• 한국재료학회지
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• 제20권6호
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• pp.338-343
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• 2010

As an alternative to the W plug used in MOSFETs, a Cu plug with a NiSi contact using Ta / TaN as a diffusion barrier is currently being considered. Conventionally, Ni was first deposited and then NiSi was formed, followed by the barrier and Cu deposition. In this study, Ti was employed as a barrier material and simultaneous formation of the NiSi contact and Cu plug / Ti barrier was attempted. Cu(100 nm) / Ti / Ni(20 nm) with varying Ti thicknesses were deposited on a Si substrate and annealed at $4000^{\circ}C$ for 30 min. For comparison, Cu/Ti/NiSi thin films were also formed by the conventional method. Optical Microscopy (OM), Scanning Probe Microscopy (SPM), X-Ray Diffractometry (XRD), and Auger Electron Microscopy (AES) analysis were performed to characterize the inter-diffusion properties. For a Ti interlayer thicker than 50 nm, the NiSi formation was incomplete, although Cu diffusion was inhibited by the Ti barrier. For a Ti thickness of 20 nm and less, an almost stoichiometric NiSi contact along with the Cu plug and Ti barrier layers was formed. The results were comparable to that formed by the conventional method and showed that this alternative process has potential as a formation process for the Cu plug/Ti barrier/NiSi contact system.

• 대한공업교육학회지
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• 제33권2호
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• pp.259-272
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• 2008

목형의 곡면을 수작업으로 제작할 때 많은 경험이 있다 하더라도 정확한 곡면 형상, 좌우대칭 등의 작업에는 상당한 어려움이 따른다. 기계를 사용한 단순한 2차원 목형은 NC 프로그램을 작성하여 간단히 가공할 수 있지만, 복잡한 곡면 형상의 가공은 3차원 CAM s/w, 공구, 재료 등 다양한 변수가 따르기에 축척된 많은 데이터를 필요로 한다. 3차원 곡면 가공 제품 중 제품의 설계 및 디자인 s/w가 다르다면, 데이터의 호환 및 가공 시스템을 구성하기에는 더더욱 어려움이 따른다. 최근 레저에 대한 관심이 증가함에 따라 레저보트 업체에서는 수작업 대신 레저장비에 대한 소비자의 디자인 및 설계제작 요구에 대응하기 위해서 가공 자동화 및 정밀도 향상을 위하여 CAD/CAM 시스템을 이용한 3차원 모델링 및 CNC 공작기계를 사용한 새로운 개념의 플러그 제작 자동화 기술 개발이 필요하게 되었다. 따라서 본 연구는 수작업으로 제작하던 레저보트의 목형을 정밀도와 생산성 향상을 위하여 디자인을 강조한 3차원 디자인 s/w로 디자인하고, 이 디자인 한 데이터를 이용하여 3차원 CAM s/w에서 모델링 한 후, 가공 데이터를 산출하여 정밀가공기계인 머시닝센터로 가공하고자 하는 것이다. 이 연구 결과를 바탕으로 전문계 고교에서도 CAD 및 단순 가공 기술교육에서 벗어나 다양한 디자인으로 된 곡면 가공 수요자의 요구에 대응하기 위한 3차원 모델링과 3차원 정밀 가공 시스템의 교육 및 개발에 도움이 되었으면 한다. 본 연구는 선박의 하단부인 헐(Hull)의 목형인 플러그(plug)를 가공하기 위하여 플러그의 재료, 2차원 도면 형상을 3차원 형상으로의 모델링, 3차원 디자인 모델링, 가공을 위한 CAM, CNC 공작기계를 이용한 가공 기술 등 여러 가지 융합되고 복합적인 기술인 CAD/CAM 시스템을 활용한 모델링 및 플러그 가공 기술을 개발하는 것이다. 학생들에게는 기술개발의 중요성을, 업체에게는 생산성 향상이 주목적이다.

• 동력기계공학회지
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• 제1권1호
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• pp.22-34
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• 1997

Circumstances require improving diesel engine, and many studies have been done in constant volume chamber(CVC). Because the combustion mechanism of a diesel engine has many difficulties with non-homogeneous nature, there has been a limitation to analyzing the combustion mechanism with CVC. Studies are often given in a real engine, but also it has difficulties in modifying configuration of combustion chamber etc. To get more easy way for mote engine-like test, a rapid compression mechanism has been introduced. This study addresses to designing a rapid compression expansion machine(RCEM) driven by compressed air, and to applying it on IDI diesel combustion chamber which has a glow plug. RCEM is introduced first and its characteristics are tested, then spray/combustion characteristics of diesel spray impinging on a glow plug in RCEM combustion chamber are investigated. The results show active combustion in the system employing spray impinging on a glow plug so as to improve combustion efficiency.

• 전자통신동향분석
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• 제27권6호
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• pp.155-164
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• 2012

플러그인 하이브리드카(Plug-in Hybrid Electric Vehicle: PHEV)는 가정이나 건물의 전기를 이용하여 외부에서 충전한 배터리의 전기동력으로 주행하다가 배터리 방전 시 일반 하이브리드카처럼 내연기관 엔진과 배터리의 전기동력을 동시에 사용하여 운행하는 자동차이다. 자동차 업체들은 전기자동차 보급에 가장 큰 걸림돌인 높은 배터리 가격이 낮아진다고 해도 짧은 주행거리 문제가 해결되지 않기 때문에, 대안으로 전원을 직접 연결해 배터리를 충전할 수 있는 플러그인 하이브리드카 개발에 주력하고 있다.

• 한국농업기계학회:학술대회논문집
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• 한국농업기계학회 2005년도 하계 학술대회 논문집
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• pp.241-244
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• 2005

• 유체기계공업학회:학술대회논문집
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• 유체기계공업학회 2000년도 유체기계 연구개발 발표회 논문집
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• pp.259-264
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• 2000

The functions of the plug valve are the control of flow rate as well closing and opening pipe lines. Analyses on the flow characteristics in plug valve port are required to improve the performance and safety at severe operating conditions such as high-pressure and high-temperature. In this study, numerical analyses are carried out with varying the opening rate (fraction of the full open to close) of the valve and the shapes of valve Uk: straight, convex, concave and mixed shapes. The parameters influencing the flow characteristics in the valve are the discharge coefficient( $C_v$) and the resistance coefficient( K). Therefore, the distributions of static pressure, velocity vector and stream lines are investigated, and $C_v$ and K are calculated in each opening rate and shape. In case of full open, the static pressure passed through the valve port has almost been recovered. However, in case of other opening rates, the pressure does not permanently regained due to pressure drop leading to loss. This phenomenon in each shape of the valve shows the different behaviors. Calculation results show that the mixed shape has the best flow attribute.

• International Journal of Precision Engineering and Manufacturing
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• 제6권4호
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• pp.8-13
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• 2005

Interoperability has been the problem of CAD/CAM systems. Starting from 1980's, national and international organizations have addressed the issue through development and release of standards for the exchange of geometric and nongeometric design data. To CAD/CAM vendors, the task of interpreting and implementing these standards falls into their products. This task is a balancing action between users' needs, available development resources, and the technical specifications of standards. This paper explores an area of CAD/CAM systems development, particularly the implementation of the effective exchange files translators'. A new approach is introduced, which proposes to enclose all the translation operations concerning each exchange format to a separate DLL, thus making a 'plug-in.' Then, this plug-in could be used together with the CAD/CAM system or with specialized translation software. This approach allows to create new translators rapidly and to gain the reliable, high-efficiency, and reusable program code. The second part of the paper concerns the possible problems of translators' development. These difficulties often come from the exchange standards' misunderstanding or ambiguity in standards. All examples come from the authors' practice experiences of dealing with CAD/CAM systems.

• 한국표면공학회:학술대회논문집
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• 한국표면공학회 2015년도 추계학술대회 논문집
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• pp.203-203
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• 2015

반도체 제조 공정 중에 CMP(Chemical Mechanical Planarization)는 디바이스의 집적도(degree of integration)에 크게 영향을 미치고 있으므로, 20nm급 이하의 디바이스에서 CMP 공정 안정화는 양질의 소자 특성을 확보하기 위해서는 시급한 문제가 되고 있다. CMP 공정 안정화를 위해서는 여러 가지 해결되어야 할 문제가 있는데, 그 중에서도 W plug 연마 공정 중에 관찰되고 있는 W missing은 전기 배선의 신뢰성에 직접 영향을 주고 있으므로 공정 엔지니어에게는 도전적인 과제이다. 본 연구에서는 W missing 현상을 전기화학적인 입장에서 해석하고 몇 가지 해결책을 제기하고자 한다.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2008년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.989-990
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• 2008

• 한국재료학회:학술대회논문집
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• 한국재료학회 1997년도 한국재료학회 춘계학술발표회
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• pp.18-18
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• 1997