Optimization of tetrahedral amorphous carbon (ta-C) film deposited with filtered cathodic vacuum arc through Taguchi robust design (다구찌 강건 설계를 통한 자장 여과 아크 소스로 증착된 사면체 비정질 탄소막의 최적화)
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- Journal of Surface Science and Engineering
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- v.54 no.2
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- pp.53-61
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- 2021