• 대한전자공학회논문지SP
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• 제47권2호
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• pp.51-60
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• 2010

본 논문에서는 백색광 위상천이 간섭계에서 향상된 3차원 형상 정보를 보다 빠르게 얻을 수 있는 새로운 방법을 제안한다. 백색광 위상천이 간섭계는 초정밀 제품의 형상 측정에 사용되는 유용한 방법이다. 첫째, 가시도 함수를 포함하는 간섭신호로부터 3차원 높이 정보를 신속하게 계산할 수 있는 가시도 유효 검출 구간 설정 방법을 제안한다. 둘째, 기존의 백색광 위상천이 간섭계에서 발생하는 전역 기울어짐 현상을 해결하기 위하여 바닥면 데이터 자동 추출 방법과 이를 이용한 최소 제곱 근사화 기반의 바닥 평변 추정 방법을 제안한다. 셋째, 높이의 변화가 큰 경계영역에서의 형상 왜곡인 bat-wing effect를 제거하기 위한 적응 필터 방법을 제안한다. 실험을 통해 제안하는 방법이 기존의 백색광 위상천이 간섭법의 성능을 보다 향상시킴을 보인다.

• Journal of the Optical Society of Korea
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• 제17권5호
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• pp.415-422
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• 2013

White-light phase-shifting interferometry (WLPSI) is widely recognized as a standard method to measure shapes with high resolution over a long distance. In practical applications, WLPSI, however, is associated with some degree of ambiguity of its phase, which occurs due to a phase delay, which is the offset between the phase of the fringes and the fringe envelope peak position. In this paper, a new algorithm is proposed for the determination of a fringe order suitable for samples in which the phase delay mainly occurs due to noise, diffraction and a steep angle. The concepts of the decouple factor and the connectivity are introduced and a method for calculating the decouple factor and the connectivity is developed. With the phase-unwrapping procedure which considers these values, it is demonstrated that our algorithm determines the correct fringe order. To verify the performance of the algorithm, a simulation was performed with the virtual step height under noise. Some specimens such as step height standard and a column spacer with a steep angle are also measured with a Mirau interference microscope, after which the algorithm is shown to be effective and robust.