Fabrication of a Micro Actuator with p$^+$ Si Cantilevers for Optical Devices
(p$^+$ Si 외팔보 구조를 이용한 광학 소자용 마이크로 구동기의 제작)
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- The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers C
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- v.50 no.5
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- pp.249-252
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- 2001