Effect of hydrogen addition to use DC sputtering method on the electrical properties of Al/AlN/Si MIS capacitor fabrication (DC sputtering법을 이용한 Al/AlN/Si MIS capacitor 제작 및 수소첨가가 전기적 특성에 미치는 영향)
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- Proceedings of the KIEE Conference
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- 1999.07d
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- pp.1919-1921
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- 1999