기판 실리콘의 $BF_2$ 불순물 원자에 의한 $TiN/TiSi_2$ bilayer의 특성
(Characteristics of $TiN/TiSi_2$ bilayer by $BF_2$ dopant at Si substrate)
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- 대한전기학회:학술대회논문집
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- 대한전기학회 1992년도 하계학술대회 논문집 B
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- pp.835-838
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- 1992