평판형 유도결합 플라즈마 장치의 $CF_4$ 방전에 대한 Global Simulation
(Global Simulation for $CF_4$ Discharge in Transformer Coupled Plasma Source)
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- 대한전기학회:학술대회논문집
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- 대한전기학회 2002년도 하계학술대회 논문집 C
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- pp.1757-1759
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- 2002