Spputtering Depposition and Anncaling of Pb(Zr,Ti)$O_3$ Ferroelectric Thin Films
(Pb(Zr,Ti)$O_3$ 강유전체 박막의 스퍼터링 증착과 열처리 연구)
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- Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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- 1996.06a
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- pp.175-176
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- 1996