• 한국정밀공학회지
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• 제25권1호
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• pp.85-91
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• 2008

White light scanning interferometry has gotten a firm position in 3D surface profile measuring field. Recently, the LCD industry gave a chance for this technology to enter into real industry fields. It is known that white-light phase-shifting algorithm give a best resolution compare to other algorithms, but there are some problems to be resolved. One of them is 300nm jump in height profile, called bat-wing effect. The main reason of this problem is an ambiguity of phase-peak detection algorithm, and some solution has been proposed, but it didn't work perfectly. In this paper, I will show the cases when these effects are occurred, and these height discrepancies will be almost disappeared when broad-band illuminators are used.

• 대한전자공학회논문지SP
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• 제47권2호
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• pp.51-60
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• 2010

본 논문에서는 백색광 위상천이 간섭계에서 향상된 3차원 형상 정보를 보다 빠르게 얻을 수 있는 새로운 방법을 제안한다. 백색광 위상천이 간섭계는 초정밀 제품의 형상 측정에 사용되는 유용한 방법이다. 첫째, 가시도 함수를 포함하는 간섭신호로부터 3차원 높이 정보를 신속하게 계산할 수 있는 가시도 유효 검출 구간 설정 방법을 제안한다. 둘째, 기존의 백색광 위상천이 간섭계에서 발생하는 전역 기울어짐 현상을 해결하기 위하여 바닥면 데이터 자동 추출 방법과 이를 이용한 최소 제곱 근사화 기반의 바닥 평변 추정 방법을 제안한다. 셋째, 높이의 변화가 큰 경계영역에서의 형상 왜곡인 bat-wing effect를 제거하기 위한 적응 필터 방법을 제안한다. 실험을 통해 제안하는 방법이 기존의 백색광 위상천이 간섭법의 성능을 보다 향상시킴을 보인다.