The performance of the DRAM is strongly dependent on the purity and surface roughness of the TIT (TiN/Insulator/ TiN) capacitor electrodes. Hence, in the present study, we evaluate the effects of organic contamination and change of surface roughness on the cylindrical TIT capacitor electrodes during the wet cleaning process by various analytical techniques such as TDMS, AFM, XRD and V-SEM. Once the sacrificial oxide and PR (Photo Resist) are removed by HF, the organic contamination and surface oxide films on the bottom Ti/TiN electrode become visible. With prolonged HF process, the surface roughness of the electrode is increased, whereas the amount of oxidized Ti/TiN is reduced due to the HF chemicals. In the 80nm DRAM device fabrication, the organic contamination of the cylindrical TIT capacitor may cause defects like SBD (Storage node Bridge Defect). The SBD fail bit portion is increased as the surface roughness is increased by HF chemicals reactions.
In the present study, a new assessment simulation of ride safety based on a new wind-traffic-pavement-bridge coupled vibration system is developed considering stochastic characteristics of traffic flow and bridge surface. Compared to existing simulation models, the new assessment simulation focuses on introducing the more realistic three-dimensional vehicle model, stochastic characteristics of traffic, vehicle accident criteria, and bridge surface conditions. A three-dimensional vehicle model with 24 degrees-of-freedoms (DOFs) is presented. A cellular automaton (CA) model and the surface roughness are introduced. The bridge deck pavement is modeled as a boundless Euler-Bernoulli beam supported on the Kelvin model. The wind-traffic-pavement-bridge coupled equations are established by combining the equations of both the vehicles in traffic, pavement, and bridge using the displacement and interaction force relationship at the patch contact. The numerical simulation shows that the proposed method can simulate rationally useful assessment and prevention information for traffic, and define appropriate safe driving speed limits for vulnerable vehicles under normal traffic and bridge surface conditions.
In the present study, a new methodology is presented to study the ride comfort and bridge responses of a long-span bridge-traffic-wind coupled vibration system considering stochastic characteristics of traffic flow and bridge surface progressive deterioration. A three-dimensional vehicle model with 24 degrees-of-freedoms (DOFs) including a three-dimensional non-linear suspension seat model and the longitudinal vibration of the vehicle is firstly presented to study the ride comfort. An improved cellular automaton (CA) model considering the influence of the next-nearest neighbor vehicles and a progressive deterioration model for bridge surface roughness are firstly introduced. Based on the equivalent dynamic vehicle model approach, the bridge-traffic-wind coupled equations are established by combining the equations of motion of both the bridge and vehicles in traffic using the displacement relationship and interaction force relationship at the patch contact. The numerical simulations show that the proposed method can simulate rationally the ride comfort and bridge responses of the bridge-traffic-wind coupled system; and the vertical, lateral, and longitudinal vibrations of the driver seat model can affect significantly the driver's comfort, as expected.
This study evaluated the localized stress condition of the real corroded deck surface of an orthotropic steel bridge because severe corrosion damage on the deck surface and fatigue cracking were reported. Thus, a three-dimensional finite element (FE) analysis model was created based on measurements of the corroded orthotropic steel deck surface to examine the stress level dependence on the corrosion condition. Based on the FE analysis results, it could be confirmed that a high stress concentration and irregular stress distribution can develop on the deck surface. The stress level was also increased by approximately 1.3-1.5 times as a result of the irregular corroded surface. It was concluded that this stress concentration could increase the possibility of fatigue cracking in the deck surface because of the surface roughness of the orthotropic steel bridge deck.
Purpose: This study aimed to confirm the applicability of gloss polishing using automatic barrel finishing with respect to three-dimensional (3D)-printed resin specimens. The surface roughness and grinding angle of the 3D-printed resin specimens were observed with respect to gloss polishing time using automatic dental barrel finishing. Methods: Herein, experiments were conducted on four types of 3D-printed resin specimens. The specimens, with a thickness of 100 ㎛ each, were printed using a 3D printer. Subsequently, light polymerization was performed on these specimens for 15 min. Post this surface treatment, the specimens underwent grinding for 25 min. This process was followed by gloss polishing at 5-min intervals for up to 25 min using automatic dental barrel finishing. The specimens were photographed using a 3D optical microscope, and their surface roughness and grinding angle were measured. Results: The Ra (centerline average roughness) values of all the specimens, except for crown & bridge 10 group and those in the control group that were not polished using automatic barrel finishing, were <0.2 ㎛. However, polishing time needs to be controlled to realize the desired surface roughness and grinding amount considering the hardness of the resin used. Conclusion: Gloss polishing of 3D-printed resin can be realized using automatic dental barrel finishing. However, polishing time needs to be controlled to realize the desired surface roughness and grinding amount considering the hardness of the resin used.
An acoustic finite element model of a bridge is developed to evaluate the noise generated by the traffic-induced vibration of the bridge. The dynamic response of a multi-girder bridge, modeled by a 3-dimensional frame element model, is analyzed with a 3-axle(8DOF) truck model and a 5-axle(l3DOF) semi-trailer. The flat plate element is used to analyze the acoustic pressure due to the fluid-structure interactions between the vibrating surface and contiguous acoustic fluid medium. The radiation fields of noise with a specified distribution of vibrating velocity and pressure on the structural surface are also computed using the Kirchhoff-Helmholtz integral. In an attempt to illustrate the influence of the structural vibration noise of a bridge to total noise level around the bridge, the random function is used to generate the vehicle noise source including the engine noise and the rolling noise interacting between the road and tire. Among the diverse parameters affecting the dynamic response of bridge, the vehicle velocity, the vehicle weight, the spatial distribution of the road surface roughness, the stiffness degradation of the bridge and the variation of the air temperature changing the air density are found to be the main factors that increase the level of vibration noise. Consequently, The amplification rate of noise increases with the traveling speed and the vehicle weight.
본 연구에서는 다양한 구조 및 하중조건에 대하여 중차량의 주행에 의한 충격효과를 분석하였다. 중차량 주행시의 다주형 강판형교의 동적해석에서는 노면조도 및 차륜-바닥판 사이의 상호작용을 고려하였다. 진입로와 교량바닥판의 노면형상은 각 노면조도에 따라 지수 스펙트럴 밀도 함수를 사용하여 생성시켰으며, 교량바닥판과 차륜사이의 상관력을 좀더 합리적으로 반영하기 위해 개선된 후처리기법을 사용하여 보정하였다. 또한 교량진입부에서 발생할 수 있는 바닥판과 진입로사이의 단차조건도 분석하였다. 현행 도로교 표준 시방서에 준하여 설계된 다양한 교량들에 대하여 동적거동에 중요한 영향을 미치는 구조인자들(경간장, 주형간격 등)의 영향을 체계적으로 검토하였다. 다양한 주행속도에 따른 단일주행에 의한 기본적인 하중상태 뿐만 아니라 동일차선 및 인접차선을 주행하는 다수 차량의 하중조건도 검토하였다.
본 연구에서는 교량의 노면조도 및 교량과 차량 사이의 상호작용을 고려한 수치해석방법을 사용하여 도로교설계기준에 규정된 표준트럭 하중인 KL-510에 의한 강판형교의 동적응답을 연구하였다. 대상교량은 건설부에서 제정한 "도로교 상부구조 표준도"에 수록되어 있는 지간이 20m, 30m와 40m인 단순 강판형교를 사용하고. "보통의 도로"에 대하여 생성시킨 10개의 노면조도를 사용하였다. 차량은 5축 트랙터-트레일러인 표준트럭하중 KL-510을 3차원 차량으로 모델링하고, 교량은 주형을 보요소로, 콘크리트 바닥판은 쉘요소로, 주형과 콘크리트 바닥판 사이는 Rigid Link를 사용하여 3차원으로 모델링하였다. 이와 같은 노면조도 및 차량을 사용하여 강판형교의 충격계수와 DLA를 구하고 각국의 설계기준과 비교 검토하였다.
Based on the Model Coupled Method (MCM), a case study has been carried out on a Concrete-Filled Steel Tubular (CFST) tied arch bridge to investigate the vibration problem. The mathematical model assumed a finite element representation of the bridge together with beam, shell, and link elements, and the vehicle simulation employed a three dimensional linear vehicle model with seven independent degrees-of-freedom. A well-known power spectral density of road pavement profiles defined the road surface roughness for Perfect, Good and Poor roads respectively. In virtue of a home-code program, the dynamic interaction between the bridge and vehicle model was simulated, and the dynamic amplification factors were computed for displacement and internal force. The impact effects of the vehicle on different bridge members and the influencing factors were studied. Meanwhile the acceleration responses of some of the components were analyzed in the frequency domain. From the results some valuable conclusions have been drawn.
The impact factor of bridges is analyzed based on experimental data to examine the characteristics of the dynamic responses of bridges. The experimental impact factors are compared with the impact factor of Korean Highway Design Specification and Japan T-load in terms of the span length. According to the superstructural types of bridges, the variation of the impact factor is analyzed. When vehicles are passing on a bridge, the dynamic effect acts on the bridge impact factor more than at the time of design because of the velocity of vehicles, the surface roughness reduction due to the deterioration of the bridge deck pavement, and the disconnection of the bridge entrance and the expansion joint. Because the actual value is greater than the expected value at the time of design, the dynamic response of the bridge accelerates the deterioration of the bridge due to the accumulation of fatigue, and the bridge's life-time is shortened and can have an influence on the serviceability and safety of the bridge.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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