Phenomenal study on the dopant activation behavior in polysilicon thin films doped by non-mass separated ion mass doping technique (비질량 분리 이온 질량 주입법으로 도핑시킨 다결정 박막의 도판트 활성화 거동)
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- Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology
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- 제7권1호
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- pp.143-150
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- 1997