Fabrication of Single Crystal Silicon Micro-Tensile Test Specimens and Thin Film Aluminum Markers for Measuring Tensile Strain Using MEMS Processes (MEMS 공정을 이용한 단결정 실리콘 미세 인장시편과 미세 변형 측정용 알루미늄 Marker의 제조)
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- Transactions of Materials Processing
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- v.13 no.3
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- pp.285-289
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- 2004