$SiN_x/Si$ 기판에 제조된 후막 PZT의 횡 압전 계수 $(e_{31,f})$ 측정
(Measurement of Effective Transverse Piezoelectric Coefficients $(e_{31,f})$ of Fabricated Thick PZT Films on $SiN_x/Si$ Substrates)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2004년도 하계학술대회 논문집 Vol.5 No.2
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- pp.965-968
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- 2004