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Growth of Hexagonal Boron Nitride Thin Films on Silicon Using a Single Source Precursors

  • Boo, Jin-Hyo;Lee, Soon-Bo;Casten Rohr;Wilson Ho
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 1998년도 제14회 학술발표회 논문개요집
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    • pp.120-120
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    • 1998
  • Boron nitride (BN) films have attracted a growing interest for a variety of t technological applications due to their excellent characteristics, namely hardness, c chemical inertness, and dielectrical behavior, etc. There are two crystalline phases 1551; of BN that are analogous to phases of carbon. Hexagonal boron nitride (h-BN) has a a layered s$\sigma$ucture which is spz-bonded structure similar to that of graphite, and is t the stable ordered phase at ambient conditions. Cubic boron nitride (c-BN) has a z zinc blende structure with sp3-bonding like as diamond, 따ld is the metastable phase a at ambient conditions. Among of their prototypes, especially 삼Ie c-BN is an i interesting material because it has almost the same hardness and thermal c conductivity as di없nond. C Conventionally, significant progress has been made in the experimental t techniques for synthesizing BN films using various of the physical vapor deposition 밍ld chemical vapor deposition. But, the major disadvantage of c-BN films is that t they are much more difficult to synthesize than h-BN films due to its narrow s stability phase region, high compression stress, and problem of nitrogen source c control. Recent studies of the metalorganic chemical vapor deposition (MOCVD) of I III - V compound have established that a molecular level understanding of the d deposition process is mandatory in controlling the selectivity parameters. This led t to the concept of using a single source organometallic precursor, having the c constituent elements in stoichiometric ratio, for MOCVD growth of 삼Ie required b binary compound. I In this study, therefore, we have been carried out the growth of h-BN thin f films on silicon substrates using a single source precursors. Polycrystalline h-BN t thin films were deposited on silicon in the temperature range of $\alpha$)() - 900 $^{\circ}$C from t the organometallic precursors of Boron-Triethylamine complex, (CZHs)3N:BRJ, and T Tris(dimethylamino)Borane, [CH3}zNhB, by supersonic molecular jet and remote p plasma assisted MOCVD. Hydrogen was used as carrier gas, and additional nitrogen w was supplied by either aDlIDonia through a nozzle, or nitrogen via a remote plasma. T The as-grown films were characterized by Fourier transform infrared spectroscopy, x x-ray pthotoelectron spectroscopy, Auger electron spectroscopy, x-ray diffraction, t transmission electron diffraction, optical transmission, and atomic force microscopy.roscopy.

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전자기 펄스 용접을 이용한 Al/Steel 접합시 접합부 품질에 미치는 공정변수 영향 (Effect of Process Parameters on Quality in Joint for Al/Steel Joining a MPW)

  • 심지연;강봉용;김일수;박동환;김인주;이광진
    • 대한용접접합학회:학술대회논문집
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    • 대한용접접합학회 2009년 추계학술발표대회
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    • pp.27-27
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    • 2009
  • 드라이브 샤프트는 일반적으로 엔진에서 발생된 회전력을 바퀴에 직접 전달하는 동시에 조향기능을 수행하는 자동차 부품이다. 최근에 경량화를 통한 에너지 절감을 위하여 기존 스틸소재를 알루미늄으로 대체하는 방안에 대한 연구가 집중되고 있다. 그러나 알루미늄 단일소재로 드라이브 샤프트를 제조하는 것은 비경제적이며 또한 기 개발된 자동차 부품들과의 연결을 고려하여 알루미늄 튜브와 스틸 요크의 이종금속 접합기술이 요구된다. 전자기 펄스용접은 전자기력을 이용하여 용접대상물을 고속으로 충돌시켜 용접하는 기술로서 열 발생이 적어 재료의 특성차로 인한 결함 및 변형이 발생하지 않아, 이종금속간 고품질 용접이 가능하며, 전자기 펄스 용접부의 품질과 밀접한 관계를 갖는 공정변수 경우 모재와 접합재의 재질 따라 적정 공정변수 범위가 변화되므로 공정에 따른 데이터의 축적은 대단히 중요하다. 전자기 펄스 용접을 이용한 이종금속 접합시 접합부 품질에 영향을 미치는 공정변수는 충전전압, 모재와 접합재 사이의 간격 및 접합재의 직경과 두께의 비(D/T비)로서 보고되었으며, Al/Steel 이종 금속 접합시 이들 공정변수가 접합부에 미치는 영향 및 최적의 공정변수 도출을 위한 연구는 시도되지 않았다. 따라서 본 연구는 전자기 펄스 용접기술을 이용한 Al/Steel 이종금속 접합 실험을 통하여 전자기 펄스용접의 적정성과 최적의 충전전압, 모재와 접합재 사이의 간격, D/T비를 도출하고자 한다. 전자기 펄스 용접 장치는 한국생산기술연구원과 웰메이트(주)에서 공동으로 개발한 $120{\mu}F$의 캐패시터 6개로 구성된 'W-MPW36'을 사용하였으며 이 장치의 최대충전전압과 최대접합용량은 각각 10kV, 36kJ이다. 접합재는 전기 전도율의 높은 Al 1070 파이프를 사용하였으며 모재는 기존 스틸 요크재인 SM45C 환봉을 사용하였다. 기보고된 연구를 통하여 코일과 접합재 사이의 간격이 좁을수록 높은 전자기력이 접합재에 작용하는 것을 확인하였으나 코일내 접합재와 모재 삽입 편의를 위하여 1mm로 설정하였다. 접합부의 품질 평가를 위하여 수압시험을 실시하였으며, 시험 후 접합부 단면을 주사전자현미경(SEM)을 이용하여 관찰하였다.

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Beagle Dog에서 cis-Malonato[(4R,5R)-4,5-bis(aminomethyl)-2-isopropyl-1,3-dioxolane]platinum(II)(SKI 2053R)의 아급성독성시험에 관한 연구 (Subacute toxicity of cis-Malonato[(4R,5R)-4,5-bis(aminomethyl)-2-isopropyl-1,3-dioxolane]platinum(II)(SKI 2053R) in Beagle Dogs)

  • 이영순;강경선;신동진;조재진;김형욱;김배환;임윤규
    • Toxicological Research
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    • 제8권2호
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    • pp.235-253
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    • 1992
  • A subacute toxicity study of cis-Malonato[(4R,5R)-4,5-bis(aminomethyl)-2-isopropyl-1,3-dioxolane]platinum(II)(SKI 2053R) was carried out to obtain information on its toxicological profiles, and to determine the maximum tolerated dose in beagle dogs. Four groups of beagle dogs (2M and 2F per group, 0,0.5,1.0,2.0mg/kg/day)were given 15 i.v. injections of SKI 2053R. In order to compare the toxic effects of SKI 2053R with those of cisplatin, one group was treated with cisplatin(0.7mg/kg/day)according to the same treatment schedule. The dosing schedule was divided into 3 courses of 5 consecutive days with 23-day dose-free intervals between each course. After completion of the treatments, remaining dogs were necropsied under established guidelines. Three of four dogs in the high dose group and one of four dogs in the middle dose group treated with SKI 2053R died of hypovolemic shock secondary to hemorrhagic and ulcerative enterocolitis. No toxicity-related mortality occurred in the low dose group of SKI 2053R. No survivor was observed in the group of cisplatin. Clinical signs including vomiting, diarrhea, anorexia and loss body weight were apparent in dogs given either cisplatin or high and middle doses of SKI 2053R. Severe thrombocytopenia and leukocytopenia were observed in the high dose group of SKI 2053R and cisplatin-treatment group, while toxicities as bone marrow suppression were reversible. The significant elevation of serum ALP values in group of SKI 2053R(2.0 mg/kg/day and 1.0mg/kg/day) and cisplatin(0.7mg/kg/day)was observed. Slight proteinuria waa observed in high and middle dose level groups of SKI 2053R. In histopathological examinations, pathological alterations of liver, kidney and spleen were noted dose-dependantly in dogs treated with SKI 2053R, and there was no overt sign of toxicity in low dose group of SKI 2053R. Compared to SKI 2053R, more severe durg-related toxicities occurred in dogs treated with cisplatin. It waw estimated that maximum tolerated dose of SKI 2053R in this treatment schedule was 0.5~0.7mg/kg/day. In conclusion, overall toxic potential of SKI 2053R was approximately 3 times lower than that of cisplatin with respect of lethality.

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모야모야병에서 EDAS 수술효과의 평가를 위한 수술전후 $^{99m}Tc$-HMPAO SPECT의 유용성 (Serial $^{99m}Tc$-HMPAO Brain SPECT for Assessing Perfusion Improvement after EDAS in Moyamoya Patients)

  • 이경한;이상형;여정석;곽철은;정준기;이명철;조병규;고창순
    • 대한핵의학회지
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    • 제28권1호
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    • pp.22-30
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    • 1994
  • Encephalo-duro-arterio-synangiosis (EDAS) is a relatively new surgical procedure for treatment of childhood moyamoya disease. We assessed regional cerebral perfusion in moyamoya patients before (1.3 mo) and after (6.8 mo) EDAS with $^{99m}Tc$-HMPAO brain SPECT. A total of 21 EDAS operations in 17 moyamoya patients was included. Preoperative CT or MRI showed cerebral infarction in 14 patients and carotid angiography showed Suzuki grade I to V stenosis in 6%, 9%, 62%, 12% and 12% of the hemispheres respectively. Preoperative SPECT showed regional hypoperfusion in all patients, bilateral frontal and temporal lobes being the most frequently involved site. $4{\times}4$ pixel sized ROIs were applied on the frontotemporal cortex in 3 slice averaged transverse tomographic images. An index of regional perfusion was measured as: PI (%)=average F-T activity/average cerebellar activity${\times}100$ Pre-EDAS ipsilateral PI ranged from 23.7 to 98.4% (mean: $74.3{\pm}17%$) and increased significantly after operation ($81.4{\pm}17%$, p<0.001). Individual post-EDAS PI improved in 15/21 cases, showed no significant change in 5 and was slightly aggravated in 1. The amount of clinical improvement (${\Delta}CI$) was graded with a scale of 0 to 4 based on frequency and severity of TIA attacks. When patients were grouped according to pre-EDAS PI, group II (PI 70-89) showed a significantly higher ${\Delta}CI$ (3.3) compared to group I (PI< 70, 1.57) or group III (PI >90, 0.5) (P< 0.001). The amount of perfusion improvement (${\Delta}PI$) showed significant correlation with ${\Delta}CI$ (r=0.42, p=0.04). ${\Delta}PI$ did not, however, correlate with the amount of neovascularization assessed angiographically in 8 patients. Serial HMPAO SPECT is an useful noninvasive study for assessing perfusion improvement after EDAS in childhood moyamoya patients.

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체외성숙 동안에 호르몬 처리에 따른 Calcium 반응과 체외발달에 미치는 영향 (Effect of Hormone Treatments during Maturation on Calcium Response and In Vitro Development of Bovine Embryos)

  • 공일근;이은봉
    • 한국가축번식학회지
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    • 제21권3호
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    • pp.303-310
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    • 1997
  • 소 난포란의 체외성숙시 성숙배지에 FSH 및 LH의 첨가가 체외성숙난자의 calcium 반응과 체외수정란의 발달에 미치는 영향을 조사하였다. 난포란의 체외성숙은 TCM199을 기초로 한 4가지의 배양조건 하에서 : 1) 0.5$\mu\textrm{g}$/ml FSH+5$\mu\textrm{g}$/ml LH, 2) 0.5$\mu\textrm{g}$/ml FSH, 3) 5$\mu\textrm{g}$/ml LH 및 4) 무 호르몬 첨가구로서 5% CO2에 24시간 동안 체외성숙을 유도하였다. 체외성숙 24기간째에 난포란의 과립막세포는 1ml PB1+에서 4분 동안 vortexing을 하여 완전히 제거하였다. 세포 내 calcium 반응을 측정하기 위하여 2mM Fura-2 AM ester 및 0.02% Pluronic F-127가 첨가된 PB1-용액에 39$^{\circ}C$ in cubator에서 40분 동안 배양하였다. 30${\mu}\ell$ M2 medium drop을 30mm plastic dish에 만들어 20$\times$ 형광대물렌즈가 장착된 Nikon Diaphot 현미경의 장착된 Nikon Diaphot 현미경의 warm stage에 설치하였다. 세포 내 calcium 방출을 자극하기 위하여 난자에 25mM inositol 1, 4, 5-trasphophate(IP3)로 1.21kV/cm의 전기자극 또는 20mM ryanodine으로 미세주입을 실시하였다. 이러한 처리를 하지 않은 난자는 체외수정 후 CR1aa와 BRL monolayers의 공배양조건 하에서 체외발달을 유도하였다. 분할율(Day 2)과 배반포기발달율(Day 9)을 조사하였다. FSH와 LH의 처리구에서 IP3 또는 ryanodine으로 자극된 난자(1.79$\pm$0.05, 1.66$\pm$0.06)는 FSH, LH 및 무 호르몬처리구에 비하여 유의적으로 높은 calcium 반응을 보였다(1.00$\pm$0.03, 1.28$\pm$0.04, and 0.53$\pm$0.02 in IP3 elctroporation; 0.68$\pm$0.05, 1.03$\pm$0.05, and 0.47$\pm$0.04 in ryanodine microinjection). FSH와 LH, FSH, LH처리구에서 분할율(87.9, 71.5 및 75.6%)은 무 호르몬처리구(60.7%)(P<0.05)에 비하여 유의적으로 높았으며, FSH와 LH처리구(29.3%)에서의 배반포기 발달율은 FSH, LH 처리구뿐만 아니라 무 호르몬처리구보다 유의적으로 높았다(16.5, 19.0 and 9.8%)(P<0.05). Bovine FSH 및 Ovine FSH의 처리구에서의 calcium 반응은 유의적인 차이가 없었다(1.72$\pm$0.05, 1.61$\pm$0.06). 또한 분할율(82.2 and 84.0%) 및 배반포기(27.8 and 27.1%) 발달율도 bovine 및 ovine FSH처리구간에는 유의적인 차이가 없었다. 이상의 결과에서 전기자극에 의한 세포 내 calcium 반응은 체외성숙배지에 첨가하는 호르몬의 처리에 따라서 유의적인 변화를 보였다. 비록 분할율은 처리구간에 유의적인 차이가 없었지만 배반포기 발달율은 FSH와 LH 공동처리구에서 FSH, LH 단독처리구 및 무 호르몬처리구에 비하여 유의적으로 높은 발달율을 보였다. 체외성숙기간에 FSH와 LH의 공동첨가는 체외성숙 및 체외발달의 생리적인 교정을 위하여 요구되는 것으로 사려된다.

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양식동남아산 뱀장어(Anguilla bicolor pacifica)의 Heterosporis anguillarum 감염 (The Infection of Heterosporis anguillarum in Cultured Shortfin Eel (Anguilla bicolor pacifica))

  • 김진도;도정완;최혜승;조혜인;이남실;김영대
    • 환경생물
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    • 제32권4호
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    • pp.382-388
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    • 2014
  • 최근 뱀장어 양식장에서 사육 중이던 동남아산 뱀장어에 몸통 근육의 요철현상을 나타내면서 폐사를 일으키는 질병이 발생하였다. 병어의 몸통 근육 내 환부는 흰색 또는 황색으로 변해있었다. 병리조직학적인 변화는 근조직내에 수많은 포자와 크고 작은 시스트들이 변형된 근육근섬유 내에 관찰되었다. 병어의 근육 환부를 취하여 PCR을 실시하여 H. anguillarum이 가지는 특정 유전자인 Small subunit ribosomal RNA (SSU-rRNA)를 증폭하였다. 좀 더 정확한 동정을 위해 PCR product를 Cloning 후 Sequencing하여 서열들을 분석한 결과 H. anguillarum의 Small subunit ribosomal RNA (Gene bank accession number: AB623036) 서열과 일치하게 나타남을 확인할 수 있었다. primer 18F과 1537R의 PCR product는 약 1366 bp 길이가 일치하였으며, V1과 1392R를 이용한 PCR product는 1200 bp가 일치하게 나타났다. 또한 H1과 H2의 PCR product의 경우는 800 bp 정도 일치하였으며 이의 서열은 나머지 2개의 product가 공통적으로 가지고 있는 서열이었다. 이를 토대로 본 연구에서는 동남아산 뱀장어에 감염된 포자충은 H. anguillarum임을 동정할 수 있었다.

후두암 감별진단에 있어 성문전도(Electroglottograph) 파라미터의 유용성 (The Effectiveness of Electroglottographic Parameters in Differential Diagnosis of Laryngeal Cancer)

  • 송인무;고의경;전경명;권순복;김기련;전계록;김광년;정동근;조철우
    • 대한후두음성언어의학회지
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    • 제14권1호
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    • pp.16-25
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    • 2003
  • 후두암은 유병율이 높지만 조기에 발견하면 90% 이상의 치유율과 발성기능의 보존이 가능하며 현재 음성분석을 이용한 진단법이 시도되고 있으나 정립된 선별검사법은 없는 실정이다. 성문전도검사(electroglottography, EGG)는 성대의 진동양상을 알 수 있는 비침습적 검사로서 발성과 음성합성의 연구에 많이 사용되고 있다. 본 연구는 EGG에서 관찰되는 파라미터들을 다층 퍼셉트론(multilayer perceptron)구조의 신경회로망(artificial neural network)으로 감별하는 기법을 이용하여 후두암 감별법에 대한 연구로서 부산대학교병원을 내원한 후두암 환자 10명과 양성후두질환 26명을 대상으로 새로 고안한 Electroglottograph(v1.0)를 이용하여 검사하고 이의 임상적 유용성을 평가하였다. EGG 파라미터인 closed quotient(CQ), speed quotient(SQ), speed index(SI), fundamental frequency(F0), Jitter, Shimmer 등은 MATLAB 6.5 (Mathwork, Inc.)로 작성한 분석 프로그램을 이용하여 추출하였다. 각 환자에서 추출된 EGG 파라미터들을 다층 퍼셉트론 구조의 신경회로망으로 감별하였다. CQ는 각 질환군 간에 유의한 차이가 없었지만 SQ, SI, Jitter, Shimmer 등은 성대질환의 특성에 따라 유의한 차이를 보였다. 신경회로망에서 감별한 결과 CQ를 제외한 SQ, SI, Jitter, Shimmer 등에서 71.3-90%의 후두암의 감별율을 보였다. 또한 SQ, SI, Jitter, Shimmer를 3개씩 조합한 실험에서는 SQ-Jitter-Shimmer와 SQ-SI-Shimmer의 후두암의 감별율이 93%로 가장 높았고, SQ-SI-Jitter 90.9%, SI-Jitter-Shimmer 88.6%로 전체적으로 85% 이상의 높은 감별율을 나타내었다. 이러한 결과는 EGG검사와 신경회로망을 이용한 양성과 악성 후두질환의 감별이 가능함을 시사한다. 향후 성대 질환의 병태생리를 대변할 수 있는 파라미터가 추가로 개발되고 분류 알고리듬이 개선된다면 EGG를 이용한 성대질환의 감별 진단이 보다 정확해질 것으로 사료되었다.

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교량의 수직처짐 측정을 위한 유비쿼터스 무선경사센서 활용연구 (A Study on the Ubiquitous Wireless Tilt Sensors's Application for Measuring Vertical Deflection of Bridge)

  • 조병완;윤광원;김영지;이동윤
    • 한국구조물진단유지관리공학회 논문집
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    • 제15권3호
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    • pp.116-124
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    • 2011
  • 대부분의 구조물 안전성 평가에 있어서 전체적인 거동을 나타내는 인자, 즉 기하학적인 형상 변화를 추정하는 것은 매우 중요하다. 종래에는 현장에서 교량의 처짐을 손쉽게 측정할 수 있는 적절한 수단과 방법의 부재로 말미암아, 처짐의 측정이 제한된 측정점에 국한되었고, 또한 변위계를 설치한 개소에 한정되었다. 따라서, 본 연구에서는 USN(Ubiquitous Sensor Network) 기반의 무선 경사센서모듈(Wireless Tiltmeter)을 통해 건설구조물의 처짐을 추정하는 방법을 개발하고, 기존의 변위 측정 자기 센서(Linear Variable Differential Transformer: LVDT)를 이용해 측정하는 기술 대신, 유비쿼터스 개념의 무선 경사 센서 모듈의 경사 변화에 따른 저항의 변화를 전압의 형식으로 출력하고, 교정계수를 이용하여 실제 처짐각 및 처짐으로 환산하여 최대 처짐을 구하도록 개발된 유비쿼터스 기반의 처짐 추정방법을 검증하기 위하여 실내 실험을 수행하였고, 그 결과, 측정점에 상관없이 균일한 측정이 가능하고, 기존의 방법과 거의 일치하는 값을 나타내는 것으로 확인되었다.

IRM 임시수복이 상아질 접착제의 변연 미세누출에 미치는 영향 (THE INFLUENCE OF IRM TEMPORARY RESTORATIONS ON MARGINAL MICROLEAKAGE OF DENTIN ADHESIVES)

  • 조영곤;김현경;이영곤
    • Restorative Dentistry and Endodontics
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    • 제28권1호
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    • pp.1-10
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    • 2003
  • This study investigated the influence of IRM on marginal microleakage of 5th generation adhesives. Class V cavities with gingival margins in dentin were prepared on both buccal and lingual surfaces of 60 extract-ed human molar teeth. Prepared teeth were randomly divided into six groups. Group 1 and 4 received no temporary restoration with IRM. Group 2 and 5 were covered with IRM mixed at P/L ratio(10g/1g). Group 3 and 6 were covered with IRM mixed at P/L ratio(10g/2g). The temporary restorations were removed mechanically with an ultrasonic scaler after one-week storage in distilled water. The cavities were restored using one of two adhesives and composites ; Single Bond/Filtek Z 250(Croup 1, 2 and 3), UniFil Bond/UniFil F(Group 4, 5 and 6). Following one day storage in distilled water, the restored teeth were thermocycled for 500 cycles(between $5^{\circ}C{\;}and{\;}55^{\circ}C$) and immersed in 2 % methylene blue for dye penetration testing. The results were analysed using Kruskal-Wallis Test, Mann-Whitney and Wilcoxon signed ranked test at a significance level of 0.05. The results of this study were as follows 1. Ranking of mean microleakage scores at the enamel margins was Group 10.05) 4. At the dentin margins, the microleakage of the group not pretreated with IRM was lower than that of the group pretreated with IRM. And the microleakage of UniFil Bond was lower than that of Single Bond. 5. Compared with microleakages between the enamel and dentin margins of each groups, Group 1, 2, 3, 4, 5 and 6 at dentin margin were higher microleakage than those at enamel margin. There were significant difference between enamel and dentin microleakage of Group 2 and 3(p<0.05).

Enterococcus faecium SA5의 기능적 특성과 인삼 ginsenoside Rb1의 전환 (Functional Characteristics of Enterococcus faecium SA5 and Its Potential in Conversion of Ginsenoside Rb1 in Ginseng)

  • 김은아;랜친핸드;어르가말 막살;박영우;남명수
    • 생명과학회지
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    • 제27권2호
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    • pp.172-179
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    • 2017
  • 본 연구는 몽골 마유로부터 분리한 유산균 Enterococcus faecium SA5의 이화학 특성을 파악하고 유산균 E. faecium SA5의 ${\beta}$-glucosidase의 활성과 이를 통한 ginsenoside 전환을 확인하는 것을 목표로 진행되었다. E. faecium SA5는 내산성, 내담즙성을 나타내었으며 4종의 병원성 미생물(Salmonella typhimurium KCTC 3216, Listeria monocytogenes KCTC 3710, Bacillus cereus KCTC 1012, Staphylococcus aureus KCTC 1621)에 항균 활성을 가질 뿐만 아니라 항생물질 colistin, gentamycin, neomycin에 내성을 나타내었다. 또한, E. faecium SA5는 bile salt hydrolase 활성을 나타내어 혈액 내 콜레스테롤 수준 감소 효과가 있다고 사료되며 10% skim milk에서 배양하였을 때, pH가 감소하고 산도 및 생균수가 증가하는 것으로 보아 발효유 스타터로써의 활성을 갖는 것으로 판단되었다. 또한 E. faecium SA5의 ${\beta}$-glucosidase에 의해 ginsenoside $Rb_1$이 ginsenoside $Rg_3-s$$Rg_3-r$으로 전환되었음을 TLC 분석을 통해 확인하였다. 따라서 E. faecium SA5는 잠재적인 probiotics로 이를 이용하여 발효유 제조 및 ginsenoside 전환 관련 건강기능식품 개발에 응용할 수 있을 것으로 사료된다.