• 제목/요약/키워드: Vapor-SAM

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혼합소스 HVPE 방법에 의한 전력 반도체 소자용 p형 AlN 에피층 성장 (p-Type AlN epilayer growth for power semiconductor device by mixed-source HVPE method)

  • 이강석;김경화;김상우;전인준;안형수;양민;이삼녕;조채용;김석환
    • 한국결정성장학회지
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    • 제29권3호
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    • pp.83-90
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    • 2019
  • 본 논문에서는 전력 반도체 소자용 Mg-doped AlN 에피층을 혼합 소스 수소화물 기상 에피택시 방법에 의해 성장하였다. p형 재료로는 Mg을 사용하였다. 소자응용을 위한 기초 기판으로서 역할을 하기 위하여 GaN 에피층이 성장된 기판과 GaN 에피층이 성장되어 패턴이 형성된 사파이어 기판 위에 Mg-doped AlN 에피층을 선택 성장하였다. Mg-doped AlN 에피층의 표면과 결정 구조는 FE-SEM 및 HR-XRD에 의해 조사하였다. XPS 스펙트럼과 라만 스펙트럼 결과로부터 혼합소스 HVPE 방법에 의해 성장된 Mg-doped AlN 에피층은 전력소자 등에 응용이 가능할 것으로 판단된다.

혼합소스 HVPE 방법에 의해 성장된 육각형 Si 결정 (Hexagonal shape Si crystal grown by mixed-source HVPE method)

  • 이강석;김경화;박정현;김소윤;이하영;안형수;이재학;전영태;양민;이삼녕;전인준;조채용;김석환
    • 한국결정성장학회지
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    • 제31권3호
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    • pp.103-111
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    • 2021
  • 고체 재료인 Si, Al 그리고 Ga을 혼합하는 혼합소스 수소화물기상 방법에 의해 육각형 Si 결정을 성장하였다. 새로 고안된 상압의 혼합소스 수소화물기상 방법에서는 1200℃의 고온에서 GaCln, AlCln 그리고 SiCln 가스 사이의 상호작용에 의해 핵이 형성된다. 또한 Si과 HCl 가스의 급격한 반응에 의해 높은 분압을 가진 전구 기체를 발생시키는 구조로 설계 되었다. 주사 전자 현미경(FE-SEM), 에너지 분산형 X-선 분광법(EDS), 고해상도 X-선 회절(HR-XRD) 그리고 라만 스펙트럼을 통하여 육각형 Si 결정의 특성을 확인하였으며, Si 산업 분야에서 새로운 소재로서 응용성이 기대된다.

혼합 소스 HVPE 방법에 의한 4H-SiC 기판 위의 육각형 Si 에피층 성장 (Growth of hexagonal Si epilayer on 4H-SiC substrate by mixed-source HVPE method)

  • 김경화;박선우;문수현;안형수;이재학;양민;전영태;이삼녕;이원재;구상모;김석환
    • 한국결정성장학회지
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    • 제33권2호
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    • pp.45-53
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    • 2023
  • 4H-SiC 기판 위의 Si 성장은 전력 반도체, 바이폴라 접합 트랜지스터 및 광전자 공학에서 매우 유용한 재료로서 광범위한 응용 분야를 가지고 있다. 그러나 Si와 4H-SiC 사이에 약 20 %의 격자 불일치로 인해 4H-SiC에서 매우 양질의 결정 Si를 성장시키는 것은 상당히 어렵다. 본 논문에서는 혼합 소스 수소화물 기상 에피택시 방법을 이용하여 4H-SiC 기판에서 성장한 Al 관련 나노 구조체 클러스터에 의한 육각형 Si 에피층의 성장을 보고한다. 4H-SiC 기판 위에 육각형 Si 에피층을 성장시키기 위해 먼저 Al 관련 나노 구조체 클러스터가 형성되고 Si 원자를 흡수하여 육각형 Si 에피층이 형성되는 과정을 관찰하였다. Al 관련 나노 구조체 클러스터와 육각형 Si 에피층에 대하여 FE-SEM 및 라만 스펙트럼 결과로부터 육각형 Si 에피층은 일반적인 입방정계 Si 구조와 다른 특성을 가지는 것으로 판단된다.

불화수소에 대한 사고대응 정보시트 개발 (Development of Accident Response Information Sheets for Hydrogen Fluoride)

  • 윤영삼;박연신;김기준;조문식;황동건;윤준헌;최경희
    • 한국위험물학회지
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    • 제2권1호
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    • pp.18-26
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    • 2014
  • We analyzed the demand of competent authorities requiring adequate technical information for initial investigation of chemical accidents. Reflecting technical reports on chemical accident response by environmental agencies in the U.S. and Canada, we presented information on environmental diffusion and toxic effects available for the first chemical accident response. Hydrogen fluoride may have the risk potential to corrode metals and cause serious burns and eye damages. In case of inhalation or intake, it could have severe health effects. The substance itself is inflammable, but once heated, it decomposes producing corrosive and toxic fume. In case of contact with water, it can produce toxic, corrosive, flammable or explosive gases and its solution, a strong acid, may react fiercely with a base. In case of hydrogen fluoride leak, the preventive measures are to decrease steam generation in exposed sites, prevent the transfer of vapor cloud and promptly respond using inflammable substances including calcium carbonate, sodium bicarbonate, ground limestone, dried soil, dry sand, vermiculite, fly ash and powder cement. The method for fire fighting is to suppress fire with manless hose stanchions or monitor nozzles by wearing the whole body protective clothing equipped with over-pressure self-contained breathing apparatus from distance. In case of transport accident accompanied with fire, evacuation distance is 1,600m radius. In cae of fire, fire suppression needs to be performed using dry chemicals, CO2, water spray, water fog, and alcohol-resistance foam, etc. The major symptoms by exposure route are dyspnoea, bronchitis, chemical pneumonia and pulmonary edema for respiration, skin laceration, dermatitis, burn, frostbite and erythema for eyes, and nausea, diarrhea, stomachache, and tissue destruction for digestive organs. In atmosphere, its persistency is low, and its bioaccumulation in aquatic organism is also low.

중의잡지(中醫雜誌)에 보고(報告)된 Alzheimer형(型) 치매에 대(對)한 고찰(考察) (A Study on Dementia Alzheimer's type published to chinese magazine)

  • 채종걸;이상룡
    • 혜화의학회지
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    • 제10권1호
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    • pp.453-469
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    • 2001
  • This study attempted to analyze the contents of the research papers concerning the diagnosis and treatment of Alzheimer-type dementia presented in the magazine of Chinese Medicine published in China over the period between 1998 and 2000. As a result, the following conclusion was drawn: 1. The Chinese medical category of Alzheimer-type dementia includes amnesia, dementia, stupidity, depression symptom complex, insanity and the like and uses the as the criterion for diagnosis and treatment effect evaluation. 2. The clinical symptoms of Alzheimer-type dementia include lowered intelligence, deterioration of memory, understanding and judgemental power, retardation of the reaction, emotional changes, character changes, behavioral changes and the like and are divided into mild, medium and serious according to the degree of symptom. 3. From the perspective of Bon-Heo-Pyo-Shil(state of deficient vital essence and excessive pestilential vapor), the pattern of Byun-Sung(identification) is divided into deficiency symptom complex, excessive symptom complex and indiscernible fullness and emptiness. The deficiency symptom complex includes deficiency of the liver and kidney, deficiency of essence of the kidney, deficiency of the reservoir of marrow and the like. The excessive symptom complex includes internally blocked stagnant blood, blocking of the passageway due to turbid phlegm, blood stasis due to stagnation of chi, and the like. The indiscernible fullness and emptiness symptom complex includes the deficiency of essence of kidney, blocking of the passageway due to stagnant phlegm, blood stasis due to the deficiency of kidney, blood stasis due to the deficiency of heart and the like. 4. The therapeutics and' prescription of Alzheimer-type dementia include the following: Bo-Shin-Ik-Su-Tang for tonifying the kidney, replenishing the marrow and plugging the essence; Ki-Guk-Ji-Hwang-Hwan-Ga-mi for reinforcing the vital essence of the liver and kidney; Kwi-Bi-Tang-Hap-Yang-Shim-Tang for invigorating the functioning of the spleen and nourishing the heart; Hyel-Bu-Chuk-Eo-Tang-Ga-Mi for activating the blood and resolving the stagnancy of the blood; Bo-Yang-Hwan-Oh-Tang for replenishing chi, activating the blood and resolving the stagnancy of the blood; Beoh-Kwang-Mong-Sung-Tang for invigorating the functioning of the spleen, replenishing the kidney, resolving the phlegm and enlivening the brain; n-Dam-Tang-Ga-Mi for invigorating the functioning of the spleen, replenishing chi, and removing the phlegm and unclogging the passageway); Se-Shim-Tang-Ga-Mi for removing the stagnancy of the liver and resolving the phlegm; and the like. 5. The research papers on, the medication cases of Alzheimer-type dementia understand the pathology of Alzheimer-type dementia from a consistent perspective. They view the pathology of Alzheimer-type dementia as the disease of Bon-Heo-Pyo-Shil(state of deficient vital essence and excessive pestilential vapor) with the combination of the deficiency of essence of the kidney, the deficiency of the brain marrow, blood stasis and blocked phlegm and the like and recommend the prescription of using Bo and Sa simultaneously for treating Alzheimer-type dementia. 6. The research papers on the medication cases of Alzheimer-type dementia reported that the use of creative prescriptions such as Si-Sam-Hang-Ji-Tang, Ji-Yung-Tang, Ka-Mi-Yunh-Ji-Hwan, Ja-Sin-Hwal-Hyel-Tang, Kal-Chang-Ik-Ji-Tang, Ho-Su-Bok-Ji-Tang, Kun-Noe-Ok-Ji-Hap-Je and the like led to the average high efficacy of 85.5%.

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흰점박이꽃무지(Protaetia brevitarsis)의 식품원료화를 위한 전처리 조건 확립 (Pre-treatment of the White-Spotted Flower Chafer (Protaetia brevitarsis) as an Ingredient for Novel Foods)

  • 권은영;유정미;윤영일;황재삼;구태원;김미애;최영철;윤은영
    • 한국식품영양과학회지
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    • 제42권3호
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    • pp.397-402
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    • 2013
  • 본 연구에서는 흰점박이꽃무지를 식품원료화 하기 위한 전처리 조건을 설정하기 위해 세포독성, 이취감소 및 살균조건을 확립하였다. 유충에 살균 후 공급되는 세 가지 사료(참나무톱밥, 볏짚, 목초) 중에서 참나무톱밥을 공급하여 사육한 유충의 분말이 세포독성이 없었고, 유충의 발육단계를 크게 3령 유충, 용화직전 번데기, 번데기로 구분지은 후 각각의 분말이 가지는 세포독성 유무를 확인한 결과에서 세포독성은 나타나지 않았다. 세포독성 검사 결과를 토대로 식품원료화하기 위한 유충의 표준사료는 세포독성이 전혀 나타나지 않고 전국 사육농가 중 가장 많이 이용하고 있는 발효 참나무 톱밥을 표준사료로 선정하였다. 흰점박이꽃무지의 분말 전처리 조건으로 증기로 5분 동안 살균처리를 통해 사료 내의 미생물을 제거한 참나무톱밥을 급여하고 3일간 절식상태로 배변유도 후, 중장에 존재하는 내용물의 잔여도가 현저히 감소됨을 확인하였다. 또한 관능평가를 통해 3일간의 배변된 유충의 장 내용물의 잔여물이 감소함으로써 유충이 가지는 고유한 이취와 색깔이 눈에 띄게 개선되는 효과를 확인할 수 있었다. 배변 유도된 유충을 $115^{\circ}C$, $0.9kgf/cm^3$의 고온고압멸균을 5분간 실시한 후 동결건조 한 분말에서 세균 및 진균을 포함하는 미생물이 완전히 제거됨으로서 식품원료로서의 안전성을 확보할 수 있었다.

식약용으로의 장수풍뎅이 유충 전처리 방법에 대한 연구 (Establishment of Food Processing Methods for Larvae of Allomyrina dichotoma, Korean Horn Beetle)

  • 정미연;권은영;황재삼;구태원;윤은영
    • 생명과학회지
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    • 제23권3호
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    • pp.426-431
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    • 2013
  • 본 연구에서는 장수풍뎅이 유충의 식품원료화를 위한 전처리 조건을 설정하기 위해 세포독성을 평가하고 특유의 이취감소 및 살균조건을 확립하였다. 분말 전처리 조건으로 수증기로 5분, 10분, 20분, 30분 동안 수증기로 멸균한 버섯폐목에 대한 미생물 검사 결과, 5분 이상 수증기로 멸균한 버섯폐목사료에 대해 미생물이 전혀 검출되지 않았다. 또한 수증기로 5분간 멸균한 사료로 사육한 장수풍뎅이 유충을 $115^{\circ}C$, 0.9 $kgf/cm^2$, $121^{\circ}C$, 1.3 $kgf/cm^2$의 고온고압 멸균기 멸균하여 동결건조한 분말을 분쇄기로 분쇄하여 분말을 제조하였으며 이에 대한 미생물 검사를 실시한 결과, 모든 그룹에서 미생물이 전혀 검출되지 않았다. 이로써 5분간 살균한 사료로 사육한 장수풍뎅이 유충을 $115^{\circ}C$, 0.9 $kgf/cm^2$으로 멸균하여 식품화 원료로 사용하기에 적합하다고 판단하였다. 그러나 이들 분말시료에서 나는 고유의 이취는 소비자의 기호도를 감소시킬 수 있는 중요한 원인이 될 수 있다고 판단되어 먹이공급중단을 통한 장내 이물질 제거를 유도하였으나 1일~10일까지의 먹이공급중단에 따른 장내 배설물의 정도가 눈에 띠게 감소하지 않고 5일 이상의 먹이공급중단에 따른 생존율이 감소함이 관찰되었다. 따라서 절식을 통한 장내 배변촉진이 효과적이지 않음을 확인하였으며 이에 소화촉진 및 이취제거에 효과적이라 사료되는 식품들(무, 양파, 양배추, 발효쌀겨, 밀가루)을 공급하여 5일간 배변 활동을 유도한 결과 먹이의 차이는 배변유도에 영향을 미치지 않음을 확인 할 수 있었다. 이에 배변유도에 따른 이취감소가 아닌 대체 먹이 사육 및 절식에 따른 후각 및 시각에 대한 관능평가를 실시한 결과 경제성과 편리성을 고려하였을 때 1일 절식 후 배변 유도한 유충 건조물이 식품을 위한 전처리 조건에 가장 적합할 것이라고 판단되었다. 또한 멸균한 사료로 사육한 장수풍뎅이 유충의 세포독성을 평가한 결과 1,000 ${\mu}g/ml$의 고농도에서 세포독성이 없음을 확인하였다. 이로써 본 연구에서 1일간 절식 후 배변 유도한 유충 건조물이 식품을 위한 전처리 조건에 가장 적합할 것이라고 판단되며 장수풍뎅이 유충의 전처리 조건설정을 통한 식품원료로서의 안전성을 확보하고 경제적 산업적 측면에서의 활용이 가능할 것이라고 사료된다.