In situ eppitaxial growth of $TiSi_2$ on the Si(111)-7$\times$ 7 substrate by coevaporation
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- 한국진공학회:학술대회논문집
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- 한국진공학회 1994년도 제7회 학술발표회 및 한·일 CVD 심포지움 논문개요집
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- pp.129-129
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- 1994