본 연구는 일반광원을 이용한 진단용 X선 모의실험장치 개발의 타당성 검토를 위한 예비연구로서 소규모 실험장치를 제작하고 실제로 X선 투사 영상과 같은 영상을 획득할 수 있는지 여부를 확인하였다. 실험장치는 선원부, 로컬라이저, 검출기부분 등 크게 세부분으로 나뉘어졌다. 공간상에 직교좌표계를 설정하고 표적이 놓이는 위치를 원점으로 하였고, 선원에서 빛이 나오면 표적 투과 후 스크린에 영상이 형성되고 스크린 뒤편에서 디지털카메라로 영상기록 후 좌우 반전하였다. 선원으로부터의 거리에 따른 필드크기의 변화, 핀홀 크기에 따른 음영의 발생과 밝기, 좌표를 통한 오차평가 결과 본 연구에서 개발된 실험장치로 X선 모사실험이 가능함을 확인할 수 있었다.
제품의 고성능 사양을 위해 초미소 크기(Nano Size)의 구조를 갖는 제품들이 일상에서 자주 등장한다. 대표 제품은 주변에서 쉽게 접할 수 있는 전자제품의 반도체 칩이다. 반도체 칩 소자 구조는 크기를 줄이는 것 외에도 적층을 통해 소자의 집적도를 높이는 방향으로 진화를 하고 있다. 복잡한 구조로 인해 발생되는 여러 반도체 결함 중에 TSV 결함은 현재 진화하는 반도체 칩의 구조를 대변하는 대표 결함이다. 이 결함을 효율적으로 검출하고 다루기 위해서는 초미소 크기(Nano Size)의 결함을 비파괴적인 방법으로 가시화하고 분석하는 장비가 필요하다. X-ray 시스템은 이러한 요구를 해결하는 훌룡한 한 방법이다. 이 논문에서는 X-ray 시스템의 구성 및 위의 TSV 결함을 검출하고 분석하기 위한 시스템의 특징에 대해 설명을 한다. X-ray 시스템은 크게 X선을 발생시키는 X선튜브와 대상 물체를 투과한 X선을 영상화하는 디텍터, 대상물체의 영상화를 위해 물체를 적절하게 구동시키는 이동장치로 구성되어 있다. 초미소크기(Nano Size)의 결함 검출을 위해서는 X선 튜브, 디텍터, 이동장치에 요구되는 사양의 복잡도, 정밀도는 이러한 시스템의 개발을 어렵게 만든다. 이 논문에서는 이러한 시스템을 개발 시에 시스템 핵심 요소의 특징을 분석한다.
의료에 사용되는 X선 장치는 안정적인 전원이 공급되는 곳에 설치되어 사용되어지는 고정형과 환자가 있는 장소로 이동하여 촬영이 가능한 이동형으로 구분된다. 이동형 X선 장치에 대표적으로 사용되는 모바일 X선 장치는 공간상의 제약을 벗어나 매우 유용하게 사용이 가능하다. 하지만 고전압의 발생이 어려워 X선의 출력이 낮은 주로 손과 발의 촬영에 주로 응용된다. 본 연구에서는 인체의 진단영역에 제한을 가지지 않는 대용량의 모바일 X선 장치를 설계, 제작하여 부하변동에 따른 기기의 동작 특성을 확인하였다.
일부지역의 병원에 설치, 운영되고 있는 진단용 X선 발생장치틀 의원, 병원, 종합병원별로 관 전압, 관 전류/량, 조사기간, 조사선량 성능을 평가하여 측정방법과 기술을 배우고 중요성을 알리고자 한다. 진단용 X선발생장치를 그룹별로 10대씩 총 30대에 대하여 관전류/량, 조사시간측정기를 사용하여, 백분율평균오차로 평가하였고 그에 따른 조사선량의 재현성은 변동계수를 계산하여 평가하였다. 진단용 X선 발생장치 30대 중 부적합한 장치는 관전압정확도 시험에서 5대(16.7%), 관전류정확도시험에서 3대(10,0%), 관전류량정확도 시험에서는 4대(13.3%), 조사시간정확도 시험에서는 5대(16.7%), 조사선량의 재현성 시험에서는 7대(23.3%)로 조사되었다. 진단용 X선 발생장치를 관리규정에 의거하여 성능검사 결과에 의해 성능관리의 심각성을 알 수 있었고, 이에 주기적으로 실시하여야 함은 물론 안전하게 관리함으로써 환자 및 방사선관계종사자에 대하여 방사선으로 인한 방사선 피폭경감, 화질영상관리, 재촬영 감소 둥에 의해 환자에게 양질의 의료서비스를 제공하게 될 것이다. 따라서 정기적인 성능검사가 필요하다고 사료된다.
원통형 장치가 달린 검사대에 눕는다. 검사대가 원통 안으로 이동하면 X선, 혹은 자기장이 발생해 검사를 진행한다. X선을 이용하는 CT검사는 5분남짓, 자기장을 이용하는 MRI검사는 30분 남짓 걸린다. 치료보다는 '진단'을 중시하는 요즘, CT나 MRI는 우리 몸 구석구석을 들여다보고 진단에 도움을 주는 일반적인 검사로 통하고 있다.
환자의 진단에 유용하게 사용되고 있는 X선 장치는 X선을 인체에 조사할 때 나타나는 피폭이 큰 단점으로 지적되고 있으며 ICRP에서는 인체의 방사선 노출 허용량을 제한하고 있다. 이러한 피폭을 줄이기 위해 많은 연구 개발이 진행되고 있다. 본 연구에서는 X선의 발생 효율 증가 및 정밀한 출력 제어가 가능한 인버터 방식의 고전압 발생장치를 제작하였다. 또한 X선관에 인가되는 직류 고전압에 발생 가능한 리플을 최소화하기 위해 전파 정류방식을 적용하였으며, 이를 환자의 진단에 사용하기 위해 조사재현성 및 선질을 평가하였다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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