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RF 마그네트론 스퍼터링 방법으로 제작된 $Pb[(Zr,Sn)Ti]NbO_3$ 박막의 결정구조와 전기적 특성 (Crystalline structures and electrical properties of $Pb[(Zr,Sn)Ti]NbO_3$ Thin Films deposited using RF Magnetron Sputtering Method)

  • 최우창;최용정;최혁환;이명교;권태하
    • 센서학회지
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    • 제9권3호
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    • pp.242-247
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    • 2000
  • 10 mole%의 과잉 PbO가 첨가된 타겟을 이용하여 $(La_{0.5}Sr_{0.5})CoO_3(LSCO)/Pt/Ti/SiO_2/Si$ 위에 RF 마그네트론 스퍼터링 방법을 이용하여 $Pb_{0.99}[(Zr_{0.6}Sn_{0.4})_{0.9}Ti_{0.1}]_{0.98}Nb_{0.02}O_3(PNZST)$ 박막을 증착시켰다. $500^{\circ}C$의 기판온도, 80W의 RF power에서 증착된 박막은 급속열처리(RTA)후에 페로브스카이트 상으로 결정화되었다. $650^{\circ}C$, 공기중에서 10초 동안 열처리된 박막이 가장 우수한 결정성과 전기적 특성을 나타내었다. 이러한 박막으로 제작된 PNZST 커패시터는 약 $20\;{\mu}C/cm^2$ 정도의 잔류분극과 약 50 kV/cm 정도의 항전계를 나타내었다. 또한, $2.2{\times}10^9$의 스위칭 후에도 잔류분극의 감소는 10% 미만이었다.

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RF magnetron sputtering으로 제조된 강 유전체 $SrBi_2Ta_2O_9$ 박막의 열처리 온도에 따른 특성 연구 (Characterization of Ferroelectric $SrBi_2Ta_2O_9$ Thin Films Deposited by RF Magnetron Sputtering With Various Annealing Temperatures)

  • 박상식;양철훈;윤순길;안준형;김호기
    • 한국세라믹학회지
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    • 제34권2호
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    • pp.202-208
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    • 1997
  • Bi층 SrBi2Ta2O9(SBT)박막을 상온에서 rf magnetron sputtering에 의해 Pt/Ti/SiO2/Si기판위에 증착한 다음 산소 분위기 하에서 1시간동안 75$0^{\circ}C$, 80$0^{\circ}C$, 85$0^{\circ}C$로 열처리하였다. 타겟은 박막내의 Bi와 Sr의 부족을 보상하기 위해 20mole%의 Bi2O3와 30mole%의 SrCO3를 과잉으로 넣어 사용하였으며, 80$0^{\circ}C$로 열처리한 박막의 조성은 Sr0.7Bi2.0Ta2.0O9.0이었다. 200nm의 두께를 갖는 이 SBT박막은 치밀한 미세구조와, 1MHz의 주파수에서 210의 유전상수, 0.05의 유전손실을 나타내었고, 또한 100 kMz에서 32$0^{\circ}C$의 큐리온도를 나타냈으며 그 온도에서의 유전상수는 314이었다. 이 SBT박막의 잔류분극(2Pr)과 항전계(2Ec)값은 각각 인가전압 3V에서 9.1$\mu$C/$\textrm{cm}^2$과 85kV/cm이었고, 5V의 bipolar pulse 하에서 1010 cycle까지 피로현상이 나타나지 않았으며, 누설전류 밀도는 150kV/cm에서 7$\times$10-7A/$\textrm{cm}^2$의 값을 보였다. rf magnetron sputtering 으로 제조된 SBT박막은 비휘발성 메모리 소자에의 응용이 가능하다.

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열처리에 따른 Pb[(Zr,Sn)Ti]N$bO_3$ 박막의 강유전 특성 (Ferroelectric Properties of Pb[(Zr,Sn)Ti]N$bO_3$ Thin Films by Annealing)

  • 최우창;최혁환;이명교;권태하
    • 대한전자공학회논문지SD
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    • 제38권7호
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    • pp.473-478
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    • 2001
  • 강유전 물질인 Pb/sub 0.99/[(Zr/sub 0/6Sn/sub 0.4/)/0.9/Ti/sub 0.1/]0.98/Nb/sub 0.02/O₃(PNZST) 박막을 10 mole%의 과잉 PbO가 첨가된 타겟을 이용하여 La/sub 0.5/Sr/sub 0.5/CoO₃(LSCO)/Pt/Ti/SiO₂/Si 기판상에 RF 마그네트론 스퍼터링 방법으로 증착하였다. 증착된 박막에 대하여 온도와 시간을 다양하게 변화시키면서 급속 열처리(rapid thermal annealing) 한 후, 그 결정성과 전기적 특성을 조사하였다. 80 W의 RF 전력, 500 ℃의 기판온도에서 증착한 후, 급속 열처리된 박막이 페로브스카이트상으로 결정화되었으며, 650 ℃, 공기중에서 10초동안 급속 열처리된 박막이 가장 우수한 결정성을 나타내었다. 이러한 박막으로 제작된 PNZST 커패시터는 약 20 μC/㎠정도의 잔류 분극과 약 50 kV/cm 정도의 항전계를 나타내었으며, 2.2×10/sup 9/의 스위칭 후에도 잔류분극의 감소는 10 %미만이었다.

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제조업체의 파워원천별 영업정책이 대리점의 판매의지에 미치는 영향에 관한 연구 (A Study on the Impacts of Manufacture's Sales Policy of Each Power Source on Sales Will by Agency)

  • 이한일;박종오
    • 경영과정보연구
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    • 제29권3호
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    • pp.23-50
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    • 2010
  • 본 연구는 제조업체의 파원원천에 나타난 영업정책을 이용하여 지역판매 대리점의 판매의지에 미치는 영향에 관한 연구로써 제조업체와 대리점 간의 상생을 위한 영업정책을 개발하기 위한 것이다. 지역판매 대리점 관점에서의 판매의지란 "제조업체와 지역소매점을 연결하는 유통경로 상에 있는 지역판매 대리점이 제조업체에 대한 신뢰를 바탕으로 제조업체가 공급하는 제품 또는 서비스에 대하여 지역 소매상에 팔고자 하는 일방적인 의지와 사업의 지속여부의 정도를 나타내는 것"을 말한다. 본 연구 결과, 대리점 경영자들은 판매의지가 높고, 월매출액이 높으며 직원이 많은 대리점일수록 그렇지 못한 다른 대리점보다 판매의지가 상대적으로 높게 나타나는 것을 알 수 있었다. 특히 파워원천별 영업정책을 이용한 각각의 가설 검증 결과는 첫째, 보상적 파워로써 점주 판촉물의 지원, 영업활동의 지원 등이 판매의지에 유의적인 영향을 나타났다. 둘째, 강권적 파워 중에서 마진폭 인하, 상대적인 마진폭, 여신한도의 축소 등이 불만의 요소로 작용하여 판매의지에 부(-)의 영향을 주는 것으로 나타나 가설이 부분적으로 채택되었다. 셋째, 준거적 파워로써 광고지원, 지역독점력 보장, 관련업계 선도자와 거래, 회사에 대한 신뢰 형성에 필요한 영업정책들이 가장 유의한 영향으로 나타났다. 넷째, 전문적 파워인 상품의 적기공급 지연, 본사 영업사원의 상품에 대한 지식 등이 판매의지에는 유의적인 영향관계가 있는 것으로 나타났다. 이는 대리점의 평균 영업연수가 3년 이상이 약 70%를 차지하고 있어 대리점의 영업스킬이 상당히 수준으로 일상적인 영업정책지원은 만족도와 판매의지에 영향을 주지 못하는 것으로 나타났다.

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