단결정$(Al_2O_3)$ 성장 노(爐)의 온도 조절용 GAS압력 제어기의 구현
(The Embodiment of GAS Pressure Controller for Temperature Control of Sing Crystal $(Al_2O_3)$ Growing Furnace)
-
- 한국산학기술학회논문지
- /
- 제8권2호
- /
- pp.207-211
- /
- 2007