• 제목/요약/키워드: beam spot

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TOF-MEIS 나노분석법 (NanoAnalysis with TOF-MEIS)

  • 유규상;문대원
    • 진공이야기
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    • 제2권2호
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    • pp.17-23
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    • 2015
  • Medium Energy Ion Scattering (MEIS) has been successfully used for ultrathin film analysis such as gate oxides and multilayers due to its single atomic depth resolution in compostional and structural depth profiling. Recently, we developed a time-of-flight (TOF) MEIS for the first time, which can analyze a $10{\mu}m$ small spot. Small spot analysis would be useful for test pattern analysis in semiconductor industry and various thin film technology. The ion beam damage problem is minimized due to its improved collection efficiency by orders of magnitude and the ion beam neutralization problem is removed completely for quantitative analysis. Newly developed TOF-MEIS has been applied for gate oxides, ultra shallow junctions, nanoparticles, FINFET structures to provide compositional and structural profiles. Further development for submicron spot analysis and applications for functional nano thin films and nanostructured materials are expected for various nanotechnology and biotehnology.

Analysis of Specific Problems in Laser Scanning Optical System Design

  • Joo, Won-Don
    • Journal of the Optical Society of Korea
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    • 제15권1호
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    • pp.22-29
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    • 2011
  • We analyze aberrations in an optical laser printer system in order to know how to determine an allowable non-uniformity of the movement of a light spot, how to determine allowed variation of spot sizes, and how to minimize the influence of these deviations on technological errors. In this paper, the correction and the tolerance of distortion are analyzed by using the concept of zonal and global distortions. The tolerance of field curvature is also obtained from Gaussian beam properties. In order to reduce the change of the entrance pupil position and to make a more compact laser printer system the minimum size of the rotator is exactly derived from the geometry with the introduction of the shift angle of the input beam.

영상처리를 통한 다기능 레이저 포인터 마우스 개발 (Development of Multi-functional Laser Pointer Mouse Through Image Processing)

  • 김영우;김성민;신진;이수영
    • 제어로봇시스템학회논문지
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    • 제17권11호
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    • pp.1168-1172
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    • 2011
  • Beam projector is popularly used for presentation. In order to pay attention to local area of the beam projector display, a laser pointer is used together with a pointing device(Mouse). Simple wireless presenter has limited functions of a pointing device such as "go to next slide" or "back to previous slide" in a specific application(Microsoft PowerPoint) through wireless channel; thus, there is inconvenience to do other tasks e.g., program execution, maximize/minimize window etc. provided by clicking mouse buttons. The main objective of this paper is to implement a multi-functional laser-pointer mouse that has the same functions of a computer mouse. In order to get position of laser spot in the projector display, an image processing to extract the laser spot in the camera image is required. In addition, we propose a transformation of the spot position into computer display coordinates to execute mouse functions on computer display.

변형된 유전자 알고리즘을 이용한 안테나 빔의 스위트 스폿 탐색 (Sweet Spot Search of Antenna Beam using the Modified Genetic Algorithm)

  • 엄기환;정경권
    • 전자공학회논문지CI
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    • 제42권6호
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    • pp.47-54
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    • 2005
  • 본 연구에서는 점대점(point-to-point) 링크 상에서 각 스테이션 간의 안테나 빔의 스위트 스폿을 찾고 유지하는 방법을 제안 한다. 제안한 방식은 송수신 데이터에 안테나의 정보를 같이 실어 보내고 그 정보를 이용하여 변형된 유전자 알고리즘으로 스위트 스폿을 찾고 유지 한다. 변형된 유전자 알고리즘은 지역해(local solution)에 수렴하는 문제를 해결하여 전처리 과정으로 우수한 초기집단을 선택한 후 진화하는 방법이다. 제안한 방식의 유용성을 점대점 링크 상에서 잡음이 없는 경우와 잡음이 첨가된 경우에 대하여 시뮬레이션을 통하여 확인하였다.

Array 안테나 빔의 스위트 스폿 탐색 (Sweet Spot Search of Array Antenna Beam)

  • 엄기환;강성호;이창영;남궁욱;현교환
    • 한국정보통신설비학회:학술대회논문집
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    • 한국정보통신설비학회 2005년도 하계학술대회
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    • pp.115-119
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    • 2005
  • 본 논문에서는 single array antenna 링크 상에서 각 스테이션 간의 안테나 빔의 스위트 스폿을 변형된 유전자 알고리즘(Modified Genetic Algorithm)을 이용하여 찾는 방법을 제안하였다. 제안한 방식은 각 스테이션에서 전송하는 데이터에 안테나의 정보를 같이 전송하며 빔의 강도를 거리함수로 나타내고 그 거리함수의 곱을 적합도 함수로 이용하여 최대값이 되는 각도를 찾는 방식이다. MGA방식은 전처리 과정을 통하여 우수한 초기세대를 선택하는 방식으로 일반적인 GA방식에서 랜덤하게 초기세대를 갖는 것과는 차별화가 된다. 제안한 방식의 유용성을 확인하기 위하여 잡음이 없는 경우와 백색 가우시안 잡음을 첨가한 경우에 일반적인 GA 방식과 시뮬레이션을 통하여 성능을 확인하였다. 시뮬레이션 결과 제안한 방식은 잡음이 없는 경우와 잡음을 첨가한 경우에 수렴율이 각각 99%, 82%로 일반적인 GA 방식보다 우수함을 확인하였다.

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두개의 ADALINE을 이용한 안테나 빔의 스위트 스폿 탐색 (Sweet Spot Search of Antenna Beam using The Two ADALINE)

  • 이창영;최규민;강성호;정성부;엄기환
    • 한국정보통신학회:학술대회논문집
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    • 한국해양정보통신학회 2005년도 춘계종합학술대회
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    • pp.705-708
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    • 2005
  • 본 연구에서는 점대점(point-to-point) 링크상에서 각 스테이션 간의 안테나 빔의 스위트 스폿을 찾고 유지하는 방법을 제안 한다. 제안한 방식은 송수신 데이터에 안테나의 정보를 같이 실어 보내고 그 정보를 이용하여 신경회로망 중에서 간단한 두개의 ADALINE으로 스위트 스폿을 찾고 유지 한다. 통신방식은 시분할 이중화 방식으로 하고, 두개의 ADALINE을 병렬로 연결하여 원하는 목표값에 수렴하고 유지한다. 제안한 방식의 유용성을 점대점(Point-to-Point) 링크상에서 잡음이 없는 경우와 잡음이 첨가된 경우에 대하여 시뮬레이션을 통하여 확인하였다

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두경부 방사선치료시 접합 조사면의 선량분포 (Dose distribution at junctional area for head and neck radiotherapy)

  • 김정기;김기환;오영기;김진기;정동혁;신교철;양광모;조문준;박인규
    • 한국의학물리학회지:의학물리
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    • 제12권2호
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    • pp.161-169
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    • 2001
  • 두경부 종양의 방사선치료에서 비대칭 콜리메이터를 이용한 이분조사는 두 조사면을 겹침없이 연결시켜 조사할 수 있는 효과적인 방법이고, 동일 방사선 조사면을 분리하여 X-선과 전자선을 인접시켜 조사하는 경우는 빈번히 사용되는 방법이다. 본 연구는 X-선의 이분조사면을 이용한 두 조사면의 인접면의 선량과, X-선과 전자선 조사면의 인접면에서 선량을 측정하여 임상에 적용할 수 있는 자료를 얻고자 하였다. X-선의 반쪽 조사면의 선량측정에서 하부 전방 단일 이분조사면의 선량분포는 Y축이 0 cm인 면(콜리메이터가 닫힌 면)에서 0.5 cm, 1 cm 거리에서는 각각 개방조사 선량의 93%, 95%, 전후방 이분조사의 경우 Y축이 0 cm인 면에서 0.3 cm, 0.5 cm, 1 cm거리에서는 각각 개방조사 선량의 92%, 95%, 98%로 선량감소를 보였다. X-선과 전자선의 조사면을 인접시켰을 때 깊이 0 cm, 0.5 cm, 1.5 cm, 2 cm, 3 cm에서의 두 조사면의 인접면에서의 선량 분포의 분석에서 X-선 조사면에서 선량 증가는 깊이 1.5 cm에서 폭 7 mm에 걸쳐 있었고 최고 6%의 증가를 보였으며 다른 측정 깊이에서는 선량증가가 허용범위 내에 있었다. 그리고 전자선 조사면쪽에서 선랑 감소는 전 측정 깊이 0.5 cm-3 cm에서 각각 폭이 1mm-12.5 mm에 걸쳐 4.5%- 30%의 주변부 보다 선량감소를 보였다. 본 연구에서 이분 조사면의 선량은 콜리메이터가 닫힌 면에서 감소함을 확인하였다. 그리고 X-선과 전자선을 인접시켜 조사 할 때 두 조사면의 인접면을 중심으로 X-선 조사면 쪽에서 선량증가, 전자선 조사면쪽에서 선량 감소를 보임을 확인하였다.

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대향2문조사시 Target Volume의 위치에 따른 Beam Weight의 최적화

  • 이진국;김지한;임익수;최영헌
    • 대한방사선치료학회지
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    • 제5권1호
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    • pp.68-73
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    • 1992
  • If the same weight is used in parallel opposed 6 and 10 MV x-ray beams, the lowest dose is achieved at SAD. Therefore, dose homogeneity in the target volume is decreased when SAD is taken at center of target volume than center of phantom or patient. With Standard deviation of ${\pm}6\%$ that repuesented the dose homogeneity in tarhet volume, we studied the optimized beam weights at which hot spot dose was least in parallel opposed beams. The optimized beam weights that maximally decrease the hot spot dose, wer 1.29, 1.19, 2.71, 3.50, and 4.70 in 6 MV x-ray and 1.25, 1.53, 1.90, 2.36, 3.01, and 3.7 in 10 MV x-ray, reapectively, when center of target volume was changed to 2,4,6,8,10, and 12cm from center plan of phantom along the centeral axis of beams.

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완전도체 박막에서 고 투과율 C형 나노 개구 설계 (Design of a High-Transmission C-Shaped Nano-Aperture in a Perfectly Electric Conductor Film)

  • 박신증;한재원
    • 한국정밀공학회지
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    • 제23권6호
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    • pp.160-165
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    • 2006
  • We have designed a high-transmission nano aperture in a perfect electric conductor film with the incident beam of 532 nm wavelength. The aperture basically has a C-shape and is known to produce a bright spot nearby the aperture in small size less than diffraction limit. The bright spot is strongly coupled with the local plasmon excited through the aperture hole. The characteristics of transmission and peak power of the aperture output were calculated using finite differential time domain (FDTD) technique, and the geometry of the aperture was determined to get a maximum transmission and peak power. To find the effect of the surface plasmon induced near by the aperture, we calculated the variations of the transmittance and the beam sizes by changing the size of the input beam irradiated on the aperture.

A Concept of Adaptive Focusing using a Rotman Lens for Detecting Buried Structures

  • Kim, Jae-Heung
    • 한국전자파학회:학술대회논문집
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    • 한국전자파학회 2003년도 종합학술발표회 논문집 Vol.13 No.1
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    • pp.536-540
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    • 2003
  • A new concept of adaptive focusing, using a Rotman lens, is presented in this paper. A Rotman lens is a microwave lens which is able to focus microwave power on its focal arc or generate multiple beams. By adding the array of phase shifters between a Rotman lens and antenna elements, the wavefront can be adaptively modulated to focus objects distributed in short range rather than far-field zone. From the optical point of view, the propagations of the lens have been simplified from the Fresnel diffraction integral to the Fourier transform. Using Fourier Transform, a beam propagation method has been developed to show improvement of the resolution by controlling wavefront of wave propagating from an aperture-type antenna array. The beam width(or spot size) and intensity have been calculated for a focused beam propagating from an array having $10{\lambda}$ of its size. For the beam with $20{\lambda},\;30{\lambda}$, and $50{\lambda}$ of geometrical focal length, the half-power beamwidth (spot size) is about $1.1{\lambda},\;1.3{\lambda}$, and $1.9{\lambda}$, respectively.

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