Fabrication of surface-enhanced Raman scattering substrate using black silicon layer manufactured through reactive ion etching (RIE 공정으로 제조된 블랙 실리콘(Black Silicon) 층을 사용한 표면 증강 라만 산란 기판 제작)
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- Journal of Sensor Science and Technology
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- v.30 no.4
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- pp.267-272
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- 2021