• Title/Summary/Keyword: Young-Jung Kim

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A study on the Characteristics of MgO Thin Films Deposited by Bipolar pulse power (Bipolar pulse power를 사용하여 증착한 MgO 박막의 특성에 관한 연구)

  • Kim, Young-Su;Kim, Seung-Chan;Song, Geun-Yeoung;Choi, Hoon-Young;Jung, Hai-Young;Seo, Jung-Hyun;Lee, Seok-Hyun
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2003.10a
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    • pp.167-169
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    • 2003
  • AC PDP(Plasma Display panel)에서 MgO 보호막은 방전공간에 직접 노출되어 있기 때문에, AC PDP의 수명과 방전 특성이 직접적인 영향을 미친다. 그동안 보다 좋은 특성의 MgO 보호막을 증착하기 위한 연구가 Magnetron-sputtering, E-beam, ion-plating 등 여러 가지 방법에 의해 진행되어 왔다. 본 논문에서는 Bipolar pulse power를 사용하여 sputtering 방법으로 MgO 보호막을 증착하여, 그 전기적, 광학적 특성을 기존의 magnetron-sputtering 방법으로 증착한 MgO 보호막과 비교하였다. 그 결과 Bipo1ar pulse power를 이용한 MgO 보호막의 결정립이 더 크게 나타났으며 그것으로부터 AC PDP의 수명향상에 효과가 있을 것으로 사료된다.

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