대향전극 스파트링 시스템의 방전특성과 $Al_{N}$ 박막형성에 관한 연구
(A study on the Discharge Characteristics of Facing Targets Sputtering Systems and Fabrications of $Al_{N}$ Thin Films)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 1994년도 춘계학술대회 논문집
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- pp.71-73
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- 1994