Ion Beam Mixing과 급속열처리 방법을 이용한 Ti-SALICIDE용 $TiSi_2$ 박막 개선에 관한 연구
(Study on the Improvement of $TiSi_2$ film for Ti-SALICIDE Process Using Ion Beam Mixing and Rapid Thermal Annealing)
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- 한국진공학회지
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- 제1권1호
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- pp.168-175
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- 1992