ULSI용 저저항 텅스텐 및 텅스텐질화박막의 특성
(Characteristics of low rsistive W and $W_{2}N$ thin films for ULSI)
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- 한국재료학회:학술대회논문집
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- 한국재료학회 1992년도 춘계학술발표회
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- pp.147-148
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- 1992