• Title/Summary/Keyword: UV-Laser

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Laser beam application technology (레이저빔 응용 가공기술)

  • 윤경구;김재구;황경현
    • Journal of the KSME
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    • v.37 no.12
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    • pp.47-52
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    • 1997
  • 엑사이머 레이저는 Ar, Kr, Xe등의 희귀가스와 F, Cl과 같은 할로겐족 가스를 혼합하여 방전여기에 의해 발진되는 157-350mm 파장대에 자외선 레이저이다. UV레이저를 이용하면 종래의 기계 가공 공정으로 실현할 수 없는 극소형 및 초정밀의 기계구조, 센서 또는 액츄에이터를 비접촉식으로 할 수 있고 가공시 열손상이 거의 없다. 최근 제품의 소형화 및 박막화 추세에 따른 미세가공 기술의 급속한 발전을 살펴보면, Uv레이저를 이용한 실리콘 표면의 도핑(dopping)에 관한 연구, 미소전자 패키징에 레이저를 이용하는 방법뿐만 아니라, 레이저 유도에 의한 금속과 혼합물의 물질전달 현상을 활용한 마이크로 패터닝에 관한 연구도 진행되고 있다. 본 글에서는 여러가지 응용분야 중 레이저 어블레이션, 레이저유도화학에칭, 레이저 PVD등에 대하여 기술한다.

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Chemically Amplified Resist for Extreme UV Lithography (극자외선 리소그래피용 화학증폭형 레지스트)

  • Choi, Jaehak;Nho, Young Chang;Hong, Seong Kwon
    • Applied Chemistry for Engineering
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    • v.17 no.2
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    • pp.158-162
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    • 2006
  • Poly[4-hydroxystyrene-co-2-(4-methoxybutyl)-2-adamantyl methacrylate] was synthesized and evaluated as a matrix resin for extreme UV (EUV) chemically amplified resist. The resist system formulated with this polymer resolved 120 nm line and space (pitch 240 nm) positive patterns using a KrF excimer laser scanner (0.60 NA). The well defined 50 nm line positive patterns (pitch 180 nm) were obtained using an EUV lithography tool. The dry etching resistance of this resist for a $CF_{4}$-based plasma was 1.1 times better than that of poly(4-hydroxystyrene).

The effect and stability of Retinyl Palmitate(RP) in W/O, W/S, O/W, MLV(Multilamellar Vesicles) cream (W/O, W/S, O/W, MLV(Multilamellar Vesicles) TYPE에서 Retinyl Palmitate(RP)의 열적 안정성과 효능, 효과에 관한 연구)

  • 지홍근;서봉석
    • Journal of the Society of Cosmetic Scientists of Korea
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    • v.22 no.1
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    • pp.40-59
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    • 1996
  • Retinyl Palmitate, the skin normalzer, is useful to promote greater skin elasticity, to diminish lipid peroxidation and skin roughness following UV exposure, and promote a youthfull general skin appearance. We knew that the reduction of retinyl palmitate in W/O, W/S, O/W, MLV cream was caused by variable compound factors. Among the retinoids, we chose retinyl palmitate and studied the stability behavior of retinyl palmitate is liposomed. Furthermore, HPLC, CHROMA METERS, LASER SIGHT SCATTERING SYSTEM and FREEZE FRACTURE SCANNING ELECTROM MICROSCOPY was used to analyzing the stability and efficacy of UV and heat.

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Spectroscopic Characteristics of Gemstones with Color Change Effect (변색 효과 보석들의 분광학적 특성)

  • Ahn, Yong-Kil;Seo, Jin-Gyo;Park, Jong-Wan
    • Journal of the Mineralogical Society of Korea
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    • v.22 no.2
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    • pp.81-86
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    • 2009
  • The luminescence and fluorescence were investigated by photoluminescence spectroscopy for six gemstones which exhibit color change effect. The shape of luminescence peaks appears different when observed by a photoluminescence spectroscopewith a 514 nm Ar laser source. However, it was not possible to observe the difference in the spectra between the natural and synthetic origins for the same type of gemstones. It was found that the photoluminescence spectrum was related to the crystal structure of the stones. Photoluminescence spectra using a 325 nm He-Cd source reveal that fluorescence is relatively strong for synthetic alexandrite, synthetic color change sapphire and natural alexandrite comparing to the rest of gemstones examined.

레이저 텍스처링을 통한 다결정 실리콘 태양전지 제작

  • Choe, Pyeong-Ho;Kim, Sang-Seop;Choe, Byeong-Deok
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2012.02a
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    • pp.307-307
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    • 2012
  • 현재 태양전지 시장은 결정질 태양전지가 주류를 차지하고 있으며 이중 상대적으로 재료비가 저렴한 다결정 실리콘 기반의 고효율 태양전지 제작에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 이에 본 실험에서는 표면 텍스처링 방법에 따른 태양전지 소자의 특성 변화에 대한 실험을 진행하였다. 일반적으로 다결정 태양전지의 경우 산성용액을 이용한 표면 텍스처링을 실시하는데 이 경우 표면에 형성된 텍스처 구조는 산성용액의 등방성 식각으로 인해 반구(Hemisphere) 형태의 구조를 띄게 된다. 이는 표면에서의 광흡수율을 떨어뜨려 태양전지 소자의 효율을 저해하는 원인이 된다. 따라서 본 연구에서는 다결정 실리콘 태양전지의 효율 향상을 위해 레이저를 이용한 차세대 텍스처링 방법에 대한 연구를 진행하였다. 우선 355 nm 파장의 Ultra-Violet (UV) 레이저를 소자 표면에 조사함으로써 $10{\mu}m$의 dot diameter와 depth를 갖는 honey comb 배열의 hole을 형성하였다. 이후 산성용액에 담가 레이저 공정 후의 slag를 제거해 최종적으로 피라미드 형태의 구조를 형성하였다. Suns_Voc 효율 측정 결과 산성용액을 이용한 텍스처링의 경우 개방 전압이 611 mV, 곡선인자가 81%, 효율이 17.32%로 각각 측정되었다. 반면, 레이저 텍스처링의 경우에서는 개방전압이 631 mV, 곡선인자가 83%, 효율이 18.33%로 용액 텍스처링 방법보다 우수한 특성을 보였다. 이는 UV 레이저 텍스처링을 통해 형성된 피라미드 형태의 표면 구조에서의 광흡수율이 산성용액을 이용한 방법보다 우수함을 말하며, 따라서 태양전지의 주요 파라미터가 향상된 결과를 보였다. 본 실험에서는 레이저 텍스처링을 통한 태양전지 제작에 대한 방법을 제시하며, 향후 고효율의 다결정 태양전지 제작에 있어 기여 할 것으로 판단된다.

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A Study of frequency tunable Ti:sapphire laser for UV lidar (UV 라이다용 주파수 가변 Ti:sapphire 레이저에 관한 연구)

  • Yi, Yong-Woo
    • Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference
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    • 2002.11a
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    • pp.656-661
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    • 2002
  • Multipass Ti:sapphire amplifier for the light source of lidar was developed in an angular-multiplexing, and the characteristics of output energy and spectrum was investigated. In the two-stage multipass amplifier, we obtained the maximum output energy of 42 mJ, the amplification gain of 21 dB and the output efficiency of 26% on the wavelength of 790 nm. In the tuning range of 715~930nm the spectral linewidth is 0.05 $cm^{-1}$ /. The conversion efficiencies of 35% for SHG at 780 m and 13% for THG at 390 nm are obtained respectively. The continuous tunabilities of 240~306 m UV region and 360~460 nm in deep-blue region could be achieved.

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Preliminary Study on the Effects of Out-of-Plane Deposition Angle on Product Characteristics of a UV Photo-Curing Process (UV 광경화 공정에서 평면 외 적층 경사각에 따른 제품 특성 변화에 관한 기초 연구)

  • Jang, Yong-Hun;Ahn, Dong-Gyu;Song, Jae-Guk;Kim, Dong-In;Shin, Bo-Sung
    • Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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    • v.34 no.1
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    • pp.65-72
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    • 2017
  • The goal of this paper is to investigate the effects of out-of-plane deposition angle on product characteristics of a UV photo-curing process. Specimens are manufactured from a commercialized UV photo-curing machine, the NOBEL V1.0. The influence of the out-of-plane deposition angle of the specimen on surface characteristics, including morphology of the sloped surface, pick-to-pick distance of convex region, and roughness of the sloped surface, is examined via the observation of the sloped surface. In addition, the influence of the radius of curvature of the specimen on the surface roughness of the sloped surface is evaluated. The effects of the out-of-plane deposition angle on impact strength of specimens are investigated via Izod impact experiments. Finally, we discuss the influence of the out-of-plane deposition angle on failure characteristics of specimens for impact loads.

Picosecond Absorption Kinetic Spectrometer with a Laser and a Streak Camera

  • Jang, Du-Jeon
    • Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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    • 1990.02a
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    • pp.172-176
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    • 1990
  • A high resolution picosecond absorption kinetic spectrometer utilizing dye emission and a streak camera is presented and compared with other methods of picosecond transient absorption measurements. Typical transient absorption and bleach recovery kinetics measured with this spectrometer are shown. Single wavelength transient absorption or ground state bleach recovery kinetics are determined on the basis of a single laser shot, so that the samples are relatively free frm decomposition by irradiation. Excellent kinetics may be obtained from the near UV to the near IR and are not subject to interference from luminescence of samples. The sensitivity of this spectrometer is very high and it is reasonably easy and convenient to set up and use.

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Visible Surface-Assisted Laser Desorption/Ionization Mass Spectrometry of Small Macromolecules Deposited on the Graphite Plate

  • Kim, Jung-Hwan;Paek, Kyung-Soo;Kang, Wee-Kyung
    • Bulletin of the Korean Chemical Society
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    • v.23 no.2
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    • pp.315-319
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    • 2002
  • Visible surface-assisted desorption/ionization mass spectrometry (SALDI-MS) has been investigated for several small macromolecules deposited on the graphite plate using laser radiation at 532 nm where most of the macromolecules are transparent. The graphite surface functioned well as a photon absorbing material and an energy transfer mediator for visible light. The results show that visible SALDI is a much softer ionization technique than UV-MALDI and FAB-MS in our results with synthetic macromolecules, PPG, PPGMBE and cavitand molecules. For the SALDI of biomolecules, glycerol as a proton source was essential with the graphite plate. As in visible SALDI, the role division of the photon absorbing material and the cationization agent can provide a generality in mass spectrometric analysis of macromolecules compared with MALDI using the dual functional matrix.

Growth methanism of ZnO nanowire syntheized by carbo-thermal reduction method (열적 탄소 환원법으로 제조된 ZnO 나노와이어의 성장 메커니즘)

  • 손광석;김현정;박병호;김동규;조형균;김인수
    • Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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    • 2003.11a
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    • pp.173-173
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    • 2003
  • Nanowire와 nanorod 같은 1차원의 반도체 재료는 디멘젼과 크기와 물리적 특성과의 관계 등을 연구하는데 중요한 역할을 하며 laser ablation, arc discharge, chemical vapor depostion, vapor phase transport Process와 solution등의 방법으로 성공적으로 합성되었다. ZnO 는 3.37eV의 넓은 밴드갭과 다른 넓은 밴드갭 재료에 비해 높은 exciton bindng energy (60meV)를 가지며 UV LED, laser diode에 적용하기 유리하고 최근 디스플레나 나노 광전소자로서의 가능성 이 대두되면서 최근 이에 관한 연구가 증가하고 있다. 본 연구에서는 열적탄소환원법(carbothermal reduction process)으로 ZnO와 graphite 분말을 1:1 중량비로 혼합한 분말을 90$0^{\circ}C$, 100$0^{\circ}C$에서 air 분위기에서 20분간 반응 후 로 내에서 냉각 하였다. 직경 이 50nm-1000nm, 길이가 수 미크론인 내부 결함이 전혀 없는 육각형 단결정의 nanowire가 합성되었고 XRD, FE-SEM과 TEM으로 조성 및 형상, 내부구조를 분석하였다. 합성된 ZnO nanowire는 직경 이 변하는 부분에서 성장방향으로의 계단을 형성하였고 이는 layer by layer 방법으로 nanowire가 성장한다는 것을 나타낸다.

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