라 하더라도 지원규모에 따라 성과는 차별화되는 것을 확인할 수 있었다. 또한 한계기업의 기준으로 사용되는 이자보상배율이 0에 근사한 기업이더라도 경영성과는 향상될 수 있음을 확인할 수 있다. 결국 본 연구에서는 정책금융 지원정도에 따른 차별적인 경영성과를 확인함으로써 기술력이나 성장 잠재력을 고려한 평가가 요구되며 이를 통해 정책금융을 지원하는 담보가 부족한 중소기업의 자금조달 문제를 완화할 수 있는 유인책으로서의 작용할 수 있음을 시사하고 있다.

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공동주택단지배치의 간극비와 바람장의 상관관계에 관한 연구 (A Study on Correlations of the Gap Ratio of Apartment Houses Arrangement and the Wind Field)

  • 문출성;오세규;조성우
    • KIEAE Journal
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    • 제11권2호
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    • pp.75-82
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    • 2011
  • In Korea, the ratio of population in urban areas used to be only 50.1% in 1970, but with the value risen to 90.8% in 2009, urbanization is going on rapidly. Urbanization, which occurs by the rampantly planted buildings, has become major source of raising building density, changing wind direction and reducing wind amount, and such reductions are affecting even inside the building. In each year, among the total energy consumption in Korea, residential portion takes up significant ratio, and specifically the ratio of apartment house is shown to be highest. In order to solve such problem, many studies are being conducted for the improvement of natural ventilation performance. The natural ventilation performance of apartment house are significantly determined by the characteristics of external and internal structure, but in macroscopic perspective, the performance is established fundamentally by the layout characteristics of the main building of the apartment house in preparation for wind conditions. So far researches on raising the thermal comfort through elevation of ventilation performance have been conducted actively, but many of them propose only theoretical concepts deduced through wind path analysis, and do not include any indicator to measure ventilation performance simply only with area data from layout planning stage. Therefore, in this study, gap ratio a wind field measuring indicator was developed, and after the ventilation characteristics by layout types and main building uniformity were identified, the scope of gap ratio efficient for ventilation and that of uniformity were clarified, followed by verification through simulation.

ALD법으로 증착한 TiN막의 특성 (Physical Properties of TiN films grown by ALD)

  • 김재범;홍현석;오기영;이종무
    • 한국진공학회지
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    • 제11권3호
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    • pp.159-165
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    • 2002
  • 본 연구에서는 $TiCl_4$$NH_3$을 이용하여 atomic layer deposition(ALD)법으로 TiN막을 증착한 후, 그 막의 특성에 관하여 조사하였다. 최적 공정조건에서 TiN막의 성장률은 cycle당 두께가 약 0.6 $\AA$인 것으로 나타났고, 비저항은 반응온도 구간에서 200~350 $\mu\Omega$cm 수준으로 낮게 얻어졌다. XRD분석결과 TiN-ALD온도구간에서 TiN막이 결정화되었음을 알 수 있었다. AES 분석결과 Cl불순물의 함량이 거의 없는 상태(<1 at%)로 나타났고, TiN막에서의 Ti:N비가 1:1인 것으로 보아 거의 균일하게 형성되었음을 알 수 있었다. 또한 SEM관찰로 Aspect ratio 10:1의 trench 내에 형성된 TiN막의 스텝.커버리지는 극히 우수함을 알 수 있었다.

중국 성인여성용 의류치수규격 설정 연구 (제II보) - 20대 연령집단을 중심으로 -

  • 위혜정;손희순
    • 패션비즈니스
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    • 제12권4호
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    • pp.56-72
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    • 2008
  • The purpose of this study was to provide with the useful fundamental data by developing the appearl sizing system according to body types for the Women's Wear Specifications(GB/T 1335.2-1997), National Standards of People's Republic of China. Thus, it was to improve of the garment fit and coverage rate for the apparel production assortment and stock of exporting domestic clothing to China. For this study, 581 female women aged in their twenties who lived in Beijing and Shanghai were selected for the development of the apparel sizing system who resident in Beijing and Shanghai in China. As for the method of this study was made three primary items(length, bust girth, waist girth) and seven secondary items. Data analysis were processed by SPSS WIN 10.0 Program was used. The research selected 3 major body measurements, such as stature, bust girth, waist girth and 7 secondary measurements to investigate the body features of the Chinese adult women. The data throughout the study were analyzed by using SPSS WIN version 10.0 S/W. The result were as follows: The clothes dimensions for upper and lower body and the coverage rate of body size that had the highest appearance ratio from the selected age group in 20's were: Y-type 160-84 155-64(5.9%) and the section 160cm 22.6%, A-type 160-80 160-62(39%) and the section 160cm 27.9%, B-type 155-80 155-66(6.2%) and the section 160cm 24.7%. The representative size codes of the Chinese adult women aged in their 20's were set for representing certain body dimensions such as 150-76A 150-60A(0.0%), 155-80A 155-64A(2.4%), 160-84A 160-68A(3.9%), 165-88A 165-72A(0.3%), 170-92A 170-76A(0.0%). The production coverage rates for the each representative size codes were S size the section 150cm 1.5%, M size the section 155cm 15.3%, L size the section 160cm 36.0%, XL size the section 165cm 29.7%, XXL size the section 170cm 11.4% that covered 93.9%.