This paper describes the heteroepitaxial growth of single-crystalline 3C-SiC (cubic silicon carbide) thin films on Si (100) wafers by atmospheric pressure chemical vapor deposition (APCVD) at 1350 oC for micro/nanoelectromechanical system (M/NEMS) applications, in which hexamethyldisilane (HMDS, Si2(CH3)6) was used as a safe organosilane single-source precursor. The HMDS flow rate was 0.5 sccm and the H2 carrier gas flow rate was 2.5 slm. The HMDS flow rate was important in obtaing a mirror-like crystalline surface. The growth rate of the 3C-SiC film in this work was 4.3 μm/h. A 3C-SiC epitaxial film grown on the Si (100) substrate was characterized by X-ray diffraction (XRD), transmission electron microscopy (TEM), reflection high energy electron diffraction (RHEED), atomic force microscopy (AFM), X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) and Raman scattering, respectively. These results show that the main chemical components of the grown film were single-crystalline 3C-SiC layers. The 3C-SiC film had a very good crystal quality without twins, defects or dislocations, and a very low residual stress.
Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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1999.05a
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pp.493-496
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1999
Ni/3C-SiC 옴믹 접합에 대한 미세구조적-접합 특성과의 상관관계를 규명하였다. 3C-SiC 웨이퍼 위에 저저항 전면 옴믹 적합층을 형성하기 위하여 Ni(t=300$\AA$)을 thermal evaporator를 사용하여 증착하고, 50$0^{\circ}C$, 80$0^{\circ}C$, 103$0^{\circ}C$ 온도에서 30분간(Ar 분위기) 열처리 한 후, scratch test를 실행하여 Ni/3C-SiC의 접착력 특성을 조사하였다. 여러 다른 온도에 따른 Ni/3C-SiC 층의 표면과 계면의 미세구조는 X-ray scattering 법을 사용하였다. 50$0^{\circ}C$ 에서 열처리된 Ni/3C-SiC 층은 가장 낮은 계면 평활도와 가장 높은 표면 평활도를 나타내었다. Ni/3C-SiC 접착력 분석에서 500 $^{\circ}C$ 열처리된 시편의 측정된 임계하중 값은 As-deposited 시편(12 N~ 13 N)보다 훨씬 낮은 2 N~3 N 범위의 값을 보였으나, 열처리 온도가 증가함에 따라 다시 높아지는 경향을 보였다. 미세구조 특성에서는 열처리 온도가 500 $^{\circ}C$ 이상에서는 NiSi$_2$silicides의 domain size는 결정성의 향상에 따라 증가되었다. 결정성 향상이 3C-SiC와 silicides 사이의 격자상수의 낮은 불일치를 완화시키는데 기여 하였 다.
Journal of Korea Technical Association of The Pulp and Paper Industry
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v.44
no.4
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pp.43-50
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2012
The crystallinity index is an important characteristic of cellulose. The crystallinity value is different depending on the adopted instrument. In this study, we determined a crystallinity index of cotton and wood celluloses using wide-angle X-ray scattering (WAXS), powder X-ray diffractometer (PXRD), and cross polarization/magic angle spinning solid-state $^{13}C$ nuclear magnetic resonance spectroscopy (CP/MAS solid-state $^{13}C$ NMR). The specimen was prepared in forms of powder, sheet and pallet. With the comparison of the obtained crystallinity indices of the cellulose, the effects of the analysis instrument, the sample preparation and analysis method were investigated. Among three instruments, the crystallinity indices by PXRD and NMR had a good relationship and reproducibility, and WAXS gave the crystallinity index with poor reproducibility. In the case of analysis methods of crystallinity indices, the Segal method showed higher value than that of the Ruland-Vonk method. We expect that this study would be applicable to evaluate the crystallinity index of various cellulose materials with accuracy and reproducibility.
U, Jeong-Jun;Park, Yeong-Su;Lee, Hui-Ju;Jeon, Du-Jin;Kim, Geon-Hui;Kim, Yun-Su
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2010.02a
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pp.195-195
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2010
$Ga_2O_3$ thin films have been grown on Si(001) substrates by metalorganic chemical vapor deposition (MOCVD) using dimethylgallium isopropoxide ($Me_2GaO^iPr$, DMGIP) with oxygen as the reactant gas. Suitability of the precursor for CVD was confirmed by thermogravimetric analysis (TGA) and vapor pressure measurement. Deposition was carried out in the substrate temperature range $450-650^{\circ}C$. Spectroscopic ellipsometry, X-ray diffraction (XRD), and X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) and Rutherford back-scattering spectroscopy (RBS) were used to determine the thickness, crystallinity, and composition and stoichiometry of the films, respectively. From the slope of the Arrhenius plot in the temperature range $500-550^{\circ}C$, the activation energy of deposition was found to be $225.5\;kJ\;mol^{-1}$. As-deposited films were amorphous, but the monoclinic $\beta-Ga_2O_3$ phase was revealed after annealing the films in air at $1050^{\circ}C$. The XPS and RBS analyses indicate that the $Ga_2O_3$ films obtained by using DMGIP were found to be almost stoichiometric.
In the present study, rutile phase titanium dioxide nanoparticles ($R-TiO_2$ NPs) were prepared by hydrolysis of titanium tetrachloride in an aqueous solution followed by calcination at $900^{\circ}C$. The composition of $R-TiO_2$ NPs was determined by the analysis of X-ray diffraction data, and the characteristic features of $R-TiO_2$ NPs such as the surface functional group, particle size, shape, surface topography, and morphological behavior were analyzed by Fourier-transform infrared spectroscopy, scanning electron microscopy and energy dispersive X-ray spectroscopy, transmission electron microscopy, dynamic light scattering, and zeta potential measurements. The average size of the prepared $R-TiO_2$ NPs was 76 nm, the surface area was $19m^2/g$, zeta potential was -20.8 mV, and average hydrodynamic diameter in dimethyl sulfoxide (DMSO)-$H_2O$ solution was 550 nm. The 3-(4,5-dimethylthiazol-2-yl)-2,5-diphenyltetrazolium bromide (MTT) assay and morphological observations revealed that $R-TiO_2$ NPs were cytocompatible with oral cancer cells, with no inhibition of cell growth and proliferation. This suggests the efficacy of $R-TiO_2$ NPs for the aesthetic white pigmentation of teeth.
Kim, Beomjin;Song, Woo Chang;Park, Sun Young;Park, Geuntae
Journal of Environmental Science International
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v.29
no.12
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pp.1171-1184
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2020
The green synthesis of inorganic nanoparticles (NPs) using biomaterials has garnered considerable attention in recent years because of its eco-friendly, non-toxic, simple, and low-cost nature. In this study, we synthesized NPs of noble metals, such as Ag and Au using an aqueous extract of a marine seaweed, Ecklonia cava. The formation of AgNPs and AuNPs was confirmed by the presence of surface plasmon resonance peaks in UV-Vis absorption spectra at approximately 430 and 530 nm, respectively. Various properties of the NPs were evaluated using characterization techniques, such as dynamic light scattering, transmission electron microscopy, energy-dispersive X-ray spectroscopy, Fourier transform infrared spectroscopy, and X-ray diffraction analysis. Phytochemicals in the seaweed extract, such as phlorotannins, acted as both reducing and stabilizing agents for the growth of the NPs. The green-synthesized AgNPs and AuNPs were found to exhibit high catalytic activity for the decomposition of organic dyes, including azo dyes, methylene blue, rhodamine B, and methyl orange.
Rokade, Ashish A.;Yoo, Seong Il;Jin, Youngeup;Park, Seong Soo
Clean Technology
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v.26
no.4
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pp.251-256
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2020
The biocompatibility and plasmonic properties of Au nanoparticles make them useful for photothermal therapy, drug delivery, imaging, and many other fields. This study demonstrated a novel, facile, economic, and green synthetic method to produce gold nanoparticles. Gold nanoparticles (AuNPs) with spherical and triangular shapes were effectively synthesized using only Schisandra chenesis fruit extract as the capping and reducing agent. The shape of the AuNPs could be engineered simply by adjusting the molar concentration of HAuCl4 in the reaction mixture. The as-synthesized AuNPs were characterized using UV-VIS spectroscopy, transmission electron microscopy (TEM), X-ray diffraction (XRD), dynamic light scattering (DLS), and energy dispersive X-ray analysis (EDXA). This study revealed that by using the HAuCl4 concentration in the AuNP synthesis, the shape and size of the AuNPs could be controlled by the concentration of HAuCl4 and Schisandra chinensis fruit extract as a surfactant. The as-synthesized AuNPs samples had sufficient colloidal stability without noticeable aggregation and showed the predominant growth of the (111) plane of face-centered cubic gold during the crystal growth. The catalytic efficiency of the AuNPs synthesized using Schisandra chenesis fruit extract was examined by monitoring the catalytic reduction of 4-nitrophenol to 4-aminophenol using Ultraviolet-visible spectroscopy (UV-Vis spectroscopy). The synthesized AuNPs showed good catalytic activity to reduce 4-nitrophenol to 4-aminophenol, revealing their practical usefulness.
Journal of the Korea Institute of Military Science and Technology
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v.27
no.5
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pp.588-595
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2024
The performance of a shaped charge bomb depends on the explosive performance, liner precision machining and manufacturing quality. The key performance is how uniformly the liner transforms into a jet. In order to reduce the performance of the shaped charge bomb from a protection point of view, this study investigated the characteristics of the jet formation and progression by inserting inhibitors of different shapes into the liner using flash X-ray experimental analysis techniques. The larger the volume filled inside the liner, the lower the rate of high-speed jet generation, which was well confirmed by experiments. Due to the effect of the inhibitor, it takes a considerable amount of time delay to form a jet after explosion compared to a normal shot, and quantity and mass of jet particles that can contribute to penetration are decreased, and the penetration power is also greatly reduced due to the scattering of segmented jets.
As the use of radiation for medical purposes increases, the exposure dose of medical workers is also increasing. To reduce this dose, various studies on changing the shielding material have been conducted. Recently, a new method to reduce the dose at the entrance of the radiation treatment room was proposed by using the photoelectric effect that occurs when the radiation is scattered. Because this method is particularly effective for low-energy photons, in this study, a slit-type structure was proposed as a excellent shielding structure against scattered x-ray in a general photography room, and was evaluated the shielding effect by Monte Carlo simulation. As a result of the calculation, this study found that in the case of a structure in which steel plates with a thickness of 2 mm and a width of 5 cm are stacked at 2 mm intervals, a shielding effect was approximately 99.9% or more, excluding the heights of the floor and the patient where scattering occurs directly.
Jung, Oh-Jin;Kim, Sam-Hyeok;Cheong, Kyung-Hoon;Li, W.;Saha, S. Ismat
Bulletin of the Korean Chemical Society
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v.24
no.1
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pp.49-54
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2003
TiO₂nanoparticles were synthesized using the metallorganic chemical vapor deposition process. Particles with and without metal ion dopants were obtained. X-ray photoelectron and energy dispersive X-ray spectroscopic measurements confirmed the stoichiometry of the TiO₂nanoparticles. X-ray diffraction patterns showed a polycrystalline anatase structure of TiO₂. Transmission electron microscopy revealed that these particles are of nanoscale dimensions. Exact particle size and size distribution analyses were carried out by dynamic light scattering. The average particle size was determined to be 22 nm. The nanosize particles provided large surface area for photocatalysis and a large number of free surface-charge carriers, which are crucial for the enhancement of photocatalytic activity. To improve the photocatalytic activity, metal ions, including transition metal ions $(Pd^{2+},\;Pt^{4+},\;Fe^{3+})$ and lanthanide ion $(Nd^{3+})$ were added to pure TiO₂nanoparticles. The effects of dopants on photocatalytic kinetics were investigated by the degradation of 2-chlorophenol under an ultraviolet light source. The results showed that the TiO₂nanoparticles with the metal ion dopants have higher photocatalytic activity than undoped TiO₂. The $Nd^{3+}$ ion of these dopant metal ions showed the highest catalytic activity. The difference in the photocatalytic activity with different dopants is related to the different ionic radii of the dopants.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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