• 제목/요약/키워드: calibration matching

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Understanding of RF Impedance Matching System Using VI-Probe

  • Lee, Ji Ha;Park, Hyun Keun;Lee, Jungsoo;Hong, Snag Jeen
    • 반도체디스플레이기술학회지
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    • 제19권3호
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    • pp.43-48
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    • 2020
  • The demand for stable plasma has been on the rise because of the increased delivery power amount in the chamber for improving productivity, and fast and accurate plasma impedance matching become a crucial performance measure for radio frequency (RF) power system in semiconductor manufacturing equipment. In this paper, the overall impedance matching was understood, and voltage and current values were extracted with voltage - current (VI) probe to measure plasma impedance in real-time. Actual matching data were analyzed to derive calibration coefficient for V and I measurements to understand the characteristics of VI probe, and we demonstrated the tendency of RF impedance matching according to changes in load impedance. This preliminary empirical research can contribute to fast RF matching as well as advanced equipment control for the next level of detailed investigation on embedded system based-RF matching controller.

카운터 기반 디지털 보상 기법을 이용한 위상 고정 루프 (Phase-Locked Loops using Digital Calibration Technique with counter)

  • 정찬희;;이관주;김훈기;김수원
    • 전기학회논문지
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    • 제60권2호
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    • pp.320-324
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    • 2011
  • A digital technique is adopted to calibrate the current mismatch of the charge pump (CP) in phase-locked loops. A 2 GHz charge pump PLL (CPPLL) is used to justify the proposed calibration technique. The proposed digital calibration technique is implemented simply using a counter. The proposed calibration technique reduces the calibration time by up to a maximum of 50% compared other with techniques. Also by using a dual-mode CP, good current matching characteristics can be achieved to compensate $0.5{\mu}A$ current mismatch in CP. It was designed in a standard $0.13{\mu}m$ CMOS technology. The maximum calibration time is $33.6{\mu}s$ and the average power is 18.38mW with 1.5V power supply and effective area is $0.1804mm^2$.

Design of a Wide-Frequency-Range, Low-Power Transceiver with Automatic Impedance-Matching Calibration for TV-White-Space Application

  • Lee, DongSoo;Lee, Juri;Park, Hyung-Gu;Choi, JinWook;Park, SangHyeon;Kim, InSeong;Pu, YoungGun;Kim, JaeYoung;Hwang, Keum Cheol;Yang, Youngoo;Seo, Munkyo;Lee, Kang-Yoon
    • JSTS:Journal of Semiconductor Technology and Science
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    • 제16권1호
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    • pp.126-142
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    • 2016
  • This paper presents a wide-frequency-range, low-power transceiver with an automatic impedance-matching calibration for TV-white-space (TVWS) application. The wide-range automatic impedance matching calibration (AIMC) is proposed for the Drive Amplifier (DA) and LNA. The optimal $S_{22}$ and $S_{11}$ matching capacitances are selected in the DA and LNA, respectively. Also, the Single Pole Double Throw (SPDT) switch is integrated to share the antenna and matching network between the transmitter and receiver, thereby minimizing the systemic cost. An N-path filter is proposed to reject the large interferers in the TVWS frequency band. The current-driven mixer with a 25% duty LO generator is designed to achieve the high-gain and low-noise figures; also, the frequency synthesizer is designed to generate the wide-range LO signals, and it is used to implement the FSK modulation with a programmable loop bandwidth for multi-rate communication. The TVWS transceiver is implemented in $0.13{\mu}m$, 1-poly, 6-metal CMOS technology. The die area of the transceiver is $4mm{\times}3mm$. The power consumption levels of the transmitter and receiver are 64.35 mW and 39.8 mW, respectively, when the output-power level of the transmitter is +10 dBm at a supply voltage of 3.3 V. The phase noise of the PLL output at Band 2 is -128.3 dBc/Hz with a 1 MHz offset.

3차원 미소변위센서 기반 로봇 캘리브레이션 성능 검토 (Evaluation of Robot Calibration Performance based on a Three Dimensional Small Displacement Measuring Sensor)

  • ;강희준
    • 제어로봇시스템학회논문지
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    • 제20권12호
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    • pp.1267-1271
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    • 2014
  • There have been many autonomous robot calibration methods which form closed loop structures through the various attached sensors and mechanical fixtures. Single point calibration among them has been used for on-site calibration due to its convenience of implementation. The robot can reach a single point with infinitely many configurations so that single point calibration algorithm can be set up and easily implemented relative to the other methods. However, it is not still easy to drive the robots' sharp edge to its corresponding edge of the fixture. This is error-prone process. In this paper, we propose a 3 dimensional small displacement measuring sensor and a robot calibration algorithm based on this sensor. This method relieves the difficulty of matching two edges in the single point calibration and improves the resulting robot accuracy. Simulated study is carried out on a Hyundai HA06 robot to show the effectiveness of the proposed method over the single point calibration. And also, the resulting robot accuracy is compared with that from 3D laser tracker based calibration to show the dependency of robot accuracy on range of the workspace where the measurement data are collected.

룩업테이블을 이용한 스캐너 캘리브레이션에 관한 연구 (A Study on the Scanner Calibration Method Using Look-up Table)

  • 신춘범;강상훈
    • 한국인쇄학회지
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    • 제20권1호
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    • pp.79-90
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    • 2002
  • Recently, the research about color matching for the input/output devices of printing process is progressing rapidly by the digitization. The calibration method of flatbed scanner widely used as an input device for prepress process is especially important for color proofing of high quality color prints. In this paper, scanner calibration method using 3-dimensional look-up table and tetrahedral interpolation was examined and analysed comparatively on the three kinds of original copies, such as photograph, dye sublimation proof and ink jet print for IT8.T/2 target.

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13.56 MHz 임피던스 자동 정합 시스템을 위한 임피던스 에러율 향상 알고리즘 (Error Rate Enhancement Algorithm for 13.56 MHz Impedance Automatic Matching System)

  • 장광호;박수연;최진주;이동헌
    • 한국전자파학회논문지
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    • 제29권7호
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    • pp.484-490
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    • 2018
  • 본 논문은 13.56 MHz 임피던스 자동 정합 시스템 내의 VI 센서를 이용하여 전압 신호와 전류 신호를 측정하고, 부하임피던스를 계산하는 새로운 알고리즘에 대해서 기술하였다. 기존의 $50{\Omega}$ 교정 부하로 하던 방식에서 벗어나 임의의 복소수 교정 부하를 사용하여 에러율이 향상되는 알고리즘을 제안한다. 에러율은 $R_{IN}$ 평균 1 % 이하, $X_{IN}$은 평균 20 %이하 목표로 한다. 일차적으로 믹서를 사용하여 IF 주파수를 계산하여 에러율을 줄였고, 두 번째로 임의의 복소수 부하를 교정 부하로 사용하였을 때 에러율이 $R_{IN}$은 평균 2.7 %에서 평균 0.3 %로 감소하였고, $X_{IN}$은 평균 102 %에서 평균 18.3%까지 감소하였습니다.

머신비전검사를 위한 기하학적 특징 기반 지능 패턴 정합 (Intelligent Pattern Matching Based on Geometric Features for Machine Vision Inspection)

  • 문순환;김경범;김태훈
    • 한국콘텐츠학회논문지
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    • 제6권6호
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    • pp.1-8
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    • 2006
  • 본 연구에서는 인쇄회로기판을 위한 자동 광학 검사시스템에서 핵심적인 기능인 보정 데이타 산출을 위한 기하학적 특징 기반 방법을 제안하였다. 현재 적용되고 있는 자동 광학 검사 시스템에서는 보정데이타 산출을 위해 작업자가 직접 수작업으로 모델을 설정하고 있고, 검사영상에 기하학적인 변화가 있는 경우 비검사영역이 생기는 등 문제가 발생되고 있다. 이는 검사 작업의 신뢰성에 영향을 미치게 됨은 물론 검사 처리 시간을 지연시키는 요인이 된다. 제안된 방법은 주어진 PCB 영상으로부터 기하학적인 모양이 적합한 모델을 자동으로 선정할 수 있고, 기하학적인 모델 매칭 기법을 통해 신뢰성 있는 보정데이타를 산출할 수 있다. 제안된 방법의 사용으로 검사 시스템을 보다 편리하게 사용할 수 있고, 수작업에 의한 모델설정으로 발생되는 불필요한 시간을 절약할 수 있다. 또한, 기하학적인 변화량에 관계없이 보정데이타 산출이 가능하고, 잘못된 모델 선정 등 부정확한 보정데이터의 사용시 발생되는 문제점을 해결할 수 있는 장점을 갖는다.

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히스토그램 구간 교정을 이용한 스테레오 영상의 휘도 보정 (Luminance Correction for Stereo Images using Histogram Interval Calibration)

  • 김세호;김희석
    • 전자공학회논문지
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    • 제50권12호
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    • pp.159-167
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    • 2013
  • 스트레오뷰(Stereoview) 시스템에서 카메라 위치 또는 광원의 변화는 양안에 해당하는 두 영상 사이에서 휘도에 대한 색상 분포에 차가 발생 한다. 이러한 색상변화 차는 입체영상(3D) 코딩의 품질을 저하 시키거나 적합하지 않는 프레임이 발생한다. 이러한 휘도에 대한 색상분포 차를 보정하기 위하여 본 논문에서는 스트레오뷰 코딩을 위한 효율적인 히스토그램 구간 보정방법을 제안하였다. 제안한 방법은 타겟뷰의 히스토그램을 분석하여 두 개의 영역으로 구분한 후 기준이 되는 영상의 히스토그램과 영역별 최대 매칭 영역을 분석하여 컬러편차를 보정하도록 하였다. 그리고 제안한 히스토그램 매칭 방법을 다른 컬러 보정방법과 비교하여 휘도 성분 교정을 검증 하였다. 실험 결과 제안하는 알고리즘이 연산 속도와 휘도 교정 PSNR(Peak Signal to Noise Ratio) 결과에서 더 좋은 결과를 보였다.

투영곡선의 자동정합을 이용한 전방향 카메라 보정 (Using Contour Matching for Omnidirectional Camera Calibration)

  • 황용호;홍현기
    • 대한전자공학회논문지SP
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    • 제45권6호
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    • pp.125-132
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    • 2008
  • 감시 및 로보트 분야 등에서 다양하게 사용되는 전방향(omnidirectional) 카메라 시스템은 넓은 시야각을 제공한다. 전방향 카메라의 사영모델과 외부변수를 추정하는 대부분의 기존 연구에서는 사전에 설정된 영상 간의 대응관계를 가정한다. 본 논문에서는 두 장의 전방향 영상으로부터 투영곡선을 자동으로 정합하여 카메라의 외부변수를 추정하는 새로운 알고리즘이 제안된다. 먼저 두 영상에서 대응되는 특징점으로부터 에피폴라 구속조건을 계산하여 초기 카메라 변수를 계산한다. 검출된 특징점과 투영곡선을 대상으로 능동적(active) 정합방법으로 대응관계를 결정한다. 최종 단계에서 대응 투영곡선을 구성하는 양 끝점의 에피폴라(epipolar) 평면과 3차원 벡터의 각도 오차를 최소화하는 카메라 변수를 추정한다. 합성영상과 어안렌즈(fisheye lens)로 취득된 실제 영상을 대상으로 제안된 알고리즘이 기존 방법에 비해 카메라의 외부변수를 정확하게 추정함을 확인하였다.