원자층 증착 방법에 의한 $Ta_2O_5$ 박막의 전기적 특성
(The Electrical Properties of $Ta_2O_5$ Thin Films by Atomic Layer Deposition Method)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2002년도 춘계학술대회 논문집 유기절연재료 전자세라믹 방전플라즈마 일렉트렛트 및 응용기술
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- pp.41-46
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- 2002