• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 2003년도 추계학술대회 논문집 전기물성,응용부문
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• pp.42-44
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• 2003

The paper presents the method and apparatus for conformal photoresist spray coating on the 3D structured substrate. The system consists of a high-temperature-rotational chuck, ultrasonic spray nozzle module, angle control module and nozzle moving module. The coating uniformity is acquired by controlling the moving speed of the ultrasonic spray nozzle across the substrate which is rotated constantly. To coat the photoresist conformally the spray angle of the nozzle and the temperature of the substrate are controlled during spray coating. The rotational chuck can be heated up by hot air or $N_2$. The photoresist (AZ1512) has been coated on the 3D structured wafer by spray coating system and the characteristics have been evaluated.

• 한국인터넷방송통신학회논문지
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• 제18권6호
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• pp.107-112
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• 2018

콘포멀 스프레이 코팅으로 형성한 EMI 차단막으로 차폐효과(SE)를 얼마나 개선할 수 있는지 연구하였다. 차단막을 형성하는데 사용한 재료는 도체 분말을 아크릴계 바인더에 혼합한 금속-레진 복합재료이며, 금속분말로는 은(Ag)과 니켈(Ni)을 비교하였다. 재료의 점도는 400 cPs와 100 cPs에서 차폐성능을 비교하였다. 차단막의 두께는, 은의 경우 20 um에서 50 um, 니켈의 경우 60 um에서 120 um로 만들어 비교하였다. 차폐효과의 측정은 동축형 표준 측정기를 이용하여 ASTM D4935 방법으로 수행하였다. 니켈 시료보다 은 시료의 차폐효과가 우수했다. 차폐효과는 차단막 두께와 비례해 증가하지만 35 um 이상에서 더 이상 증가하지 않는다는 사실도 관찰하였다. 가장 차폐효과가 좋은 경우는 35 um 두께 은 시료 차단막으로, 63 dB의 차폐효과가 측정되었다.