A Study of Micro Freestanding Structure Fabrication using Nickel Electroless Plating And Silicon Anisotropic Etching (무전해 니켈 도금과 실리콘의 이방성 식각을 이용한 미세 가동 구조물의 제작방법에 관한 연구)
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- The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers C
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- v.49 no.6
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- pp.367-374
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- 2000