DC 마그네트론 스퍼트링법으로 제조한 ZnO:N,Al 박막의 전기적 특성에 관한연구
(Electrical properties of AZO transparent conductive oxide with substrate bias and $H_2$ annealing)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2008년도 추계학술대회 논문집 Vol.21
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- pp.303-304
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- 2008