• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2013년도 제44회 동계 정기학술대회 초록집
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• pp.386-386
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• 2013

반도체 소자의 소형화, 고집적화로 박막의 다층화 및 선폭의 감소 등의 복잡한 제조 공정이 불가피하고, 따라서 공정 중 실리콘 웨이퍼와 금속 박막사이의 확산을 방지하기 위한 많은 연구가 이루어지고 있다. 하지만 현재까지의 연구는 확산방지막의 nano-mechanics 특성 분석에 대한 연구는 전무하다. 본 논문에서 tungsten (W)을 주 물질로, nitrogen (N)을 첨가한 확산방지막을 질소 유량을 2.5, 5, 7.5, 10 sccm으로 변화시켜가면서 rf magnetron sputter 방법으로 tungsten-nitride (W-N) 박막을 증착하였다. 박막의 기본 물성인 증착율, 비저항 및 결정학적 특성을 ${\beta}$-ray, 4-point probe, X-ray diffraction (XRD)를 이용하여 측정하였고, 측정결과 증착 중 질소 유량이 증가할수록 W-N 박막의 비저항은 증가하였고 반대로 증착율과 결정성은 감소하였다. 이는 기존의 연구 결과와 비교하여 일치한 결과로 증착된 박막이 신뢰성을 가짐을 확인하였다. 이후 가장 관심사인 nano-mechanics 특성은 nano-indenter를 이용하여 측정하였다. 측정 결과 시료는 증착 중 질소 유량이 2.5 sccm인 시료를 기준으로 5 sccm 포함된 박막에서 load force-depth 그래프가 급격히 변화하는 경향을 나타내었고, 표면강도(surface hardness)는 10.07 GPa에서 15.55 GPa로 증가하였다. 이후 질소 유량이 7.5 sccm과 10 sccm에서는 12.65 GPa와 12.77 GPa로 질소 유량이 5 sccm 포함된 박막보다 상대적으로 감소하였다. 이는 박막내 결정상으로 존재하는 질소와 비정질 상태로 존재하는 질소의 비율에 의한 것이고, 압축력에 기인하는 스트레스 증가로 판단된다.

• Journal of Nutrition and Health
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• 제23권6호
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• pp.408-417
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• 1990

Sprague Dawley 종 수컷쥐(체중 약 450kg) 48마리를 3군으로 나누어 종류가 다른 불포화지방산으로 구성된 실험식이를 6주간 투여하였다. 이때 지방을 15%(W/W)로, 불포화지방산인 n6 linoleic acid의 급원으로는 옥수수기름, n3 $\alpha$-linolenic acid의 급원으로는 들기름, n3 EPA와 DHA의 급원으로는 생선유를 투여하되, 포화지방산과 monoenoic acid의 총량을 거의 같게 공급하여 불포화지방산의 영향만을 관찰할 수 있도록 하였다. 어유를 투여한 군의 cholesterol과 HDL-chol양은 옥수수기름과 들기름을 투여한 군에 비해 유의성있게 낮았으며, 불포화지방산의 혈장 cholesterol을 저하시키는 능력은 n3 EPA+n3계 불포화지방산군인 어유와 들기름군이 n6계 불포화지방산군인 옥수수기름군에 비해 유의성있게 더 컸다. Lipoprotein의 상대적인 함량은 식이 불포화지방산의 종류에 의해 영향을 받지 않았으며, 혈장과 적혈구 및 간의 토로페롤 수준은 유사한 수준이었으며 과산화산물 활성은 지방산의 불포화도 정도에 비례하여 증가되었으며 SOD활성의 증가로 인해 간조직의 과산화물의 수준이 감소되었다.

• Journal of Microbiology and Biotechnology
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• 제8권2호
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• pp.119-123
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• 1998

The feasibility of using combined treatments of electric field and chemical mutagen N-methyl-N'-nitro-N-nitroso-guanidine (NTG) for the strain improvement of Saccharomyces sp. in ethanol production was examined. The treatment of electric field alone resulted in no effect on the lethality of yeast cells under the conditions of this study. However, when the electric field was applied together to the treatment of yeast cells with NTG, the electric field increased the lethal effect and auxotrophic mutation rate of NTG. The combined treatment of electric field and NTG also increased the chances of. obtaining superior yeast strains for the ethanol production from tapioca. A higher number of improved clones was obtained by the combined treatments of electric field and NTG than by the NTG treatment alone. The best clone, NF 30-9, which was also obtained by the combined treatment, produced $11.07\%$ (w/v) ethanol from tapioca slurry containing 25% (w/v) reducing sugar while the parental strain produced 9.77% (w/v).

• 화약ㆍ발파
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• 제9권1호
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• pp.3-13
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• 1991

발파에 의한 지반진동의 크기는 화약류의 종류에 따른 화약의 특성, 장약량, 기폭방법, 전새의 상태와 화약의 장전밀도, 자유면의 수, 폭원과 측간의 거리 및 지질조건 등에 따라 다르지만 지질 및 발파조건이 동일한 경우 특히 측점으로부터 발파지점 까지의 거리와 지발당 최대장약량 (W)간에 깊은 함수관계가 있음이 밝혀졌다. 즉 발파진동식은 $V=K{\cdot}(\frac{D}{W^b})^n{\;}{\cdots\cdots\cdots\cdots\cdots\cdots\cdots\cdots\cdots\cdots\cdots}$ (1) 여기서 V ; 진동속도, cm /sec D ; 폭원으로부터의 거리, m W ; 지발 장약량, kg K ; 발파진동 상수 b ; 장약지수 R ; 감쇠지수 이 발파진동식에서 b=1/2인 경우 즉 $D{\;}/{\;}\sqrt{W}$를 자승근 환산거리(Root scaled distance), $b=\frac{1}{3}$인 경우 즉 $D{\;}/{\;}\sqrt[3]{W}$를 입방근환산거리(Cube root scaled distance)라 한다. 이 장약 및 감쇠지수와 발파진동 상수를 구하기 위하여 임의거리와 장약량에 대한 진동치를 측정, 중회귀분석(Multiple regressional analysis)에 의해 일반식을 유도하고 Root scaling과 Cube root scaling에 대한 회귀선(regression line)을 구하여 회귀선에 대한 적합도가 높은 쪽을 택하여 비교, 검토하였다. 위 (1)식의 양변에 log를 취하여 linear form(직선형)으로 바꾸어 쓰면 (2)式과 같다. log V=A+BlogD+ClogW ----- (2) 여기서, A=log K B=-n C=bn (2)식은 다시 (3)식으로 표시할 수 있다. $Yi=A+BXi_{1}+CXi_{2}+{\varepsilon}i{\;}{\cdots\cdots\cdots\cdots\cdots\cdots\cdots\cdots\cdots\cdots\cdots}$(3) 여기서, $Xi_{1},{\;}Xi_{2} ;(두 독립변수 logD, logW의 i번째 측정치. Yi ; ($Xi_1,{\;}Xi_2$)에 대한 logV의 측정치 ${\varepsilon}i$ ; error term 이다. (3)식에서 n개의 자료를 (2)식의 회귀평면으로 대표시키기 위해서는 $S={\sum}^n_{i=1}\{Yi-(A+BXi_{1}+CXi_{2})\}\^2$을 최소로하는 A, B, C 값을 구하면 된다. 이 방법을 최소자승법이 라 하며 S를 최소로 하는 A, B, C의 값은 (4)식으로 표시한다. $\frac{{\partial}S}{{\partial}A}=0,{\;}\frac{{\partial}S}{{\partial}B}=0,{\;}\frac{{\partial}S}{{\partial}C}=0{\;}{\cdots\cdots\cdots\cdots\cdots\cdots\cdots\cdots\cdots\cdots\cdots}$ (4) 위식을 Matrix form으로 간단히 나타내면 식(5)와 같다. [equation omitted] (5) 자료가 많아 계산과정이 복잡해져서 본실험의 정자료들은 전산기를 사용하여 처리하였다. root scaling과 Cube root scaling의 경우 각각 $logV=A+B(logD-\frac{1}{2}W){\;}logV=A+B(logD-\frac{1}{3}W){\;}\}{\;}{\cdots\cdots\cdots\cdots\cdots\cdots\cdots\cdots\cdots}$ (6) 으로 (2)식의 특별한 형태이며 log-log 좌표에서 직선으로 표시되고 이때 A는 절편, B는 기울기를 나타낸다. $\bullet$ 측정치의 검토 본 자료의 특성을 비교, 검토하기 위하여 지금까지 발표된 국내의 몇몇 자료를 보면 다음과 같다. 물론, 장약량, 폭원으로 부터의 거리등이 상이하지만 대체적인 경향성을 추정하는데 참고할수 있을 것이다. 금반 총실측자료는 총 88개이지만 환산거리(5.D)와 진동속도의 크기와의 관계에서 차이를 보이고 있어 편선상 폭원과 측점지점간의 거리에 따라 l00m말만인 A지역과 l00m이상인B지역으로 구분하였다. 한편 A지역의 자료 56개중, 상하로 편차가 큰 19개를 제외한 37개자료와 B지역의 29개중 2개를 낙외한 27개(88개 자료중 거리표시가 안된 12월 1일의 자료3개는 원래부터 제외)의 자료를 computer로 처리하여 얻은 발파진동식은 다음과 같다. $V=41(D{\;}/{\;}\sqrt[3]{W})^{-1.41}{\;}{\cdots\cdots\cdots\cdots\cdots\cdots\cdots\cdots\cdots}$ (7) (-100m)(R=0.69) $V=124(D{\;}/{\;}\sqrt[3]{W})^{-1.66){\;}{\cdots\cdots\cdots\cdots\cdots\cdots\cdots\cdots\cdots}$ (8) (+100m)(R=0.782) 식(7) 및 (8)에서 R은 구한 직선식의 적합도를 나타내는 상관계수로 R=1인때는 모든 측정자료가 하나의 직선상에 표시됨을 의미하며 그 값이 낮을수록 자료가 분산됨을 뜻한다. 본 보고에서는 상관계수가 자승근거리때 보다는 입방근일때가 더 높기 때문에 발파진동식을 입방근($D{\;}/{\;}\sqrt[3]{W}$)으로 표시하였다. 특히 A지역에서는 R=0.69인데 비하여 폭원과 측점지점간의 거리가 l00m 이상으로 A지역보다 멀리 떨어진 B지역에서는 R=0.782로 비교적 높은 값을 보이는 것은 진동성분중 고주파성분의 상당량이 감쇠를 당하기 때문으로 생각된다.

• 대한수학회보
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• 제34권3호
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• pp.483-489
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• 1997

The $W^\phi$-spaces generalizing the $W^p$-spaces due to Pathak and Upadhyay are investigated and the Fourier transformations on these spaces are continuous.

• 한국전자파학회논문지
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• 제22권12호
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• pp.1139-1147
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• 2011

본 논문에서는 S대역 400 MHz 대역폭을 갖는 능동 배열 위상레이더 시스템에 적용 가능한 GaN 반도체 전력 증폭기의 설계 및 제작 측정에 관해 소개하였다. GaN 팔레트 증폭 소자를 ${\lambda}$/4 입출력 차이를 둔 결합기를 이용하여 고출력 증폭기를 구현하였고, Suspended 형태의 고출력용 저손실 결합기와 개구면을 이용한 스트립라인 간의 커플러를 사용하여 자동 이득 제어(ALC) 기능을 가지는 고출력, 고효율의 반도체 전력증폭기를 구현하였다. 제작된 반도체 전력증폭기는 자동 이득 제어 미적용 시 최대 출력 5 kW, 효율 27.8 %, 이득 67 dB 특성을 가지며, 자동 이득 제어 적용 시 출력 4 kW, 효율 25.5 %와 duty 10 %, 최장 펄스 200 us에서 droop 0.1 dB 특성을 갖는다.

• 한국추진공학회지
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• 제3권1호
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• pp.78-85
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• 1999

복기 추진제인 N-5 추진제에 4종의 금속선(Ag, Cu, Al, Ni-Cr선)을 삽입하여 연소 특성을 고찰하여 보았다. 금속선이 삽입된 복기 추진제의 연소속도 증가비($r_w$/$r_sb$)는 Ag선 > Cu선 > Al선 > Ni-Cr선의 순으로서 금속선의 열확산 계수의 크기 순과 일치하였다. 금속선을 삽입한 N-5추진제의 $r_w$/$r_sb$는 단열 불꽃 온도와 구조의 차이에 의하여 혼합형 추진제보다 작게 나타났다. 복기 추진제에 열확산 계수가 비교적 큰 Ag, Cu, Al선을 삽입한 경우, 금속선이 삽입되지 않은 추진제에서 나타난 plateau와 mesa 연소 특성이 사라진 반면 열확산 계수가 작은 Ni-Cr선을 삽입한 경우에서는 plateau와 mesa 연소 특성이 그대로 존재했다.

• 한국산업보건학회지
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• 제27권2호
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• pp.123-129
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• 2017

Objectives: The purpose of this study is to enhance the application of analytical method of polar solvents(alcohols) by GCOTC (gas chromatography open tubular column) through the system suitability test(SST) to estimate the whole chromatographic system performance(integral part). Methods: To perform the SST, carried out repeatability(n=6) as analytical method of polar solvents by GCOTC, got the retention time($t_R$), standard deviation(${\sigma}_{n-1}$) of $t_R$, baseline width($w_b=4{\sigma}_{n-1}$) and calculated dead time($t_m$) by $v_m=d^2{\pi}L(f/4)$ and $v_m=t_m$ x flow rate. Results: In this experiment, obtained the basic data, there were $t_m=2$ min, methanol($t_R=3.569$, ${\sigma}_{n-1}=0.01$, $w_b=0.04$), ethanol ($t_R=3.892$, ${\sigma}_{n-1}=0.004$, $w_b=0.016$), isopropanol($t_R=4.209$, ${\sigma}_{n-1}=0.004$, $w_b=0.016$). By using these data, calculated the corrected retention time($t_R{^{\prime}}$), capacity factor(k), separation factor(${\alpha}$), number of theoretical plate(n) and resolution($R_s$) for SST and got the good results. Conclusions: Through the SST, could reconfirm the whole chromatographic performance system(integral part) for analytical method of polar solvents by GCOTC. Therefore, this analytical method expect to be widely applied at the related areas.

• 센서학회지
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• 제8권3호
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• pp.291-297
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• 1999

텅스텐 박막의 RIE 플라즈마 에칭공정에서 에칭속도는 $SF_6$와 $N_2$ 가스와의 상대적인 비와 공정 변수들에 매우 민감하게 의존함을 알았다. 질소 첨가효과와 텅스텐 박막/PR과의 에칭 선택비에 관련된 애칭 profile 결과를 SEM 사진으로 나타내었다. $SF_6-N_2$ 가스 에칭 후 텅스텐 막 표면에 잔존하는 화합물을 XPS를 이용하여 그 종류와 화학적 결합상태를 조사하고, 남아있는 F 이온들은 플라즈마가 켜져 있는 상태에서 OES를 이용하여 측정함으로써 정확한 에칭 메커니즘을 규명하고자 하였다.

• Journal of Nutrition and Health
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• 제26권5호
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• pp.566-577
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• 1993

The study was to compare the effect of dietary fatty acids on fatty acid profile in tissue and the status of tocopherol and lipid peroxidation, and superoxide dismutase and glutathione peroxidase activities at two fat levels. Male Sprague Dawley rats weighing average 350g(17 weeks) were fed either low fat(LF, 4.3% w/w, 10% kcal) or high fat(HF, 20.8%, w/w, 40% kcal)diet for 6 weeks. The fats used were beef tallow as a source of saturated fatty acid, corn oil for n-6 linoleic acid, perilla oil for n-3 $\alpha$-linolenic acid and fish oil for n-3 eiocosapentatenoic acid(EPA) and n-3 docosahexaenoic acid(DHA). Palsma tocopherol was significantly reduced by fish oil compared to beef tallow at body fat level. However, there was no significant effect on the levels of plasma MDA, RBC MDA and tocopherol, and RBC hempolysis by the type and amount of dietary fat. The peroxidizibility index of fatty acid profile in plasma and liver was increased and liver MDA level was significantly increased by fish oil when dietary fat level was increased. The activities of SOD and GSHPx tended to be increased by perilla oil and fish oil at both fat oil significantly reduced the incorpration of c20:4 and increased the incorporation of c20:5 into liver compared to corn oil. The incorporation of n-3 fatty acids into tissue by perilla oil rich in $\alpha$-linolenic acid was significantly higher tan corn oil and its effect was improved with higher amount of perilla oil in diet by high fat diet. Overall, the lipid peroxidation of tissue could be prevented by tocopherol supplementation when dietary fat level was low in diet. However, at high fat diet, tocopherol supplementation might not be enough to prevent the lipid peroxidation in tissue since the potential for lipid peroxidation was tended to be increased with higher incorporation of higher unsaturated n-3 fatty acids into tissue. Therefore, it could not be recommended to consume large amount of fish oil even with excess amount of tocopherol supplemented to the high fat diet.