• Journal of information and communication convergence engineering
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• 제15권4호
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• pp.232-236
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• 2017

A digital vacuum pressure sensor is designed, fabricated, and characterized using a packaged MEMS analog Pirani gauge. The packaged MEMS analog Pirani gauge requires a current source to heat up a heater in the Pirani gauge. To investigate the feasibility of digitization for the analog Pirani gauge, its implementation is performed with a zero-temperature coefficient current source and microcontroller that are commercially available. The measurement results using the digital vacuum pressure sensor showed that its operating range is 0.05-760 Torr, which is the same as the measurement results of the packaged MEMS analog pressure sensor. The results confirm that it is feasible to integrate the analog Pirani gauge with a commercially available current source and microcontroller. The successful hybrid integration of the analog Pirani gauge and digital circuits is an encouraging result for monolithic integration with a precision current source and ADCs in the state of CMOS dies.

• 한국진공학회지
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• 제12권1호
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• pp.7-15
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• 2003

스피닝 로터 게이지는 표준기관의 고진공 국제비교에 전달표준기로 상용되고 있으며, 고진공 국가표준기인 동적교정장치를 이용하여 스피닝 로터 게이지를 교정하였다. 교정 결과의 불확도를 국제표준화기구에서 권고한 A형 불확도, B형 불확도, 합성표준불확도, 확장불확도 등으로 구분하여 평가하는 방법을 제시하였다. 이 방법에 따라 평가한 스피닝 로터 게이지의 합성표준불확도는 $1.8007\times10^{-5}$ Pa ~$4.8422\times10^{-5}$ Pa 이었다.

• 한국진공학회지
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• 제15권6호
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• pp.605-611
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• 2006

정적법(constant volume method)을 이용하여 $1Pa\sim100kPa$ 영역에서 진공게이지의 직접교정 (direct calibration) 장치를 개발하였다. 이 장치는 피 교정 게이지의 이동 없이 in-situ 상태에서 비교교정(comparison calibration)도 가능하다. 이 장치가 개발됨으로서 산업체 교정기관의 생산성을 높이고 개발도상국에 국가 진공표준과 교정기술을 보급할 수 있게 되었다.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 2001년도 하계학술대회 논문집 D
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• pp.2169-2171
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• 2001

The vacuum gauge control system has been designed and implemented using multi-serial communication controllers (MSCC) for the 2.5 Gev storage ring at the Pohang Accelerator Laboratory (PAL). There are 20 Balzers vacuum gauges and 17 Granville-Phillips vacuum gauges at the storage ring. A MSCC have two RS485 (max speed 460.8Kbps) field network port, 8 channel serial communication ports (max speed 460.8Kbps) connected to gauge controller for serial communication control. 12 MSCCs are connected to a personal computer (PC) through the RS485 field network. The PC can automatically control the MSCCs by sending set of commands through the network. The commands specify the duration of the MODBUS protocol. Upon receiving a command from a PC running under Windows2000 through the network, the MSCC communicate through the serial output ports to gauge controller. In this paper, we describe control structure and scheme of the vacuum gauge control system.

• 한국진공학회지
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• 제3권4호
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• pp.382-388
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• 1994

포항가속기연구소에서 사용될 진공게이지 교정시스템이 설계 제작되었다. 이 교정시스템은 동적 교정방법으로 설계되었으며 transfer standard 로서 spinning rotor gauge를 사용하였다. 포항가속기의 저장리에 사용될 모든 진공게이지는 교정시스템으로 교정을 하여 사용할 것이며, 주로 교정할 게이지로 는 Bayard-Alpert(BA) nude ionization gauge와 cold cathode gauge등이 있다. 본 논문에서는 포항가속 기의 진공게이지 교정시스템에 대해서 소개를 하였고 현재까지 BA nude ioni-zation gauge 6대 extractor gauge 1대 high pressure gauge 1대와 cold cathode gauge 5대를 10-4에서 10-4 Torr 범위내 에서 교정하여 그 결과를 보였다.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 1999년도 제17회 학술발표회 논문개요집
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• pp.43-43
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• 1999

Cold Cathode 및 Pirani Gauge Tube를 시험 제작하고 그 특성들을 조사하였다. 제작된 Cold Cathode Tube의 특성을 조사하기 위해 진공도에 따른 Anode 전압 및 방전 전류의 변화를 측정하였는데 기존의 제품들의 결과들과 비교.분석하여 개선 가능성을 제시하였다. 또한 20$\mu\textrm{m}$ 굵기의 백금선을 filament로 하는 Pirani gauge Tube를 제작하여 진공도에 따른 저항의 변화를 측정하였고 그 결과를 기존의 제품들의 결과와 비교하였다. 특히 본 연구에서는 시험 제작된 Cold Cathode 및 Pirani gauge Tube의 시험 결과를 토대로 국내 개발의 가능성을 논의하고 Gauge Controller의 설계방향 등을 제시할 것이다.

• JSTS:Journal of Semiconductor Technology and Science
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• 제14권6호
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• pp.733-740
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• 2014

A resistive micro Pirani gauge using amorphous silicon (a-Si) thin membrane is proposed. The proposed Pirani gauge can be easily integrated with the other process-compatible membrane-type sensors, and can be applicable for in-situ vacuum monitoring inside the vacuum package without an additional process. The vacuum level is measured by the resistance changes of the membrane using the low noise correlated double sampling (CDS) capacitive trans-impedance amplifier (CTIA). The measured vacuum range of the Pirani gauge is 0.1 to 10 Torr. The sensitivity and non-linearity are measured to be 78 mV / Torr and 0.5% in the pressure range of 0.1 to 10 Torr. The output noise level is measured to be $268{\mu}V_{rms}$ in 0.5 Hz to 50 Hz, which is 41.2% smaller than conventional CTIA.

• 한국진공학회지
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• 제7권4호
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• pp.277-284
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• 1998

전달표준기(transfer gauge)로 사용되는 열음극 전리진공계의 교정을 위하여 초고진 공표준기의 압력비(pressure ratio), 오리피스 콘덕턴스, 그리고 porous plug 콘덕턴스 측정 에 대한 연구를 수행하였다. 이 표준기를 이용하여 제조회사가 다른 두 개의 전리진공계를 $7{times}10^{-7}$~$4{times}10^{-3}$ Pa압력구간에서 아르곤 가스를 사용하여 교정하였다. 그 결과 extractor 전 리진공계의 고진공과 초고진공 사이에서 압력에 따른 비직선성의 차이는 4%로 나타났고, stabil 전리진공계는 3%정도로 나타났다. Extractor 전리진공계의 경우 기체의 감도를 적절 히 조절해서 사용하면 진공계 자체 불확도인 10%이내의 오차범위에서 사용이 가능함을 알 수 있었다. 또한 stabil 전리진공계는 별도의 감도 조절하지 않고도 최대 4% 오차범위에서 사용이 가능함을 알 수 있었다.

• 한국진공학회지
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• 제14권4호
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• pp.186-194
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• 2005

정적법 고진공 표준기를 이용하여 스피닝 로터 게이지를 $4.04\times10^{-3}$ $Pa\~1.11\times10^{-2}$Pa에서 교정하였으며, 그 결과를 국제표준화기구에서 권고한 측정불확도 표현지침에 따라 불확도를 계산 및 평가하였다. 평가 결과 기준압력 $7.5488\times10^{-3}$ Pa에서 교정된 SRG의 합성표준불확도는 $95\%$ 신뢰수준, 포함인자 k = 1에서 $3.0035\times10^{-5}$ Pa로 나타났다.

• 한국진공학회지
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• 제5권3호
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• pp.181-187
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• 1996

The Ultrasonic Interferometer Manometer(UIM) which can calibrae from1 Pa to $10^5$Pa has been developed, and its uncertainty is evaluated less than $\pm$(30ppm of pressure+12mPa). We can calibrate Capacitance Diaphragm Gauge(DCG) used as a transfer standard gauge in the low vacuum field. TheUIM enables to maintain the measurement traceability for industries. In order to improve the UIM's accracy, we will perform the international intercomparison withother national standards laboratories.