A Numerical Study on the Growth and Composition of InGaAs, InGaP and InGaAsP Films Grown by MOCVD (MOCVD에 의한 InGaAs, InGaP 및 InGaAsP필름의 성장 및 조성변화에 대한 수치해석 연구)
-
- Journal of the Semiconductor & Display Technology
- /
- v.4 no.1 s.10
- /
- pp.43-48
- /
- 2005