• 한국진공학회지
• /
• 제10권1호
• /
• pp.1-9
• /
• 2001

터보분자펌프의 배기성능은 회전자가 돌고 있을 때 순방향과 역방향으로의 배기속도(통과확률$\times$입구컨덕턴스) 및 두 방향으로의 기체 유량(배기속도$\times$입구 압력)의 상호관계에 의해 영향을 받는다. 펌프의 성능을 나타내는 가장 중요한 항목인 배기속도는 순유량, 즉 반대 방향으로의 유량의 차이를 흡기구 압력으로 나누어준 것이며, 최대압축비는 순방향 배기속도를 역방향 배기속도로 나누어준 것이다. 이들 방향성 고유특성은 서로 영향을 미치고 있으며 양쪽 입구 압력 모두의 함수이므로 관련 요소들을 서로 구분하기가 힘들지만 배기속도와 최대압축비의 측정결과를 잘 분석하면 준정량적인 해석이 가능하다.

• 한국진공학회:학술대회논문집
• /
• 한국진공학회 1999년도 제17회 학술발표회 논문개요집
• /
• pp.160-160
• /
• 1999

To reduce the fouling of heat exchangers, the plasma polymerized films was coated on the heat exchangers, and an effect of plasma polymerized film on fouling of heat exchangers was investigated. Monomer and reactive gases were used as the precursors of plasma polymerization. Plasma polymerized films were deposited with process parameters of pressure, power, and ratio of gases. Plasma polymerized films could be served as functional layers of good wettability and high resistance to corrosion. Wettability of plasma polymerized film could be controlled by the ratio change gas mixture. Hydrophilicity of plasma polymerized films on heat exchanger in air conditioner can provide improvement in performance of heat exchanger which results from good water drainage, decrease of pressure drop. DC-plasma polymerized films improve resistance to corrosion whcih is related to deposit formation in heat exchangers. The difference in the build up of fouling deposits between bare substrate and plasma polymerized substrate was investigated by scanning electron microscopy (SEM). An effect of plasma polymerized film on fouling of heat exchangers was discussed in terms of surface properties such as wettability, surface chemical state.

• 자원리싸이클링
• /
• 제21권5호
• /
• pp.58-64
• /
• 2012

본 연구는 타이타늄 선삭 스크랩을 진공 아크 용해에 의해 건전한 버튼형 잉곳으로 제조하여 아크 발생용 소모성 전극으로의 재활용을 위해 타이타늄 내 불순물의 거동 및 특성을 평가하였다. 먼저 가스불순물인 산소는 진공 아크 용해에 의해 초기 표면의 산화층에 의해 제거되지만 이후 타이타늄에 고용된 산소는 제거되지 않는 것으로 확인되었다. 타이타늄 스크랩의 대표 금속불순물인 철의 경우 타이타늄과의 증기압 차이로 인해 진공 아크 용해에 의해 최종 20분간 용해시 약 43%의 제거율을 보이며, 최종 제조된 타이타늄 버튼형 잉곳은 ASTM 규격의 순 타이타늄 등급 3에 해당하는 순도를 보여 VAR(Vacuum Arc Remelting)용 소모성 전극의 제조에 가능한 것으로 확인하였다.

• 대한기계학회논문집B
• /
• 제35권9호
• /
• pp.883-890
• /
• 2011

진공 펌프의 최적설계를 위해 수치해석을 수행하였다. 진공 베인 펌프 설계인자인 베인 각도 변화, 입출구 파이프의 위치와 각도 변화, 베인 개수 변화와 회전속도에 따른 진공도의 영향을 평가하였다. 베인 각도 변화는 동일한 체적의 유지로 최대 진공도 값에 큰 영향을 미치지 않았으나, 토출부의 각도 변화는 유동흐름의 간섭을 줄일 수 있고 이것으로 인한 펌프의 손실을 줄일 수 있다. 회전속도가 증가할수록 질량유량은 증가하였으나 고속 회전속도에서 최대 진공도 값을 나타내지는 않았다. 또한 베인의 개수가 증가할수록 질량유량의 변화폭은 감소하였고, 압력강하는 완화됨을 확인하였다.

• 한국진공학회지
• /
• 제14권1호
• /
• pp.7-16
• /
• 2005

두 개의 쌍원통 실린더를 구성하고 있는 기름-물 펌프는 차세대 저진공 펌프로의 활용이 가능하다. 하지만 설계개선을 위한 유동 해석 결과가 충분하지 않다. 경제적 측면에서 상업화 이전에 수치해석 방법에 의한 유동해석이 요구되고 있다. 유동 해석에 사용되는 상업용 코드(Fluent)을 사용하여 펌프의 설계에 필요한 자료를 제공하였다. 쌍원통 실린더와 고정 실린더 사이의 속도와 압력 분포 등의 유동변수를 분석하기 위하여 2차원 해석을 수행하였다. 본 수치해석 방법은 쌍원통 실린더로 구성된 펌프의 성능향상에 유용하게 사용할 수 있다.

• 한국진공학회지
• /
• 제18권3호
• /
• pp.197-202
• /
• 2009

사중극 질량분석기(Quadrupole Mass Spectrometer, QMS) 이온전류의 안정성은 진공공정 가스를 모니터링 하는데 중요한 요소 중 하나이다. 진공챔버에 질소가스를 주입하여 압력을 일정하게 유지하면서 시간에 따른 이온전류의 변화를 모니터링 하였다. 진공챔버는 측정하기 전에 잡음신호를 줄이기 위해 ${\sim}3{\times}10^{-9}\;Torr$ 까지 배기하였고, 두개의 이온소스를 측정했다; 하나는 오염된 것으로 갈색 또는 검은색을 띄고 있고 다른 하나는 새 것이다. 질소 압력 $1{\times}10^{-5}\;Torr$에서, 오염된 이온소스의 이온 전류는 시간이 지남에 따라 더 빨리 감소했다. 대략 5.5 시간이 지난 후, 감소율은 새 것이 ${\sim}46%$이고 오염된 것은 ${\sim}84%$였다. 필라멘트 재질이 이온 전류감소에 미치는 영향을 관찰하기 위해서 텅스텐 선의 반을 산화이트륨($Y_2O_3$)으로 코팅하여 필라멘트를 제작하였다. 유사한 이온전류 감소현상이 재질이 다른 두 필라멘트에서 나타났는데 이것은 필라멘트 재질에 의한 온도의 변화 즉 baking 효과로는 이온전류 감소의 원인을 개선할 수 없다는 것을 의미한다. 전반적으로 이온전류의 감소율은 필라멘트 재질보다 이온소스의 오염과 더 밀접하게 관계되어 있다.

• 한국추진공학회:학술대회논문집
• /
• 한국추진공학회 2017년도 제48회 춘계학술대회논문집
• /
• pp.1160-1164
• /
• 2017

본 연구에서는 루츠 펌프와 스크류 펌프를 이용한 진공 펌프 시스템을 이용해, 1 kg/s의 공기가 공급되는 시험장치에서 챔버 내의 압력을 2500 Pa로 유지할 수 있는 고도모의 시험장치를 설계하였다. 설계를 위해, 저유량의 공기 공급 조건에서, 소정의 펌프 조합을 이용해 실험을 수행하였다. 이를 통해, 1 kg/s급의 유량이 공급되는 시험장치를 위해서는 11대의 루츠 펌프와 33대의 스크류 펌프가 필요하다는 것을 확인할 수 있었다. 실험 결과를 이론 예측 결과와 비교하였다. 하지만, 이론적으로 예측한 흡입 유량은 실험 결과보다 20 %에 가깝게 많게 나왔다. 이는 조합 실험시, 루츠 펌프 전후단에 걸리는 차압이 높아서 발생한 것으로 여겨진다. 따라서 앞에서 제시한 것보다 더 많은 스크류 펌프를 설치할 경우, 보다 높은 진공도를가지는 시스템의 구축이 가능해질 것으로 판단된다.

• Journal of Korean Society for Atmospheric Environment
• /
• 제12권E호
• /
• pp.19-28
• /
• 1996

A pore concensation-based separation technique was studied experimentally using toluene and xylene in a nitrogen stream. The removal rate of toluene and xylene on a microporous ceramic membrane was enhanced by increasing the partial pressure difference across the membrane, but the selectivity was reduced with increasing flux of nitrogen. This was found both in vacuum and pressure modes of operation. The experimental results from this study suggest that the pores mear the inlet portion of the module were filled with the organic solvent while the pores near the exit section of the module were slightly opened as the solvent concentration was depleted along the module. In the case of xylene, the rate of N$_{2}$ permeation was reduced considerably relative to toluene, resulting in a much higher separation gactor. Condensibility of xylene appeared to be higher than that of toluene, the potential for pore condensation-based separation of xylene was also found to be higher than that for toluene.

• 대한기계학회:학술대회논문집
• /
• 대한기계학회 2000년도 춘계학술대회논문집A
• /
• pp.91-96
• /
• 2000

Glass fiber reinforced thermoplastic composites were manufactured by Rapid Press Consolidation Technique(RPCT) as functions of temperature, pressure and time in pre-heating, consolidation and solidification sections during the manufacturing processing. It was found that the material property is greatly affected by pre-heating temperature under vacuum, mold temperature and molding pressure. Among them, the temperature In the mold was the most critical factor in determining the mechanical properties and the molded conditions of specimen. The crystallinity of PET matrix was also investigated by differential scanning calorimetry(DSC) measurements for various processing conditions. The level of crystallinity($X_c$) depended strongly on the mold temperature, cooling rate and the type of composite. The difference in $X_c$ is believed to be one of important factors in characterizing the mechanical properties.

• 한국전기전자재료학회논문지
• /
• 제19권5호
• /
• pp.492-497
• /
• 2006

The study on laser-ablation plasmas has been strongly interested in fundamental aspects of laser-solid interaction and consequent plasma generation. In particular, this plasma has been widely used for the deposition of thin solid films and applied to the semiconductors and insulators. In this paper, we developed and discussed the generation of carbon ablation plasmas emitted by laser radiation on a solid target, graphite. The progress of carbon plasmas by laser-ablation was simulated using Monte-Carlo particle model under the pressures of vacuum, 1 Pa, 10 Pa and 66 Pa. At the results, carbon particles with low energy were deposited on the substrate as the pressure becomes higher However, there was no difference of deposition distributions of carbon particles on the substrate regardless of the pressure.