• 한국정밀공학회지
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• 제25권12호
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• pp.132-138
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• 2008

Recently, mastering processes for high density optical disc such as Blu-ray disc rely on electron beams, which are operable in only vacuum. In the mastering process, one of the most important tasks is to design precision stages for providing precise positioning of the works with respect to the source in a high vacuum environment. In this paper, we have developed a precision rotation table usable in the electron beam mastering. The rotation table adopted air bearings for a high positioning repeatability and velocity stability. The air leakage from the air bearings has been minimized by employing the differential exhaust scheme using three steps of air drain. The design parameters such as diameters of exhaust lines, seal lengths, and pumping speeds were decided according to the optimization method using genetic algorithm. The performance on the vacuum level of the rotation table was evaluated experimentally and theoretically. The results indicate that a vacuum level of $10^{-4}$ Pa is achieved with operation of air bearings in a vacuum chamber, which is sufficient for the electron beam mastering.

• 한국항공우주학회지
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• 제49권5호
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• pp.407-415
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• 2021

인공위성의 부품은 발사 전 지상에서의 우주 궤도환경 하에서의 성능검증이 필수적이다. 본 논문은 열진공시험을 위한 위성 부품 및 소형 열진공챔버 간의 전도, 복사, 열손실 및 내부 발열의 열환경을 고려한 모델식을 설계하였다. 최근 한국항공우주연구원에서 수행된 열진공시험 20건의 시험데이터를 이용한 시스템 식별을 수행하였다. 시험품 기능시험의 발열이 일정하지 않는 경우를 제외하고 시스템 식별의 정확성을 확인함으로써 개발된 모델식이 유효함을 검증하였다.

• 한국입자에어로졸학회지
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• 제14권2호
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• pp.41-47
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• 2018

Numerical analysis was conducted to characterize particle deposition onto a heated horizontal semiconductor wafer in vacuum environment. In order to calculate the properties of gas surrounding the wafer, the gas was assumed to obey the ideal gas law. Particle transport mechanisms considered in the present study were convection, Brownian diffusion, gravitational settling and thermophoresis. Averaged particle deposition velocities on the upper surface of the wafer were calculated with respect to particle size, based on the numerical results from the particle concentration equation in the Eulerian frame of reference. The deposition velocities were obtained for system pressures of 1000 Pa~1 atm, wafer heating of 0~5 K and particle sizes of $2{\sim}10^4nm$. The present numerical results showed good agreement with the available experimental ones.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 1996년도 제10회 학술발표회 논문개요집
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• pp.94-94
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• 1996

• 한국산학기술학회논문지
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• 제14권9호
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• pp.4178-4184
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• 2013

최근 나노임프린트 리소그래피 공정이 마이크로/나노 스케일의 소자 개발에 있어서 경제적으로 대량 생산할 수 있는 기술로 주목 받고 있다. 최근 나노임프린트 기술은 공정의 고속화 및 대면적화를 통한 대량생산 기술로의 전환을 목표로 하고 있다. 자외선경화 방식의 나노임프린트의 경우 상온 및 저압의 장점과 함께 비진공 환경에서 공정이 가능하다면 진공챔버 및 고압 스테이지 등과 같은 고가의 장비가 필요 없게 됨으로써 설비비용을 낮추고 공정시간을 단축하는데 큰 기여를 할 수 있다. 그러나 비진공 환경에서는 기포결함이 종종 발생하게 된다. 본 연구에서는 비진공 환경에서의 자외선경화 방식의 나노임프린트 공정 중 레지스트의 액적도포 방법에 따른 기포형성을 연구하였다. 액적의 양과 액적의 수를 달리하여 도포한 레지스트에 대하여 충전 후 기포결함 발생을 분석하였다.

• International Journal of Internet, Broadcasting and Communication
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• 제7권2호
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• pp.28-35
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• 2015

Thin film electronic devices which brought the current mobile environment could be fabricated only under the high quality vacuum conditions provided by high vacuum systems. Especially for the development of advanced thin film devices, constant high quality vacuum as the deposition pressure is definitely needed. For this purpose, the variable conductance throttle valves were employed to the high vacuum system. In this study, the effects of throttle valve applications on vacuum characteristics were simulated to obtain the optimum design modelling of variable conductance of high vacuum system. Commercial simulator of vacuum system, $VacSim^{(multi)}$, was used on this investigation. Reliability of employed simulator was verified by the simulation of the commercially available models of high vacuum system. Simulated vacuum characteristics of the proposed modelling were agreed with the observed experimental behaviour of real systems. Pressure limit valve and normally on-off control valve were schematized as the modelling of throttle valve for the constant process-pressure of below $10^{-3}torr$. Simulation results were plotted as pump down curve of chamber, variable valve conductance and conductance logic of throttle valve. Simulated behaviors showed the applications of throttle valve sustained the process-pressure constantly, stably, and reliably.

• 설비공학논문집
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• 제26권9호
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• pp.441-446
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• 2014

In Jeju province, the Citrus is widely spread crop which is the most popular fruit on the island. When the quality of a Citrus is not in a good condition or when its size exceeds or is lower than the set criteria, it is discarded as a waste. In this study, a drying machine for waste Citrus has been developed with 2.6 GHz microwave energy supply to the Citrus at vacuum environment. The vacuum environment of the drying chamber was maintained to reduce the energy supply to the Citrus by lowering the evaporating temperature of the water. The experiment was conducted with variation of the vacuum pressure, interior temperature of the drying chamber, and operating time of the microwave. As a result, the effect of the temperature was shown to be higher than the other two control methods, and it showed with 0.305 g/W evaporation efficiency.

• 한국항공우주학회지
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• 제39권5호
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• pp.466-473
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• 2011

인공위성의 열제어는 인공위성이 운용궤도상에서 겪는 고진공, 극한의 온도변화 환경에서 위성 구성품의 온도변화를 허용한계 온도 범위 내에서 유지하는데 목적이 있다. 본 연구에서는 저궤도 관측위성(LEO)의 광학탑재체에 대한 열해석 과정으로 열진공 시험 조건, 열진공 챔버의 형상, 위성 탑재체 내부의 열적 환경을 고려하여 열해석 모델을 구성하고 궤도 조건에 따른 열해석을 수행하였다. 또한 광학탑재체의 지상 열진공 시험 조건에 따른 열해석 수행하여 열진공 시험을 위한 시험조건을 정립하였다.

• 항공우주기술
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• 제3권1호
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• pp.103-108
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• 2004

우주환경은 고진공 환경과 태양 복사열에 의한 고온 환경 및 극저온이 반복되는 가혹한 환경으로 특징지어 진다. 위성체는 지상에서 발사되어 우주궤도에 진입한 순간부터 가혹한 우주환경에 노출되어 위성체의 주요부품에 기능장애가 발생하여 결국 임무의 실패로 이어지기도 한다. 따라서 위성체는 지상에서 우주환경시험을 거쳐 기능 및 작동상태를 점검해야 한다. 한국항공우주연구원에서는 ∮3.6m×L3m 규모의 열진공챔버라 불리는 우주환경 모사장비를 보유ㆍ운용 중이나, 정지궤도 위성과 같은 대형 위성체의 시험을 위해 2005년 완공을 목표로 ∮8m×L10m급의 대형열진공챔버를 국산화 제작하고 있다. 통상 열진공챔버는 크게 진공계와 열제어계로 구분되어 질 수 있는데, 특히 열제어계에서 극저온 모사장치는 LN2를 쉬라우드 내부에 순환시킴으로서 -196℃의 극저온을 모사하는 시스템을 말한다. 본 논문에서는 국산화 대형열진공챔버의 열제어계에 적용할 극저온 모사장치의 개발 방안에 대하여 연구하였다.

• 한국지반신소재학회논문집
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• 제21권1호
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• pp.11-21
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• 2022

본 연구에서는 개별진공압밀공법과 침투압밀공법의 단점을 보완하여 새로운 연약지반 개량공법인 개별진공 침투압밀공법을 개발하여 수치해석을 통해 지반 공학적 거동을 예측하였다. 개별진공 침투압밀공법을 적용할 경우, 대수층이 개량 대상층 중간 또는 하단에 위치하여 피압 대수층인 경우 침하 촉진 및 발생 침하량 증대 효과가 높았다. 대수층에서의 양수량은 일정 수준 이상 되면 침하 거동에 영향을 미치지 않는 것으로 나타났다. 성토체 내측이나 외측 등 다양한 위치에서 진공 양수정을 설치하여도 침하 및 수평 변위 차이는 미미하였다. 개별진공압밀과 병행하는 경우, 진공압이 적용되는 초기 침하는 진공압의 크기에 영향을 받았지만, 최종 침하량은 진공압의 영향이 미미한 것으로 예측되었다. 또한, 두 공법을 동시에 진행하는 것이 침하속도가 가장 빠르고, 내향 변위도 큰 것으로 예측하였다. 본 연구에서 개발한 공법은 매우 빠른 시점에 목표 침하량에 도달할 수 있으므로 연직배수재 배치 간격을 늘릴 수 있어 경제성을 확보할 수 있는 것으로 확인되었다.