Preparation and Properties of ZnO Thin Films by Metal-Organic Chemical Vapor Deposition Using Diethylzinc Source (Diethylzinc를 Source로 사용하는 화학증착법(MOCVD)에 의한 ZnO 박막의 제조 및 물성에 관한 연구)
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- Journal of the Korean Ceramic Society
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- v.28 no.8
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- pp.585-592
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- 1991