Pt 또는 Ir 계열의 상부전극을 갖는 (Pb, La) (Zr, Ti)$O_3$ (PLZT) 박막의 누설전류특성에 미치는 수소 열처리의 효과
(Effect of Hydrogen on leakage current characteristics of (Pb, La) (Zr, Ti )$O_3$ (PLZT) thin film capacitors with Pt or Ir-based top electrodes)
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- 한국재료학회지
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- 제11권2호
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- pp.151-154
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- 2001